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[发明专利]基于六自由度齿轮啮合模型的减速器键合图模型优化方法-CN201911154771.5有效
发明人：孙冬野;侯文锋;陈冲;许俊雄;李宝刚 -专利权人：重庆大学
申请日： 2019-11-20 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： G06F30/17 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于六自由度齿轮啮合模型的减速器键合图模型优化方法，按照以下步骤进行：S1：建立六自由度的第一级齿轮副啮合动力学模型；S2：建立六自由度的第一级齿轮副键合图模型；S3：推导出第一级齿轮副键合图模型的状态方程；S4：建立减速器键合图模型；S5：推导出减速器键合图模型的状态方程；S6：对减速器键合图模型的状态方程进行仿真分析，并修正减速器键合图模型。采用以上技术方案，建立的齿轮副键合图模型和减速器键合图模型能够准确地分析减速器特性以及其他采用齿轮传动机构的特性，为减速器和其它齿轮传动系统的优化设计提供理论基础。
基于自由度齿轮啮合模型减速器键合图优化方法

[发明专利]键合头、键合装置和键合方法-CN202211506940.9在审
发明人：龙俊舟;陶超;王力 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： H01L21/603 文献下载
摘要：本申请提供一种键合头、键合装置键合方法。键合头包括键合块，键合块的底面包括第一区域和第二区域，第一区域包括键合块的底面的中心区域，第二区域环绕第一区域，第一区域中设置有第一压力施加装置的至少部分，第二区域中设置有吸附第一键合对象的第二压力施加装置的至少部分在进行贴合时，吸附在键合块的底面上的第一键合对象下表面的拱起的中间区域先于第一键合对象下表面的边缘区域贴合第二键合对象的上表面，且第一压力施加装置从第一工作状态切换至第二工作状态，以使第一键合对象下表面的拱起的中间区域逐渐恢复形变，第一键合对象的下表面和第二键合对象的上表面依次贴合，从而将第一键合对象和所述第二键合对象键合在一起。
键合头装置方法

[发明专利]键合头、键合设备和键合方法-CN202010130971.3有效
发明人：郭耸;朱鸷 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2020-02-28 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种键合头、键合设备和键合方法。该键合头包括至少一个键合头组件；键合头组件包括压头、加压电极和压力检测单元，压头包括压电材料，压头用于压合芯片，加压电极与压头连接，加压电极用于为压头提供交流电压，以使压头在压合方向上产生变形，压力检测单元用于在芯片键合时检测压头对芯片的压力通过调节加压电极为压头提供交流电压的大小可以调节压头压合芯片的压力，并通过压力检测单元检测压头对芯片的压力，从而可以降低键合头的成本，减小了键合头的质量和体积，有利于提高键合设备的产率和键合精度。而且，键合头组件的体积减小，可以有利于实现多个芯片的批量键合，提高键合设备的键合效率。
键合头设备方法

[发明专利]基于键合图建模的电驱动系统多场耦合优化方法-CN201911142077.1有效
发明人：孙冬野;侯文锋;尤勇;史小丁;周瑾 -专利权人：重庆大学
申请日： 2019-11-20 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： G06F30/17 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于键合图建模的电驱动系统多场耦合优化方法，包括以下步骤：S1：建立永磁电机键合图模型；S2：建立减速器键合图模型；S3：建立电驱动系统键合图模型，并推导出电驱动系统键合图模型的状态方程；S4：输入仿真参数，并修正电驱动系统键合图模型。
基于键合图建模驱动系统耦合优化方法

[发明专利]晶圆键合缺陷位置定位方法及半导体器件样品的制作方法-CN202010717850.9在审
发明人：陈超;王泽逸;许向辉 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2020-07-23 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆键合缺陷位置定位方法及半导体器件样品的制作方法，涉及半导体技术领域。由于在本发明提供的晶圆键合缺陷位置定位方法中，通过先在半导体堆叠结构的一非键合表面(例如上表面)上增加至少两个对准标记，然后对半导体堆叠结构的上表面和键合界面进行扫描，得到了包含对准标记的第一检测分布图以及包含键合缺陷的第二检测分布图，进而通过第一检测分布图和第二检测分布图，确定出键合界面上各键合缺陷的位置，最终实现了对键合缺陷位置进行精准定位的目的。
晶圆键合缺陷位置定位方法半导体器件样品制作方法

