专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种脉冲袋式过滤器-CN202311156687.3在审
  • 牛嘉豪;牛瑞君;耿海鹏;刘效功;牛志强;武虎斌;高少飞 - 山西三强新能源科技有限公司
  • 2023-09-08 - 2023-10-20 - B01D46/02
  • 本发明专利提供一种脉冲袋式过滤器,属于过滤器设备技术领域。一种脉冲袋式过滤器,包括:袋筒;滑槽,滑槽包括基准槽和进深槽;压筒;上封口板,上封口板包括圆板A和滑键A;弹簧A,其连接滑键A的下端面和基准槽的底端;下封口板,下封口板包括圆板B、滑键B;弹簧B,其连接上封口板与下封口板;其中,滑键A与滑槽滑动抵接,滑键B与进深槽滑动抵接;作业工况时,上封口板与下封口板分离;当上封口板与下封口板滑动抵接时,设置在圆板中的柱孔、孔柱互相抵接密封。本申请针对过滤袋破损后,过滤能力的丧失,提出一种可实现破损过滤袋所在管路自动闭合的新型结构。
  • 一种脉冲过滤器
  • [发明专利]一种自动打包装置-CN202311152135.5在审
  • 牛嘉豪;牛瑞君;武虎斌;耿海鹏;高少飞;刘效功;陈凯 - 山西三强新能源科技有限公司
  • 2023-09-07 - 2023-10-13 - B65B43/36
  • 本发明提供一种自动打包装置,属于打包技术领域,包括机体、设置在机体上的撑袋组件、吸气组件和收集组件;撑袋组件包括套设在出料筒上的支撑座、设置在支撑座上的扩口筒、设置在扩口筒上的压块单元;袋子套设在扩口筒上,通过压块单元将袋子压紧固定,物料从出料筒进入袋子内;吸气组件包括设置在机体上方的风机和一端与风机相连接的管道,管道的另一端连接在支撑座上,风机通过管道吸附袋子口处的物料;收集组件包括设置在机体一侧的收集箱和设置在收集箱内的收集盒,收集箱与风机的输出口相连接,风机吸附的物料收集在收集盒内。本发明可以快速对袋子进行撑起,打包速度快,并对袋口进行压紧固定,解决了炭黑从袋口的间隙中飘出的技术问题。
  • 一种自动打包装置
  • [发明专利]一种晶圆升降装置及清洗设备-CN202310101720.6在审
  • 高少飞;马宏帅;赵宏宇;王锐廷;张金斌;南建辉 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2023-01-18 - 2023-05-26 - H01L21/687
  • 本申请公开了一种晶圆升降装置及清洗设备,晶圆升降装置包括:第一支撑组件用于对晶圆的端面进行至少两点支撑,以使晶圆侧立;第二支撑组件用于在上升后支撑晶圆,并且第二支撑组件在上升至对晶圆进行支撑时避让第一支撑组件;升降机构,分别与第一支撑组件和第二支撑组件连接,用于驱动第一支撑组件带动晶圆由第一预设位置上升至第二预设位置;以及,用于当晶圆上升至第二预设位置后,驱动第二支撑组件带动晶圆由第二预设位置上升至第三预设位置,以使晶圆脱离第一支撑组件。本申请的支撑装置可以对晶圆进行完全干燥,并且晶圆与本支撑装置的接触点数量的多少对晶圆是否干燥完全无任何影响。
  • 一种升降装置清洗设备
  • [实用新型]晶圆支撑切换机构及半导体工艺设备-CN202221989864.7有效
  • 高少飞;王龙;张虎威;赵宏宇 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2022-07-29 - 2022-11-25 - H01L21/673
  • 本实用新型提供一种用于半导体工艺设备的晶圆支撑切换机构,包括:第一支撑结构,第一支撑结构包括第一支撑底板和至少三个第一支撑座,至少三个第一支撑座适于支撑晶圆;第二支撑结构包括第二支撑底板和至少三个第二支撑座,至少三个第二支撑座适于支撑晶圆,第二支撑底板设置在第一支撑结构的第一支撑底板的下方,第一支撑底板上具有贯通孔;升降结构与第二支撑结构相连接,适于驱动第二支撑结构以使得第二支撑结构的第二支撑底板在第一位置和第二位置之间移动。本实用新型提供的晶圆支撑切换机构在晶圆的两侧和中间均有受力点,在承载晶圆时更平稳。
  • 支撑切换机构半导体工艺设备
  • [发明专利]混液装置和半导体工艺设备-CN202210884013.4在审
