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[发明专利]压电器件以及压电器件的制造方法-CN201880059615.8有效
发明人：池内伸介;木村哲也;藤本克己;岸本谕卓;黑川文弥 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2018-11-16 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H10N30/88 文献下载
摘要：压电器件具备：至少一部分能够弯曲振动且极化状态相同的压电单晶体(10)、配置在压电单晶体(10)的上表面上的上部电极(22)、配置在压电单晶体(10)的下表面上的下部电极(21)、和配置在压电单晶体(10)的下方的支承基板(40)，设置有从支承基板(40)的下表面朝向压电单晶体(10)的下表面上的凹部(141)。
压电器件以及制造方法

[发明专利]弹性波装置、高频前端电路及通信装置-CN201880081634.0有效
发明人：泽村诚;甲斐诚二;岸本谕卓;岸勇藏 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2018-12-10 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：提供一种难以产生因带电引起的静电破坏的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在硅支承基板(2)上直接或间接地层叠有压电体(6)，在压电体(6)上设置有功能电极，在硅支承基板(2)上直接或间接地设置有支承层(3)，在俯视观察的情况下，支承层(3)设置于功能电极的外侧，在由绝缘物构成的支承层(3)上设置有硅盖层(4)，形成有由硅支承基板2、支承层(3)以及硅盖层(4)包围的空间(A)，硅支承基板(2)的电阻比硅盖层(4)的电阻高。
弹性装置高频前端电路通信

[发明专利]弹性波装置、高频前端电路及通信装置-CN201880077562.2有效
发明人：岸勇藏;岸本谕卓;泽村诚;甲斐诚二 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2018-12-10 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：提供压电体层不容易破损，并且滤波器特性不容易恶化的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：硅支承基板(2)，具有相互对置的第一、第二主面(2a、2b)；压电性构造体(12)，设置在第一主面(2a)上，并具有压电体层(6)；IDT电极(7)，设置在压电体层(6)上；支承层(3)，在硅支承基板(2)的第一主面(2a)上设置为包围压电体层(6)；覆盖层(4)，设置在支承层(3)上；通孔电极(11)，设置为贯通硅支承基板(2)和压电性构造体(12)；第一布线电极(8)，连接于通孔电极(11)，并电连接于IDT电极(7)。压电性构造体(12)具有包括压电体层(6)的至少1层具有绝缘性的层。第一布线电极(8)设置在压电性构造体(12)中的具有绝缘性的层上。
弹性装置高频前端电路通信

[发明专利]弹性波装置-CN202180071572.7在审
发明人：木村哲也;久保新太郎;岸本谕卓;大村正志;山田一 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2021-10-15 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：提供一种弹性波装置，能够抑制在电介质膜产生裂纹及压电体层粘贴于电介质膜。弹性波装置(10)具备支承基板(12)、电介质膜(13)、压电层(14)和IDT电极(15)(激励电极)。压电层(14)具有第1、第2主面(14a、14b)。第2主面(14b)位于电介质膜(13)侧。在电介质膜(13)设置有空洞部(11a)。空洞部(11a)在俯视下与IDT电极(15)的至少一部分重叠。电介质膜(13)具有面向空洞部(11a)的侧壁面(13a)。侧壁面(13a)具有倾斜为越远离压电层(14)则空洞部(11a)的宽度变得越窄的倾斜部(13c)。倾斜部(13c)至少包括侧壁面(13c)中的压电层(14)侧的端部。在将倾斜部(13c)和压电层(14)的第2主面(14b)所成的角度设为倾斜角度α时，倾斜角度α为40°以上且80°以下。
弹性装置

[发明专利]弹性波装置、高频前端电路以及通信装置-CN201780086810.5有效
发明人： 岸本谕卓;大村正志;奥永洋梦 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2017-12-21 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本发明提供一种能够有效地抑制无用波的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；声反射膜(3)，设置在支承基板(2)上；压电薄膜(4)(压电体)，设置在声反射膜(3)上；以及IDT电极(5)，设置在压电薄膜(4)上。声反射膜(3)是由包含第一低声阻抗层(3a)、第二低声阻抗层(3c)、第三低声阻抗层(3e)、第四低声阻抗层(3g)和第一高声阻抗层(3b)、第二高声阻抗层(3d)、第三高声阻抗层(3f)的多个声阻抗层构成的层叠体。声反射膜(3)具有：第一声阻抗层，是多个声阻抗层中的一个声阻抗层；以及第二声阻抗层，是多个声阻抗层中的一个声阻抗层，且算术平均粗糙度(Ra)与第一声阻抗层不同。
弹性装置高频前端电路以及通信