[发明专利]一种基于键合图的移动机械臂系统及其建模方法-CN201811153805.4有效
发明人：钱阳;吴雄君;刘剑;韩非;赵伟杰 -专利权人：上海神添实业有限公司
申请日： 2018-09-30 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： B25J9/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于键合图的移动机械臂系统建模方法，该方法包括：1、构建驱动电机、传动机构键合图模型；2、构建双轮差动式移动机器人机械系统键合图模型；3、构建串联式机械臂机械系统键合图模型；4、根据机器人自由度，连接步骤1至步骤3所建立的键合图模型，并考虑与地面间的受力关系，建立完整的机器人系统键合图模型；5、根据键合图模型推导数学模型；6、根据模型进行系统仿真、分析。本发明避免了对移动机器人和机械臂分别建模、分别控制而忽略其耦合关系所带来的误差，采用键合图方法，以统一的方式处理多种能量形式并存的机器人系统的建模与仿真问题，提高了机器人系统动力学建模、仿真、分析的快速性及准确性
一种基于键合图移动机械系统及其建模方法

[发明专利]键合头、芯片键合机和键合方法-CN202210332496.7在审
发明人：郑嘉瑞;胡金;王明军;张浩;尹祖金;周宽林;李虎;耿小猛;李昌洪 -专利权人：深圳市联得自动化装备股份有限公司
申请日： 2022-03-31 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：本发明涉及一种键合头、芯片键合机和键合方法，所述键合头包括：拾取组件、多个柔性体及多个控制件，所述拾取组件用于拾取芯片，所述柔性体包括第一连接端和第二连接端，多个所述柔性体的所述第一连接端均与所述拾取组件连接上述键合头能够自适应地调平芯片与基板，提高芯片与基板键合时的精度。芯片键合机包括上述键合头，能够提高芯片与基板键合时的精度。键合方法应用于上述芯片键合机，能够提高芯片与基板键合时的精度。
键合头芯片键合机方法

[发明专利]键合头装置、键合方法及键合机台-CN201710930963.5有效
发明人：程海林;赵丽丽;夏海;陈飞彪 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-10-09 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： H01L21/603 文献下载
摘要：本发明提出的键合头装置、键合方法及键合机台，第一动力组件与键合组件相互独立，实现了整个键合头装置的轻量化，增加了键合头装置在键合过程中的移动速度，同时减小了在键合芯片时产生的第一作用力，增加了键合的产率；进一步的，通过键合组件中的气浮轴套单元精密调压以缓冲第一作用力，无需使用传统的压力传感器，降低了键合头进行芯片贴合时的控制过程的复杂度，同时无需减少键合头装置的刚度，避免了芯片键合时发生贴合翘曲以及第一作用力不均匀等问题；更进一步的，本发明提出的键合机台使用第一动力组件与键合组件相互独立的键合头装置，可同时对多个工作台上的芯片进行键合，极大提高了键合产率。
键合头装置方法机台

[发明专利]一种馈能减震器回收功率的计算方法-CN202210041363.4在审
发明人：关栋;周竹馨;沈辉;李竞;张纯 -专利权人：扬州大学
申请日： 2022-01-14 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： G06F30/17 文献下载
摘要：本发明公开了一种馈能减震器回收功率的计算方法，包括以下步骤，建立功率键合图模型；根据功率键合图模型，推导出功率键合图模型的状态方程；根据状态方程，建立减震器的数学模型；根据键合图元和方块图单元的对应关系，将键合图模型转换成方块图；根据数学模型和方块图，在软件中建立动态仿真模型，计算回收功率；根据动态仿真模型中的输入量，在软件中分析其对回收功率的影响，筛选出贡献较大的参数；使用本发明能提高计算效率。
一种减震器回收功率计算方法

