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[发明专利]法拉第笼刻蚀法大批量制备倾角补偿AFM探针的方法-CN202110589264.5在审
发明人：李金涛;朱效立;贾宪生;崔波 -专利权人：杭州探真纳米科技有限公司
申请日： 2021-05-28 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明针对现有普通AFM探针在测量时存在的固有缺陷，提供了一种法拉第笼刻蚀法大批量制备倾角补偿AFM探针的方法，该技术方案利用法拉第笼在等离子体环境中形成等电位，引导等离子体以垂直于法拉第笼表面的方向进入法拉第笼的特性，进而以Cr2O3为硬掩膜，进行倾斜刻蚀，从而得到倾角补偿AFM针尖；同时利用电子束曝光，UV曝光及Bosch工艺，得到探针悬臂梁及探针基底。本发明能够以耗时短且成本低的工艺实现在整片SOI片上大批量生产倾角补偿探针，并改良AFM探针，提高AFM探针测量的精准度。
法拉第刻蚀大批量制备倾角补偿 afm 探针方法

[发明专利]磁存储器及其制造方法-CN202310688808.2在审
发明人：范晓飞;郭宗夏;刘宏喜;曹凯华;王戈飞 -专利权人：致真存储（北京）科技有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H10N50/10 文献下载
摘要：AFM层，设置于MTJ层与加热器之间。绝缘层，设置于加热器两侧。其中，加热器通入电流后产生焦耳热以使AFM发生翻转。该磁存储器通过在磁隧道结构底部或顶部设置加热器，产生焦耳热，对AFM层进行热退磁，AFM层退磁后，重新磁化方向由MTJ内自旋转移矩效应规定，实现AFM翻转，进而翻转铁磁/反铁磁界面交换偏置，最终实现自由层磁矩翻转
磁存储器及其制造方法

[发明专利]一种基于AFM的微/纳观力-电耦合特性测量装置及其方法-CN201810071309.8有效
发明人：王学森;王成原;张康;俞笑竹;赵越;孙虎 -专利权人：常州市利多合金材料有限公司;江苏大学
申请日： 2018-01-25 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于AFM的微/纳观力‑电耦合特性测量装置，包括压电驱动器、AFM探头、导电第二探针、激光发射器、显微镜、检测器和数据处理中心；柔弹性导电试样的两端通过夹具安装在固定架上；所述固定架上安装可移动的压电驱动器；所述固定架上安装AFM探头和导电第二探针，所述AFM探头通过运动与柔弹性导电试样表面接触，所述导电第二探针可与柔弹性导电试样表面接触；所述AFM原子力显微镜内置所述激光发射器和检测器，所述激光发射器用于发射信号
激光发射器导电试样电耦合固定架柔弹性导电探头探针检测器特性测量装置压电驱动器机械荷载数据处理中心原子力显微镜材料性能导电性能发射信号夹具安装实时动态耦合关系可移动显微镜内置测试

[发明专利]一种利用FIB制备TEM和AFM同区域观察样品的制备方法-CN202310510219.5有效
发明人：宋海利;薛玮;李满荣;朱庭顺;苏成勇 -专利权人：中山大学
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明涉及样品检测的技术领域，更具体地，涉及一种利用FIB制备TEM和AFM同区域观察样品的制备方法，本发明的一种利用FIB制备TEM和AFM同区域观察样品的制备方法通过在金属导电网上切割出用于容纳样品的样品槽以及用于透视观察的孔洞，增加样品与金属导电网之间固定的稳定性，在厚度满足TEM观察需求的同时利用金属导电网的支撑也满足了AFM施加原子力的观察的需求，使TEM和AFM可以观察同一个样品，实现样品的结构和性能直接建立起关联性要求，建立起准确、高效地联系，解决了现有技术中无法制作同时满足TEM和AFM同区域观察要求的样品的技术问题。
一种利用 fib 制备 tem afm 区域观察样品方法

