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[实用新型]等离子清洗设备-CN201120481251.8有效
发明人：徐大林;郑载润;侯智;刘祖宏;丁欣;张巍 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司
申请日： 2011-11-28 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： B08B11/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等离子清洗设备，涉及玻璃基板清洗技术领域，解决了由于等离子清洗设备采用一单体中空阳极离子源实现基板的清洗，所述单体中空阳极离子源口径小，外层喷射离子束流耗散严重，造成等离子清洗设备只能应用在科研实验中的硅片等小尺寸基板的清洗中的问题本实用新型提供的等离子清洗设备，包括承重板、设置在所述承重板第一表面上的第一密封罩内均匀分布的多个中空阳极离子源，设置在所述承重板第二表面上的第二密封罩内的工作气体管道，所述工作气体管道穿过所述承重板与其对应的中空阳极离子源连接
等离子清洗设备

[发明专利]半导体封装方法-CN201910322232.1在审
发明人：党宁 -专利权人：无锡华润安盛科技有限公司
申请日： 2019-04-22 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： H01L21/56 文献下载
摘要：本申请提供一种半导体封装方法，其包括：对待封装产品进行等离子体清洗处理，其中，向等离子体清洗处理空间供给的处理气体中包含氧气，所述氧气的体积占比至少为70％；对完成等离子体清洗处理的所述待封装产品进行封装本申请通过采用氧气的体积占比至少为70％的所述处理气体对所述待封装产品进行等离子体清洗处理，能够将所述待封装产品的表面的有机与无机污染物彻底清除，提高清洗效果。
半导体封装方法

[实用新型]一种具有滚轮支撑结构的等离子清洗机-CN201922338820.2有效
发明人：刘善双 -专利权人：深圳市奥坤鑫科技有限公司
申请日： 2019-12-24 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有滚轮支撑结构的等离子清洗机，涉及等离子设备技术领域，包括机箱，机箱底部连接上支撑座，上支撑座下部安装下支撑座，上支撑座与下支撑座间通过滚轮与支架连接，机箱底部安装输送装置，机箱内顶部安装等离子发生器，等离子发生器连接等离子清洗装置，滚轮可以在滑轨内水平移动，从而带动上支撑座上下移动，滑轨外侧为锯齿形结构，通过设置卡板以及固定销，可以将固定销固定在齿形结构内，从而将滚轮固定，可以根据现场环境调整机箱的高度，场地适应性更强，通过在机箱内设置输送装置，可以将待清洗物体输送到等离子清洗装置下方进行清洗，不需要人工输送，更加具有效率。
一种具有滚轮支撑结构等离子清洗

[实用新型]一种新型等离子在线清洗的处理设备-CN202120310712.9有效
发明人：李旭东;王飞;侯振健 -专利权人：深圳市东信高科自动化设备有限公司
申请日： 2021-02-03 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型等离子在线清洗的处理设备，包括：机架；钣金面板，配合机架的结构设置；夹具传动机构，固定设在机架内；等离子清洗机构，固定设在夹具传动机构的上方；控制机构，用于控制夹具传动机构和等离子清洗机构；其中，等离子清洗机构包括可轴向活动的运动模块，运动模块上设有等离子喷枪，夹具传动机构包括皮带传动单元和两个夹具单元，皮带传动单元包括皮带、传动部件和驱动电机，皮带包括相互平行的第一活动段和第二活动段，两个夹具单元分别设在第一活动段和第二活动段上，驱动电机通过传动部件驱动皮带进行往复运动，两个夹具交替进行上料和等离子清洗处理，可不停机操作，提高设备生产率。
一种新型等离子在线清洗处理设备

[发明专利]一种动力电池顶盖的清洗装置及清洗方法-CN201810699371.1在审
发明人：覃涛;王亚;汤守巧;韩玮 -专利权人：东莞塔菲尔新能源科技有限公司;江苏塔菲尔新能源科技股份有限公司;深圳塔菲尔新能源科技有限公司
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明属于清洗装置技术领域，具体涉及一种动力电池顶盖的清洗装置，包括用于清洗动力电池顶盖的等离子清洗机构(1)和用于运送动力电池到所述等离子清洗机构(1)的运送装置(2)，所述等离子清洗机构(1)包括与动力电池配合的清洗腔(11)、及与所述清洗腔(11)连通的等离子发生器(12)。本发明能够清洗动力电池顶盖上带有电荷的浮粉，而且不损伤动力电池，同时实现自动化清洗，避免人工接触影响清洗效果，提高生产效率，并且防止焊接过程中产生爆点，提高动力电池的质量。此外，本发明还公开了一种动力电池顶盖的清洗方法。
动力电池顶盖等离子清洗清洗装置清洗清洗腔等离子发生器影响清洗效果自动化清洗焊接过程生产效率运送装置电荷连通损伤运送配合