[发明专利]一种基于键合图的高速电主轴热误差建模方法-CN202110487216.5有效
发明人：戴野;曲航;战士强;高延华;周志成 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2021-05-05 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： G05B19/404 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于键合图的高速电主轴热误差建模方法，该方法包括：1、构建高速电主轴轴承温度场键合图模型；2、构建电动机定子温度场键合图模型；3、构建电动机转子温度场键合图模型；4、根据高速电主轴的具体结构，连接步骤1至步骤3所建立的温度场键合图模型，建立完整的高速电主轴热误差系统温度场键合图模型；5、建立高速电主轴的热误差数学模型；6、根据模型进行系统仿真、分析得出高速电主轴热误差大小。本发明采用键合图建模方法，方便连接、添加各个零部件，可直接对存在多种能量形式的高速电主轴系统温度场进行建模、分析，并解决了产生无法分析的奇异点的难题，提高了高速电主轴系统建模、仿真、分析的快速性及准确性
一种基于键合图高速主轴误差建模方法

[外观设计]铝带键合工具-CN202230578617.7有效
发明人：吴志进 -专利权人：苏州萱玥电子科技有限公司
申请日： 2022-09-01 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：铝带键合工具。2.本外观设计产品的用途：用于安装在铝线键合机的键合工具，该键合工具用于铝带键合工艺，本产品使铝带键合产生弧度。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
铝带键合工具

[发明专利]一种针对雷达天线伺服系统的快速仿真分析方法-CN201410458766.4有效
发明人：黄进;邱丽丽;宋瑞雪;张洁 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2014-09-11 - 公布日： 2017-06-20 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种针对雷达天线伺服系统的快速仿真分析方法，其步骤包括1)进行键合图参数化建模，按照驱动电机、传动机构和反射面体的建模顺序，对系统中各部件进行简化处理，建立天线伺服系统键合图模型；2)进行虚拟样机多刚体建模，基于系统中每一实体对应多刚体模型中一个刚体的建模理论，依次建立各环节零件刚体模型，并参照键合图参数化模块，对相应刚体进行组合，得到系统设计模型；3)引入参数同步机制，通过设计模型信息文件实现设计模型参数向键合图模型的同步传递；4)根据系统键合图模型推导系统数学模型。本发明将数学建模仿真、多刚体建模仿真和键合图建模仿真方法很好地结合，利用了各自优点，避免了各自的不足。
一种针对雷达天线伺服系统快速仿真分析方法

[发明专利]一种滚珠丝杠式馈能减震器的功率计算方法-CN202110819078.6有效
发明人：沈辉;周竹馨;关栋;李竞;丛枭杰;王佩犇;吴倩雯;龚俊杰 -专利权人：扬州大学
申请日： 2021-07-20 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： G06F30/15 文献下载
摘要：本发明公开了一种滚珠丝杠式馈能减震器的功率计算方法，包括以下步骤，将三维模型转换格式后导入Adams进行虚拟样机多刚体建模，获得模型参数；建立功率键合图模型；根据功率键合图模型，推导出功率键合图模型的状态方程；根据状态方程，建立减震器的数学模型；根据键合图元和方块图单元的对应关系，将键合图模型转换成方块图；根据方块图，在Matlab‑Simulink中建立动态仿真模型；输入以上步骤中获得的模型参数，对动态仿真模型进行仿真分析
一种滚珠丝杠式馈能减震器功率计算方法

[发明专利]键合方法及键合装置-CN202010671643.4在审
发明人：母凤文 -专利权人：母凤文
申请日： 2020-07-13 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： H01L21/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种键合装置及键合方法，该装置包括一用于表面活化的光源，一真空腔体、一支撑机构和一加压机构；光源用于活化两键合表面，加压机构可以在活化后施加压力辅助键合、支撑机构用于将待键合样品传送至特定位置后支撑固定待键合样品该键合装置可以避免传统表面活化键合方法带来的界面损伤层和氧化层，实现界面具有完整的晶格结构，从而保证界面具备特定性能。
方法装置

[发明专利]键合装置及键合方法-CN201911068958.3在审
发明人：吴明洙;朴头山;秦贤哲;申熙钟 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2019-11-05 - 公布日： 2020-05-12 - 主分类号： H01L21/603 文献下载
摘要：本申请涉及键合装置和键合方法。键合装置包括：各向异性导电膜(“ACF”)附接单元，将第一ACF和第二ACF附接到显示面板组装件上；压缩单元，将第一膜上芯片(“COF”)压缩在第一ACF上，并且将第二COF压缩在第二ACF上；以及缓冲单元
装置方法

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