[发明专利]弹性波装置、高频前端电路以及通信装置和弹性波装置的制造方法-CN201880081223.1有效
发明人： 岸本谕卓;甲斐诚二;泽村诚;岸勇藏 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2018-12-10 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本发明提供一种能够更可靠地提高生产率的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电性基板(2)，具有支承基板(3)和直接或间接地设置在支承基板(3)上的压电体层(5)，且具有作为压电体层(5)侧的主面的第1主面(2a)和作为支承基板(3)侧的主面的第2主面(2b)；IDT电极(7)，直接或间接地设置在第1主面(2a)上；支承构件(8)，设置在支承基板(3)上；覆盖构件(9)，设置在支承构件(8)上；贯通过孔电极(17)，设置为贯通支承基板(3)，并与IDT电极(7)电连接；第1布线电极(15)，设置在压电性基板(2)的第2主面(2b)上，并与贯通过孔电极(17)电连接；以及保护膜(16)，设置在第2主面(2b)上，使得覆盖第1布线电极(15)的至少一部分。在从第2主面(2b)的法线方向观察时，保护膜(16)设置在比支承构件(8)靠内侧。
弹性装置高频前端电路以及通信制造方法

[发明专利]弹性波装置、高频前端电路以及通信装置-CN201880042051.7有效
发明人： 岸本谕卓 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2018-06-15 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：弹性波装置(1)依次层叠支承基板(51)、声反射层(56)、压电层(52)、和由一对梳齿状电极构成的IDT电极(110)以及布线电极(41以及42)，声反射层(56)具有低Z电介质层(53B)、配置在低Z电介质层(53B)的下方且声阻抗比低Z电介质层(53B)高的高Z电介质层(55)、以及配置在低Z电介质层(53B)的上方且声阻抗比低Z电介质层(53B)高的金属层(54)，在俯视声反射层(56)的情况下，金属层(54)在包含IDT电极(110)和布线电极(41a、41b、42a以及42b)并且不包含IDT电极(110)以外的IDT电极的区域中，金属层(54)的形成面积比高Z电介质层(55)的形成面积小。
弹性装置高频前端电路以及通信

[发明专利]压电装置-CN202180028099.4在审
发明人： 岸本谕卓 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： H01L41/047 文献下载
摘要：在单晶压电体层(130)中的与基部(110)的一个主面(111)对置的第一对置面(131)形成有第一凹部(132)。单晶压电体层(130)在第一对置面(131)中的第一凹部(132)以外的部分与基部(110)的一个主面(111)接合。构成一对电极层的至少一部分且沿着单晶压电体层(130)的基部(110)侧延伸的下部电极层(150)的至少一部分位于第一凹部(132)内。下部电极层(150)中的与基部(110)的一个主面(111)对置的第二对置面(151)的表面粗糙度(Ra)比单晶压电体层(130)的第一对置面(131)的表面粗糙度(Ra)大。
压电装置

[发明专利]压电器件-CN202180017323.X在审
发明人： 岸本谕卓;池内伸介 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2021-02-22 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： H01L41/047 文献下载
摘要：层叠部(120)至少在凹部(113)的上方包含单晶压电体层(130)和对单晶压电体层(130)施加电压的一对电极层。构成一对电极层的至少一部分且沿着单晶压电体层(130)的基部(111)侧延伸存在的下部电极层(150)仅位于凹部(113)内。
压电器件

[其他]空腔SOI基板-CN202090000464.1有效
发明人：泽村诚;日野龙之介;岸本谕卓 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2020-03-19 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： B81B1/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种空腔SOI基板，能够抑制平坦性的恶化。空腔SOI基板通过硅氧化膜将具有空腔的第一硅基板与第二硅基板接合，其中，在第二硅基板中，与第一硅基板的所述空腔对置的部分比与第一硅基板接合的部分厚。
空腔 soi 基板

