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[发明专利]改善SAW器件压电薄膜压电系数的设计方法及压电薄膜-CN202210268420.2有效
发明人：杨成韬;茹子雄;李瑶瑶 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2022-03-18 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G16C10/00 文献下载
摘要：本发明提供一种改善SAW器件压电薄膜压电系数的设计方法及得到的压电薄膜，包括步骤：(1)搭建晶胞模型，按照AlN卡片的原子位置添加，得到初级晶胞模型；(2)将搭建的初级晶胞模型扩展成超胞；(3)对超胞进行Sc原子掺杂，设置一个掺杂浓度得到掺杂后的超胞模型；(4)利用第一性原理计算Sc掺杂后的压电系数；(5)重复以上步骤，依次更换不同浓度的Sc原子掺杂，分别利用第一性原理计算Sc掺杂后的压电系数，压电系数最大的为Sc原子掺杂浓度最优值。本发明搭建模型并利用第一性原理计算，找到提升薄膜压电性能的方法，减少了实践中大量重复实验，提供了实验方向，减少实验成本。
改善 saw 器件压电薄膜系数设计方法

[发明专利]一种柔性薄膜式压电声发射传感器及其制作方法-CN202110152803.9有效
发明人：杨成韬;孙星林;茹子雄;肖盼 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2021-02-04 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： H01L41/053 文献下载
摘要：本发明涉及一种柔性薄膜式压电声发射传感器，属于电力工程技术领域。本发明的柔性薄膜式压电声发射传感器，除压电薄膜晶片外，所有组成部分均具有柔性；而压电薄膜晶片虽然不具有柔性，但其尺寸很小，因而可以适应弯曲的表面。实际测试中，本发明的传感器足以适应曲率半径为80mm的球面，克服了传统的声发射传感器厚度大、不易适应弯曲表面的缺点。此外，本发明的传感器中的薄膜式铜导线可以做得很长，因此这种结构的传感器可以伸入一些狭窄逼仄的空间工作。
一种柔性薄膜压电声发传感器及其制作方法