[发明专利]一种提高单个DNA分子AFM图像对比度的方法-CN200910197713.0无效
发明人：李宾;胡钧 -专利权人：中国科学院上海应用物理研究所
申请日： 2009-10-27 - 公布日： 2010-05-19 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种提高单个DNA分子AFM图像对比度的方法，包括如下步骤：修饰云母衬底和制备DNA分子样品，使所述DNA分子固定在所述云母衬底表面上；将所述DNA分子样品安装在AFM仪器上；用水溶液修饰AFM针尖1-10分钟；修饰后的AFM针尖取出后安装在扫描头上，对所述衬底上的DNA分子进行扫描成像。本发明的提高单个DNA分子AFM图像对比度的方法，基于蘸笔纳米刻蚀技术，主要通过利用探针在衬底上扫描时，吸附在探针上的部分水溶液转移到衬底DNA分子上的过程，增加单个DNA分子的高度，从而达到简单有效的提高
一种提高单个 dna 分子 afm 图像对比度方法

[发明专利]衬底上生长薄膜厚度的测量方法及装置-CN201911103781.6在审
发明人：刘宇航;许诺;汪震海 -专利权人：北京机械设备研究所
申请日： 2019-11-13 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：本申请揭示了一种衬底上生长薄膜厚度的测量方法及装置，该方法包括将AFM探针针尖方向与待测样品上生长薄膜的表面平行；控制AFM探针在待测样品上方第一位置与待测样品的薄膜表面之间垂直往复运动，获取AFM探针的第一受力曲线和第一位移曲线；控制AFM探针在校准样品表面上方第二位置与校准样品表面之间垂直往复运动，获取AFM探针的第二受力曲线和第二位移曲线；根据第一受力曲线、第二受力曲线、第一位移曲线、第二位移曲线、校准样品的衬底厚度，计算待测样品的薄膜厚度本申请采用AFM探针基于相同的位置基准，通过测试固定于同一表面的两种样品的探针移动距离差异，通过求差即可实现对衬底表面薄膜的厚度进行高精度的测量。
探针待测样品受力曲线位移曲线薄膜垂直往复运动样品表面校准衬底测量方法及装置薄膜表面表面平行衬底表面第二位置第一位置探针针尖同一表面位置基准生长求差申请测量测试

[发明专利]使用峰值力轻敲的样本的红外表征-CN201780065286.3在审
发明人：许晓汲;马丁·瓦格纳;苏禅敏 -专利权人：布鲁克纳米公司;里海大学
申请日： 2017-08-22 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：一种使用原子力显微镜AFM以及引导至AFM的探针针尖的脉冲IR激光进行样本表征的装置和方法。所述激光脉冲与AFM的振荡驱动同步，使得脉冲与针尖/样本仅在选定(例如每隔一个)的振荡循环相互作用。
样本脉冲原子力显微镜AFM 红外表征激光脉冲纳米光谱纳米机械探针针尖振荡驱动振荡循环峰值力分辨率针尖激光测量

[发明专利]一种AFM设备及其变温装置、变温方法-CN201911275115.0在审
发明人：黄社松;杨威;王凡;刘一君;刘云 -专利权人：北京飞斯科科技有限公司
申请日： 2019-12-12 - 公布日： 2020-02-28 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于AFM位移台的变温装置，包括：变温系统和样品座，所述变温系统包括：制冷系统；所述用于AFM位移台的变温装置还包括：导热件；所述制冷系统独立于所述样品座设置，且通过所述导热件相连。本发明还提供了一种应用上述的用于AFM位移台的变温装置的AFM设备，以及应用该AFM设备的变温方法。
一种 afm 设备及其装置方法

[发明专利]采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法-CN201510877456.0有效
发明人：闫永达;耿延泉;于博文;赵学森;胡振江 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2014-08-07 - 公布日： 2016-10-26 - 主分类号： B82B3/00 文献下载
摘要：采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法，属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题，所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台，X方向精密工作台底座固连在Y方向精密工作台的滑块上，X方向定位工作台的滑块进行X方向运动，Y方向精密工作台底座固连在AFM样品台上，Y方向定位工作台的滑块进行Y方向运动。本发明提出的三种方法分别通过对同一套商用AFM以及高精度定位平台系统的不用控制和参数设置，实现采用AFM探针纳米刻划技术加工复杂三维微纳米结构的加工。
采用 afm 探针纳米刻划加工复杂三维结构方法

