[发明专利]磷掺杂硅片、其制作方法、太阳能电池片及其制作方法

权利要求书

1.一种硅片的磷掺杂方法，其特征在于，包括升温待掺杂硅片、前净化、磷沉积扩散以及降温的步骤，其中所述磷沉积扩散步骤采用POCl₃作为磷源使其与O₂反应进行分步沉积扩散，在所述分步沉积扩散的步骤中所述POCl₃与所述O₂的体积比呈递减的方式进行。

2.根据权利要求1所述的磷掺杂方法，其特征在于，所述POCl₃与所述O₂的总流量呈递减的方式进行沉积扩散。

3.根据权利要求1所述的磷掺杂方法，其特征在于，所述分步沉积扩散步骤分至少三步沉积扩散进行。

4.根据权利要求1所述的磷掺杂方法，其特征在于，所述分步沉积扩散步骤分三步沉积扩散，三步所述沉积扩散按照以下条件进行：

第一步沉积扩散：所述POCl₃与所述O₂的总流量为1000～2000sccm，按体积比POCl₃：O₂=6:1～10:1，所述沉积扩散的时间为3～15分钟；

第二步沉积扩散：所述POCl₃与所述O₂的总流量为800～1500sccm，按体积比POCl₃：O₂=4:1～6:1，所述沉积扩散的时间为3～15分钟；以及

第三步沉积扩散：所述POCl₃与所述O₂的总流量为400～1200sccm，按体积比POCl₃：O₂=2:1～4:1，所述沉积扩散的时间为3～15分钟。

5.根据权利要求4所述的磷掺杂方法，其特征在于，三步所述沉积扩散按照以下条件进行：

第一步沉积扩散：所述POCl₃与所述O₂的总流量为1400～1800sccm，按体积比POCl₃：O₂=7:1～9:1，所述沉积扩散的时间为5～10分钟；

第二步沉积扩散：所述POCl₃与所述O₂的总流量为1100～1300sccm，按体积比POCl₃：O₂=4.5:1～5.5:1，所述沉积扩散的时间为5～10分钟；以及

第三步沉积扩散：所述POCl₃与所述O₂的总流量为600～800sccm，按体积比POCl₃：O₂=2.5:1～3.5:1，所述沉积扩散的时间为5～10分钟。

6.根据权利要求5所述的磷掺杂方法，其特征在于，三步所述沉积扩散按照以下条件进行：

第一步沉积扩散：所述POCl₃与所述O₂的总流量为1600sccm，按体积比POCl₃：O₂=8:1，所述沉积扩散的时间为8分钟；

第二步沉积扩散：所述POCl₃与所述O₂的总流量为1200sccm，按体积比POCl₃：O₂=5:1，所述沉积扩散的时间为8分钟；以及

第三步沉积扩散：所述POCl₃与所述O₂的总流量为600sccm，按体积比POCl₃：O₂=3:1，所述沉积扩散的时间为8分钟。

7.根据权利要求1所述的磷掺杂方法，其特征在于，将所述待掺杂硅片升温至840℃～870℃，优选升温至860℃。

8.一种磷掺杂硅片，其特征在于，采用权利要求1至7中任一项所述的磷掺杂方法制作而成。

9.一种太阳能电池的制作方法，其特征在于，包括磷掺杂硅片制作p-n结步骤，所述磷掺杂硅片制作p-n结步骤采用权利要求1至7中任一项所述的磷掺杂方法进行。

10.一种太阳能电池片，其特征在于，采用权利要求9中所述的太阳能电池的制作方法制作而成。