  • 张虎威;王龙;王锐廷;南建辉;张金斌;高少飞 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2022-07-26 - 2022-10-14 - B01F23/40
  • 本发明公开一种混液装置和半导体工艺设备,所公开的混液装置包括第一输液管、第二输液管、混液容器和第一溢流管路;其中:第一输液管的排液端部和第二输液管的排液端部均与混液容器连通,第一溢流管路的溢流入口与混液容器连通,且第一溢流管路的溢流入口位于混液容器的预设高度,第一溢流管路设有第一开关阀;第一输液管用于向处在排空状态的混液容器内输送第一液体,以使第一液体的实际液位大于预设高度以及第一液体可从第一溢流管路的溢流入口排出;第二输液管设有第一计量设备,在实际液位降至预设高度的情况下,第二输液管用于向混液容器中输送经第一计量设备控制的预设体积的第二液体,第一开关阀处在关闭状态。
  • 装置半导体工艺设备
  • [实用新型]半导体清洗设备-CN202221052483.6有效
  • 王嗣阳;陈海祥;高少飞 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2022-05-05 - 2022-09-16 - H01L21/677
  • 本申请实施例提供了一种半导体清洗设备。该半导体清洗设备的清洗机构包括依次设置的清洗结构、洗手结构及干燥结构,暂存机构活动设置于洗手结构上,并且能相对于洗手结构在第一位置与第二位置之间移动;传输机构包括有第一机械手及第二机械手,第一机械手用于在暂存机构与装卸载机构之间传输晶圆,以及在干燥结构与装卸载机构之间传输晶圆;第二机械手用于在暂存机构与清洗结构之间传输晶圆;暂存机构用于在接收第一机械手传输未清洗的晶圆时,移动至第一位置,以及用于在第二机械手需要进入洗手结构内进行清洗时,移动至第二位置。本申请实施例实现了大幅提高晶圆的传输效率,进而大幅提高生产效率。
  • 半导体清洗设备
  • [实用新型]半导体清洗设备-CN202220192461.3有效
  • 张虎威;高少飞;南建辉;张金斌 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2022-01-24 - 2022-07-19 - H01L21/67
  • 本实用新型提供一种半导体清洗设备,包括:晶片清洗单元、干燥单元以及上下料单元,上下料单元用于对晶片进行上料以及下料;第一机械手、第二机械手以及洗手单元,洗手单元用于对第一机械手进行清洗和/或吹干,洗手单元内部设有晶片暂存结构,用于对待清洗的晶片进行暂时存放,第一机械手用于将待清洗的晶片由上下料单元传送至晶片暂存结构,且在通过洗手单元清洗后还用于将清洗后的晶片由晶片清洗单元传送至干燥单元,且在通过洗手单元吹干后还用于将干燥后的晶片由干燥单元传送至上下料单元,第二机械手用于将待清洗的晶片由晶片暂存结构传送至晶片清洗单元。第一机械手和第二机械手配合调度,从而改善晶片传输效率,提升设备产能。
  • 半导体清洗设备
  • [发明专利]半导体工艺设备-CN202110771060.3有效
  • 张虎威;王锐廷;杨斌;赵宏宇;南建辉;张金斌;李广义;高少飞;胡睿凡;宋俊超 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2021-07-08 - 2022-04-22 - H01L21/67
  • 本发明提供一种半导体工艺设备,包括晶圆传输区和储片盒存储区,储片盒存储区具有上下料工位,且上下料工位设置有储片盒暂存装置,用于在晶圆传输区对位于上下料工位的储片盒进行晶圆取放操作后,将储片盒升高至预设位置。在本发明中,储片盒暂存装置设置在上下料工位,且能够在上下料工位的储片盒完成晶圆取放操作后将其升高至预设位置,以便向上下料工位放置下一个储片盒,从而减少了上下料工位的空置时间,使晶圆传输机械手可以对同一上下料工位依次加载的多个储片盒进行晶圆取放操作,进而将现有机台中多余的一个上下料工位用于额外存储一个储片盒,扩大了储片盒存储区中的储片盒存储空间,提高了传输效率,从而提升了半导体工艺设备的产能。
  • 半导体工艺设备

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