[发明专利]压电器件-CN202180014365.8在审
发明人： 岸本谕卓;池内伸介;大村正志 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2021-02-15 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： H01L41/053 文献下载
摘要：从与一个主面正交的方向观察，凹部(113)的外形为多边形或者圆形。若将构成上述多边形的多个边的数量设为n个，将由长度(L1)与上述多个边中的最短边相同的上述n个边构成的假想正多边形的外接圆(C)的半径设为r，将在层叠部中位于凹部(113)上的膜片部的最大厚度设为d，则在3≤n≤7的情况下，满足r≤197.7dn‑0.6698，在8≤n或者凹部(113)的外形为圆形的情况下，满足r≤52.69d。
压电器件

[发明专利]弹性波装置及其制造方法-CN201780034713.1有效
发明人：木村哲也;岸本谕卓;大村正志 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2017-04-11 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本发明提供一种耐湿性优异的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，具备：支承基板(2)，在上表面设置有凹部(2c)；压电薄膜(4)，在支承基板(2)上设置为覆盖支承基板(2)的凹部(2c)；IDT电极(5)，在压电薄膜(4)设置于支承基板(2)侧的主面(4a)上；以及中间层(8)，在压电薄膜(4)设置于与支承基板(2)相反侧的主面(4b)上，构成有被支承基板(2)和压电薄膜(4)包围的空间(9)，IDT电极(5)配置为面向空间(9)，在压电薄膜(4)以及中间层(8)设置有从中间层(8)的与压电薄膜(4)相反侧的主面(8B)到达空间(9)的贯通孔(11、12)，在中间层(8)上还具备设置为覆盖贯通孔(11、12)的开口端的覆盖构件(19)。
弹性装置及其制造方法

[发明专利]压电元件-CN202080064644.0在审
发明人： 岸本谕卓;池内伸介;铃木胜之;黑川文弥 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2020-05-28 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： H01L41/04 文献下载
摘要：压电元件(100)包括压电体层(110)、第1电极层(120)、第2电极层(130)以及连接电极(140)。压电体层(110)具有第1面(111)、第2面(112)以及贯通孔(113)。第2电极层(130)位于压电体层(110)的第2面(112)侧。第2电极层(130)面向贯通孔(113)。第2电极层(130)含有硅作为主要成分。连接电极(140)设于第2电极层(130)中的面向贯通孔(113)的连接面(131)上。连接电极(140)由金属形成。连接面(131)的表面粗糙度(Ra)比第2电极层(130)的压电体层(110)侧的面中的连接面(131)以外的部分即主面(132)的表面粗糙度(Ra)大。
压电元件

[发明专利]压电元件及其制造方法-CN202080064677.5在审
发明人：池内伸介;小林真人;铃木胜之;黑川文弥;岸本谕卓;山田一 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2020-05-25 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： H01L41/047 文献下载
摘要：压电元件(100)包括压电体层(110)、第1电极层(120)以及第2电极层(130)。压电体层(110)具有第1面(111)和第2面(112)。第2面(112)位于与第1面(111)相反的那一侧。第1电极层(120)设于第1面(111)上。第2电极层(130)设于第2面(112)上。第2电极层(130)至少局部隔着压电体层(110)而与第1电极层(120)相对。第2电极层(130)含有硅作为主要成分。压电体层(110)由单晶形成。
压电元件及其制造方法

[发明专利]压电元件及其制造方法-CN202080064776.3在审
发明人：铃木胜之;池内伸介;黑川文弥;岸本谕卓;山田一;小林真人 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2020-07-06 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： H01L41/047 文献下载
摘要：压电元件(100)包括压电体层(110)、第1电极层(120)、第2电极层(130)以及连接电极(140)。第2电极层(130)至少局部隔着压电体层(110)而与第1电极层(120)相对。第2电极层(130)具有连接面(131)。连接面(131)在第2电极层(130)中的不与第1电极层(120)相对的区域中面向贯通孔(113)。连接电极(140)设于连接面(131)上。连接面(131)与第2电极层(130)的压电体层(110)侧的面中的连接面(131)以外的部分的位置的差为5nm以下。
压电元件及其制造方法

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