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[发明专利]一种压电转换器的封装装置及压电转换系统-CN201910992327.4有效
发明人：丁光亚;王鹏;程润;胡保永;刘谨 -专利权人：温州大学
申请日： 2019-10-18 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： H01L41/053 文献下载
摘要：本发明公开了一种压电转换器的封装装置和压电转换系统，涉及压电换能器的路面振动能量回收领域，包括上壳体、中间板和下壳体，上壳体扣合于下壳体形成封闭盒体并将中间板封闭于封闭盒体内，且封闭盒体内形成容置腔室；中间板上设有若干个模型通孔，容置腔室的底面上对应每个模型通孔处设有一个模型槽；封闭盒体的侧壁上设有两个能够连通外界与容置腔室的导线孔，压电叠堆置于模型孔和模型槽内，且先串联后并联连接，该压电转换系统的电能收集效率高，且抗渗、抗摩擦、抗老化、防潮，有效提高了压电转换器的耐久性，适用性。
一种压电转换器封装装置转换系统

[实用新型]超声波芯片封装结构及封装模组-CN202221893014.7有效
发明人：王凯厚;杨剑宏;王鑫琴;袁文杰;王蔚 -专利权人：苏州晶方半导体科技股份有限公司
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： H01L41/053 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种超声波芯片封装结构及封装模组。封装结构包括衬底、压电薄膜层、焊垫以及金属凸起。所述衬底具有相对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面上形成有若干空腔；所述压电薄膜层置于所述衬底的第一表面上，且覆盖所有的所述空腔，以使所述空腔形成真空密闭腔；所述焊垫置于所述衬底的第一表面上，且位于所述压电薄膜层的外侧，所述焊垫与所述压电薄膜层耦合；所述金属凸起置于所述衬底的第二表面一侧，且与所述焊垫之间电性连接。本实用新型的超声波芯片封装结构，提高了超声波芯片的转换率。
超声波芯片封装结构模组

[发明专利]超声波芯片封装结构、封装模组及封装方法-CN202210864917.0在审
发明人：王凯厚;杨剑宏;王鑫琴;袁文杰;王蔚 -专利权人：苏州晶方半导体科技股份有限公司
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： H01L41/053 文献下载
摘要：本发明公开了一种超声波芯片封装结构、封装模组以及封装方法。封装结构包括衬底、压电薄膜层、焊垫以及金属凸起。所述衬底具有相对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面上形成有若干空腔；所述压电薄膜层置于所述衬底的第一表面上，且覆盖所有的所述空腔，以使所述空腔形成真空密闭腔；所述焊垫置于所述衬底的第一表面上，且位于所述压电薄膜层的外侧，所述焊垫与所述压电薄膜层耦合；所述金属凸起置于所述衬底的第二表面一侧，且与所述焊垫之间电性连接。本发明的超声波芯片封装结构，提高了超声波芯片的转换率。
超声波芯片封装结构模组方法

[实用新型]一种压电陶瓷片封装结构-CN202220743194.4有效
发明人：朱亚锋 -专利权人：真诺测量仪表（上海）有限公司
申请日： 2022-04-01 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： H01L41/053 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种压电陶瓷片封装结构，包括塑料前盖、塑料后盖、密封胶和压电陶瓷片，塑料前盖和塑料后盖均采用PSU材料制成，压电陶瓷片内置于塑料前盖的内部，压电陶瓷片通过密封胶固定在塑料前盖和塑料后盖之间的夹层中，塑料前盖和塑料后盖通过超声波焊接装配固定。本实用新型在相同的产品性能下，实现了换能器小型化，同时降低了产品的原料成本，减少了工艺步骤，最终提升了产品是市场竞争力。
一种压电陶瓷封装结构

[发明专利]一种用于制作薄膜传感器的压印模具、加工工艺及薄膜传感器-CN202210929316.3在审
发明人：冉小龙;廖成;罗坤;何绪林;叶勤燕;郑兴平 -专利权人：中物院成都科学技术发展中心
申请日： 2022-08-03 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： H01L41/053 文献下载
摘要：本发明属于薄膜传感器技术领域，尤其涉及一种用于制作薄膜传感器的压印模具、加工工艺及薄膜传感器，所述压印模具包括模具本体，所述模具本体上设压印部，所述压印部包括压印面和形成在所述压印面上的环形压印槽；所述压印面用来压印形成所述薄膜传感器的绝缘保护层，所述环形压印槽用来压印形成所述薄膜传感器的掩膜环。本发明解决了现有的薄膜传感器生产效率低、工艺成本高的技术问题。
一种用于制作薄膜传感器压印模具加工工艺