[发明专利]AFM₁荧光增敏剂-CN201610036628.6有效
发明人：马良;张宇昊 -专利权人：西南大学
申请日： 2016-01-20 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：本发明公开了一种黄曲霉毒素M₁荧光增敏剂，由甲基‑β‑环糊精和含Hg²⁺的溶液组成，甲基‑β‑环糊精：AFM₁摩尔比为5.8×10⁵:1，Hg²⁺：AFM₁的摩尔比为6.6×10⁴:1。AFM₁待测溶液体系在0.01～2μg/L浓度范围内相关系数R可达到0.999以上，检出限为0.0026μg/L。本发明所述一种快速、灵敏、经济的荧光增强剂有望直接用于检测奶制品中的AFM₁，为AFM₁的快速检测提供了新思路和新途径。
荧光增敏剂黄曲霉毒素环糊精摩尔比荧光增强剂待测溶液快速检测溶液组成荧光增强检出限新途径奶制品灵敏检测

[发明专利]原子力显微镜针尖基底微小距离控制方法-CN201310317582.1在审
发明人：焦念东;刘增磊;王越超;刘连庆 -专利权人：中国科学院沈阳自动化研究所
申请日： 2013-07-25 - 公布日： 2015-02-11 - 主分类号： G05D3/12 文献下载
摘要：本发明公开一种原子力显微镜(AFM)针尖基底距离控制的方法。调节针尖与基底接触并且压力为零，以此状态作为初始状态；控制压电陶瓷收缩，带动探针向上运动，使AFM探针的针尖离开基底，所述针尖和基底表面的水膜形成液桥，通过调节AFM的压电陶瓷的伸缩使AFM探针的悬梁臂发生相应程度的形变
原子显微镜针尖基底微小距离控制方法

[发明专利]基于AFM纳米压痕实验获取硬度和弹性模量测量值的方法-CN202011194114.6在审
发明人：陈建超;高玉东;张鑫业;刘博玮;许帅康;安小广 -专利权人：燕山大学
申请日： 2020-10-30 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于AFM纳米压痕实验获取硬度和弹性模量测量值的方法，所述方法主要包括载荷‑位移曲线的转化、硬度的计算和弹性模量的计算等步骤，当前AFM设备在完成纳米压痕后仅能将采集到的数据由载荷‑位移转化为载荷因此，本发明的目的在于使载荷‑位移曲线转化为载荷‑压深曲线后能够依靠AFM纳米压痕获取的原始载荷‑位移曲线，完成硬度和弹性模量值高效、精准的计算，从而为AFM纳米压痕的使用者们提供便利条件。
基于 afm 纳米压痕实验获取硬度弹性模量测量方法

[发明专利]用于主动燃油管理系统的诊断方法和系统-CN200810005077.2无效
发明人： M·M·麦唐纳;W·C·阿尔伯特森 -专利权人：通用汽车环球科技运作公司
申请日： 2008-01-31 - 公布日： 2008-08-06 - 主分类号： G01M15/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种诊断系统，用于内燃机的主动燃油管理(AFM)螺线管。该系统包括：指令模块，用于选择性地发出螺线管信号指令来接通和断开AFM螺线管；计时器模块，用于根据螺线管信号的状态激活计时器；以及故障模块，用于根据计时器和撞击传感器信号选择性地诊断AFM螺线管的故障。
用于主动燃油管理系统诊断方法

[发明专利]驾驶员可选择的AFM/NVH容限-CN201010164377.2有效
发明人： T·E·博兰德;W·C·阿尔伯森 -专利权人：通用汽车环球科技运作公司
申请日： 2010-04-15 - 公布日： 2010-10-20 - 主分类号： F02D43/00 文献下载
摘要：本发明涉及驾驶员可选择的AFM/NVH容限。具体地，一种发动机控制系统，包括系数计算模块，所述系数计算模块选择N个系数中的一个系数，所述选择基于N个用户中相应一个用户做出的AFM选择。开关扭矩计算模块基于所述N个系数中的所述一个系数、发动机的最大扭矩和默认AFM开关阈值来计算调节后的主动燃料管理开关阈值。
驾驶员可选择 afm nvh 容限

[发明专利]一种基于AFM探针测定酶蛋白与木素之间力曲线的方法-CN202010341903.1在审
发明人：闵斗勇;李明富;张清桐;罗斌;迟明超;王双飞;覃程荣 -专利权人：广西大学
申请日： 2020-04-27 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于AFM探针测定酶蛋白与木素之间力曲线的方法。本发明首先将一端为巯基另一端为羧基的PEG高分子偶联到表面镀金的AFM硅探针上，其次将纤维素酶蛋白本身含有的氨基利用NHS/EDS交联剂与AFM探针表面修饰羧基反应，从而将纤维素酶蛋白修饰到AFM探针上
一种基于 afm 探针测定蛋白之间曲线方法