[实用新型]机械臂以及搬运机器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于物料运输的机械臂，特别是涉及一种机械臂以及搬运机器。

背景技术

在目前的液晶面板制造领域，尤其是薄膜晶体管液晶显示器（TFT-LCD）生产中工艺中，例如彩色滤光片（CF）工艺中，在基板上涂上光阻（PR）胶，在涂布或涂层（Coating）完成后，将基板搬送到真空干燥室内进行干燥，干燥后再搬送到烘烤炉进行加热等。在这些过程中，搬运基板一般采用带有真空吸盘的搬运机器（Robot Fork）进行搬送，该搬运机器包括传动体以及连接于传动体上的机械臂，机械臂上设置有用于吸取基板的真空吸盘，真空吸盘上设置有与抽真空管路连通的真空吸附孔。当采用上述结构的搬运机器搬送基板时，真空吸盘与基板贴合，真空吸盘与基板之间的空气通过真空吸附孔被吸走，这样在大气压力下，真空吸盘与基板紧密贴合，传动体带动机械臂，机械臂带动真空吸盘，真空吸盘带动基板运动，由此基板被搬运。当基板被搬运至目标位置（转送机上），这时需要真空吸盘与基板脱离，而这时真空吸盘由于静电原因经常产生的与基板的粘连，即真空吸盘与基板不能正常脱离，实践中机械臂通常会带动真空吸盘做一个将基板向下拖拽的动作，以便与之分离。上述动作虽然有助于真空吸盘与基板的脱离，但却会带来以下几个问题：

1、基板很容易因震动过大而与转送机摩擦，以致基板表面产生划痕；

2、基板很容易因拖拽动作的幅度过大而破碎。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种可以与基板正常脱离的，避免基板损伤的机械臂以及搬运机器。

本实用新型的机械臂，所述机械臂上设置有用于吸取基板的真空吸盘，所述真空吸盘上设置有真空吸附孔，所述真空吸盘上设置有用于向所述基板与所述真空吸盘之间送气的送气孔。

本实用新型的机械臂，其中，所述送气孔与输气管路连通，所述真空吸附孔与抽真空管路连通。

本实用新型的机械臂，其中，所述真空吸附孔位于所述真空吸盘的中心位置，所述送气孔位于所述真空吸附孔与所述真空吸盘的边缘之间。

本实用新型的机械臂，其中，所述送气孔为多个，多个所述送气孔沿周向均匀分布于以所述真空吸附孔为圆心的圆上。

本实用新型的机械臂，其中，所述送气孔为四个。

本实用新型的机械臂，其中，所述送气孔位于所述真空吸盘的中心位置，所述真空吸附孔位于所述送气孔与所述真空吸盘的边缘之间。

本实用新型的机械臂，其中，所述送气孔、所述真空吸附孔均为圆形，所述送气孔的直径大于所述真空吸附孔的直径。

本实用新型的机械臂，其中，所述送气孔的直径为3毫米，所述真空吸附孔的直径为1毫米。

本实用新型的搬运机器，包括传动体以及连接于传动体上的机械臂，所述机械臂为本实用新型的机械臂。

本实用新型的机械臂以及搬运机器可以有效防止真空吸盘与基板因为静电原因而粘连，保证真空吸盘与基板正常分离，避免基板损伤。

附图说明

图1为本实用新型的搬运机器的实施例的结构示意图；

图2为图1中真空吸盘的结构示意图；

图3为图2的A-A向剖视图，同时示出了本实用新型的机械臂的使用状态。

具体实施方式

如图1、图2、图3所示，本实用新型的搬运机器的实施例，包括由动力机构（图中未示出）驱动的传动体1以及连接于传动体1上的本实用新型的机械臂2。

本实用新型的机械臂2用于承托并运输基板10。本实用新型的搬运机器有机械臂2共四条，四条本实用新型的机械臂2平行排列。本实用新型的搬运机器的机械臂也可以为其他个数。

本实用新型的机械臂2上设置有用于吸取基板10的真空吸盘3，真空吸盘3上设置有用于向基板10与真空吸盘3之间送气的送气孔7。

当使用本实用新型的搬运机器的实施例进行基板10的搬运时，真空吸盘3与基板10贴合，真空吸盘3与基板10之间的空气被吸走，此时，送气孔处于关闭状态，这样在大气压力下，真空吸盘3与基板10紧密贴合，真空吸盘3带动基板10运动，由此基板10被搬运。当需要真空吸盘3与基板10脱离时，送气孔7向真空吸盘3与基板10之间输送空气，这样真空吸盘3与基板10之间的真空被破坏，从而使真空吸盘3与基板10因为其间充入气体而分离，流动的空气可以有效防止真空吸盘3与基板10因为静电原因而粘连，保证真空吸盘3与基板10的正常分离。

本实用新型的机械臂2，优选的，真空吸盘3上设置有真空吸附孔6，真空吸附孔6与抽真空管路9连通。送气孔7与输气管路8连通。