[发明专利]一种柔性薄膜式压电声发射传感器及其制作方法-CN202110152803.9有效
发明人：杨成韬;孙星林;茹子雄;肖盼 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2021-02-04 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： H01L41/053 文献下载
摘要：本发明涉及一种柔性薄膜式压电声发射传感器，属于电力工程技术领域。本发明的柔性薄膜式压电声发射传感器，除压电薄膜晶片外，所有组成部分均具有柔性；而压电薄膜晶片虽然不具有柔性，但其尺寸很小，因而可以适应弯曲的表面。实际测试中，本发明的传感器足以适应曲率半径为80mm的球面，克服了传统的声发射传感器厚度大、不易适应弯曲表面的缺点。此外，本发明的传感器中的薄膜式铜导线可以做得很长，因此这种结构的传感器可以伸入一些狭窄逼仄的空间工作。
一种柔性薄膜压电声发传感器及其制作方法

[发明专利]压电器件-CN202180014365.8在审
发明人：岸本谕卓;池内伸介;大村正志 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2021-02-15 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： H01L41/053 文献下载
摘要：从与一个主面正交的方向观察，凹部(113)的外形为多边形或者圆形。若将构成上述多边形的多个边的数量设为n个，将由长度(L1)与上述多个边中的最短边相同的上述n个边构成的假想正多边形的外接圆(C)的半径设为r，将在层叠部中位于凹部(113)上的膜片部的最大厚度设为d，则在3≤n≤7的情况下，满足r≤197.7dn‑0.6698，在8≤n或者凹部(113)的外形为圆形的情况下，满足r≤52.69d。
压电器件

[发明专利]一种多层金属薄膜键合层结构及其制备方法-CN201910916430.0有效
发明人：曹家强 -专利权人：中电科技集团重庆声光电有限公司
申请日： 2019-09-26 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： H01L41/053 文献下载
摘要：本发明涉及声光器件技术领域，具体涉及一种多层金属薄膜键合层结构及其制备方法，一种多层金属薄膜键合层结构，包括：压电晶片和锗砷硒GeAsSe玻璃，其特征在于，分别在GeAsSe玻璃和压电晶片表面依次镀制Cr、Al、Ti、Sn金属膜层，GeAsSe玻璃的Sn膜层和压电晶片的Sn膜层键合在一起形成Cr、Al、Ti、Sn、Ti、Al、Cr七层金属膜键合层结构。本发明采用Cr、Al、Ti、Sn金属膜层代替传统的Cr、Sn薄膜结构，使得键合层与GeAsSe玻璃之间的的附着力大大增强；压电晶片与GeAsSe玻璃的剪切强度提高；声光器件切割后压电晶片附着牢固，器件可靠性和成品率得到有效提升。
一种多层金属薄膜键合层结构及其制备方法

[发明专利]压电装置用的基座以及压电装置-CN202210202889.6在审
发明人：水沢周一 -专利权人：日本电波工业株式会社
申请日： 2022-03-02 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： H01L41/053 文献下载
摘要：本发明提供一种压电装置用的具有新颖构造的基座以及压电装置。本发明的基座(10)包括：第一基板(11)，包含玻璃或水晶；压电元件用的搭载垫(11b)，设置在第一基板的第一面(11a)；接触孔(11d)及接触孔线路(11e)，设置在第一基板上，从搭载垫通到与第一面为相反面的第二面(11c)；第一金属膜(11f)，设置在第二面的包含所述接触孔的周围区域的区域内；第二基板(13)，包含与所述第一基板相同的材料；第二金属膜(13b)，设置在第二基板的第一基板侧那一面，与第一金属膜一起构成金属间接合；导引线路(13e)；堞形部(13f)；以及外部安装端子(13g)。
压电装置基座以及

[发明专利]一种单晶压电衬底结构、制备方法及声波器件-CN202210398264.1在审
发明人：欧欣;柯新建;黄凯 -专利权人：上海新硅聚合半导体有限公司
申请日： 2022-04-15 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： H01L41/053 文献下载
摘要：本申请涉及一种单晶压电衬底结构，包括：支撑衬底、表面隔离层、载流子陷阱层、绝缘层和压电层；表面隔离层设置于支撑衬底的一侧表面上；载流子陷阱层设置于表面隔离层远离支撑衬底的一侧表面上；绝缘层设置于载流子陷阱层远离支撑衬底的一侧表面上；压电层设置于绝缘层远离支撑衬底的一侧表面上，压电层与绝缘层键合；表面隔离层的厚度小于等于20nm；表面隔离层的材料包括第一预设比例含量的硅和第二预设比例含量的隔离材料。本申请在支撑衬底与载流子陷阱层之间沉积表面隔离层或在支撑衬底表面自然氧化形成表面隔离层，有效防止了载流子陷阱层的重结晶现象，提高了载流子陷阱层的载流子俘获效率，有效降低高频时器件的射频损耗，提高器件性能。
一种压电衬底结构制备方法声波器件

[发明专利]声换能器组件和用于制造声换能器组件的方法-CN201680079576.9有效
发明人： B·朔伊费勒;G·格拉赫 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2016-12-09 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： H01L41/053 文献下载
摘要：本发明涉及一种声换能器组件(100；100a)，具有用于固定多个声换能器元件(10)的载体装置(15)，用于接收所述载体装置(15)的具有内室(12)的壳体(11)，其中，在所述壳体(11)的通过内壁(42)形成的内横截面与所述载体装置(15)的外周边(41)之间形成尤其环绕的间隙(45)，其中，所述载体装置(15)在背离所述声换能器元件(10)的一侧上至少间接地被密封物质(50)覆盖，并且其中，设有密封元件(46)，该密封元件构造成用于防止所述密封物质(50)通过所述间隙(45)在所述载体装置(15)的背离所述密封物质(50)的一侧上进入到所述壳体(11)的所述内室(12)中。
声换能器组件用于制造方法

[发明专利]压电器件及其形成方法-CN202010067463.5有效
发明人：穆苑龙;项少华;王冲;王大甲;魏有晨;王俊力 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2020-01-20 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： H01L41/053 文献下载
摘要：本发明提供了一种压电器件及其形成方法。通过形成保护层，以使光阻层和钝化层之间间隔有保护层，从而在保护层的间隔保护下，能够防止保护层下方的膜层受到损伤。具体而言，在剥离光阻层时可以避免钝化层暴露出，进而可以防止钝化层中的悬空部被破坏，如此，一方面可以进一步增加钝化层中悬空部的尺寸，以提高器件性能；另一方面，在去除光阻层时还能够进一步增大剥离液的喷洒压力，以提高光阻层剥离效率，改善光阻层去除不净的问题。
压电器件及其形成方法

[发明专利]压电致动器及移动装置-CN202210708090.4有效
发明人：朱凯;王振华;龚威 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2022-06-22 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： H01L41/053 文献下载
摘要：本发明提供一种压电致动器及移动装置，所述压电致动器包括：外壳组件，其内具有一端开口的容置腔室；压电组件，设于所述容置腔室内，包括若干个压电件，各所述压电件在轴向上依次堆叠设置；至少一个保护组件，设于所述容置腔室内，且至少部分设于所述外壳组件的内壁和所述压电组件的外壁之间；在所述保护组件的数量大于等于2个时，多个所述保护组件上下间隔排列。通过本发明提供的压电致动器，解决了现有压电致动器存在的陶瓷叠堆容易断裂的问题。
压电致动器移动装置

[发明专利]压电振动基板及压电振动元件-CN202180007200.8在审
发明人：多井知义;鹈野雄大;浅井圭一郎;服部良祐;丹羽真人;滑川政彦 -专利权人：日本碍子株式会社
申请日： 2021-01-07 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： H01L41/053 文献下载
摘要：本发明的课题在于，能够抑制由压电振动元件安装时施加的加热、超声波振动及施重所导致的裂纹或缺口。[0012]压电振动元件11具备：由块状的压电性材料形成的压电层2A、压电层2A的第一面2a上的下部电极3以及接合于下部电极3的支撑基板5。
压电振动元件

[实用新型]一种压电换能器和医疗设备-CN202220579031.7有效
发明人：何永正;魏吉忠;徐昆仑;康思远;郭帅帅 -专利权人：河南翔宇医疗设备股份有限公司
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： H01L41/053 文献下载
摘要：本申请公开了一种压电换能器和医疗设备，压电换能器包括：换能器壳体，其内表面设置有数个用于安装压电陶瓷晶体的安装槽，安装槽与压电陶瓷晶体之间存在间隙，在其中设置密封绝缘片将间隙密封。向密封绝缘片与安装槽之间填充液态绝缘物，并向换能器壳体的内壁灌封绝缘胶。将液态绝缘物填充在压电陶瓷晶体的正负极之间，从而使压电陶瓷晶体可以在更高的电压下工作，激发出更大的能量。并通过液态绝缘物质起到自修复功能，大大的延长压电换能器的使用寿命。同时，密封绝缘片还可配合液态绝缘物降低压电陶瓷晶体振动导致的绝缘失效风险。
一种压电换能器医疗设备

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