[发明专利]一种等离子体活化水农药清洗机-CN201810190150.1在审
发明人：郑永平;王凯乐;吴松杰;党杰;张凯;张珏;方竞 -专利权人：北京大学
申请日： 2018-03-08 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： B08B3/10 文献下载
摘要：本发明提供了一种等离子体活化水农药清洗机，本发明涉及一种家用或商用清洗装置，它可以快速、大量地除去农产品上残留农药。本发明采用等离子体活化水来清洗残留在农产品上的残留农药，等离子体活化水中含有大量的活性自由基，其中具有强氧化性的羟基自由基可将农产品上的残留农药分解成无害的小分子物质。本发明采用清洗舱与清洗桶分离的设计，方便清洗完成后农产品的取出，有利于流水线作业生产。等离子体发生器的输出功率可根据制备等离子体活化水的实际需求调节，起到节能环保的作用。
等离子体活化残留农药农产品清洗机等离子体发生器活性自由基流水线作业小分子物质羟基自由基方便清洗节能环保强氧化性清洗装置实际需求输出功率农药清洗舱清洗桶商用水中制备清洗取出残留分解生产

[实用新型]一种太阳能背板自动清洗装置-CN202122028543.2有效
发明人：李纪伟;王永;巴义敏;王海涛;吕井成;郭鹏飞;聂琦 -专利权人：唐山海泰新能科技股份有限公司
申请日： 2021-08-26 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及太阳能组件清洗技术领域，尤其涉及一种太阳能背板自动清洗装置。括多个等离子喷头，所述等离子喷头水平的安装在支撑架中，所述支撑架的一侧设置有机械臂，所述机械臂的末端设置有背板抓取机构，所述等离子喷头连接等离子清洗机。等离子清洗有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染；通过在机械臂末端设置抓取机构实现背板的自动吸取，避免人工移动背板造成变形的问题。
一种太阳能背板自动清洗装置

[实用新型]适用于可扰曲材料的等离子清洗装置-CN201520817210.X有效
发明人：冯斌;金浩;王德苗;李东滨 -专利权人：苏州求是真空电子有限公司
申请日： 2015-10-22 - 公布日： 2016-08-03 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适用于可扰曲材料的等离子清洗装置,包括：真空腔体，置于真空腔体内并安装可绕曲材料的卷轮，等离子气体管道，传送可绕曲材料使得可绕曲材料得到均匀清洗的传送组件。本实用新型提供一种根据等离子体源结构设计的清洗装置，可以方便且高效的获得高密度等离子体，实现对可扰曲材料的高效且全面的清洗。
适用于可扰曲材料等离子清洗装置

[实用新型]解离率监控装置、等离子清洗单元以及等离子设备-CN201620180334.6有效
发明人：王满;廖国华;马方;储明明;王杰;王宜申 -专利权人：合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-03-09 - 公布日： 2016-07-27 - 主分类号： C23C16/513 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种解离率监控装置、等离子清洗装置以及等离子设备，涉及液晶显示制造领域，可以解决现有等离子设备中对解离率缺少监控的问题，给等离子解离部件更换以及设备维护保养提供准确科学数据，确保工艺镀膜腔室清洗效果和产品品质稳定性本实用新型的解离率监控装置，用于监控等离子设备的解离率，包括：电源、等离子采集器、电流表和线材，所述电源、等离子采集器和电流表通过所述线材相互串联形成闭合电路；等离子采集器包括：两个极板和设置于两个极板之间的绝缘物质
解离监控装置等离子清洗单元以及设备

[实用新型]药物球囊的制备装置-CN201320870432.9有效
发明人：刘恒全;詹爱玲;鞠隆艳;钟健 -专利权人：深圳市金瑞凯利生物科技有限公司
申请日： 2013-12-26 - 公布日： 2014-06-25 - 主分类号： A61M25/10 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种药物球囊的制备装置，包括：清洗单元；等离子处理单元，药物球囊通过等离子处理单元进行刻蚀；夹具，安装在等离子处理单元内，夹具包括载台，载台上设置有多个用于悬挂药物球囊的悬挂部；驱动装置，与等离子处理单元的转台驱动连接，用于驱动转台在等离子处理单元内回转；机械手，药物球囊由机械手从等离子处理单元取出后送到清洗单元进行清洗；转速控制单元，与驱动装置电连接，用于控制驱动装置的旋转速度。
药物制备装置

[实用新型]大气常压差分输出激励低温等离子体玻璃清洗装置-CN202020460849.8有效
发明人：郭进旭;沈中增;李闪;徐明济 -专利权人：苏州邦提克智能科技有限公司
申请日： 2020-04-01 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及大气常压差分输出激励低温等离子体玻璃清洗装置，包括固定台，所述固定台内均匀转动设置有辊轴，所述辊轴上均匀固定设置有滚轮，所述固定台上固定设置有清洗箱，所述清洗箱顶部固定设置有低温等离子体激励电源，所述清洗箱内腔对称设置有低温等离子体发生装置，所述低温等离子体发生装置包括第一激发电极、第二激发电极，所述第一激发电极、第二激发电极分别位于固定台上方、下方，所述第一激发电极顶部通过电动伸缩杆与清洗箱内腔顶部连接，所述清洗箱底部固定安装有抽风机，所述固定台一侧固定安装有驱动电机，所述驱动电机输出轴与辊轴传动连接，便于玻璃的匀速输送，通过等离子体对玻璃进行清洗，提高玻璃的清洗效果。
大气常压输出激励低温等离子体玻璃清洗装置

[实用新型]一种屏幕移印等离子清洗过盘装置-CN202223232855.6有效
发明人：许立峰;肖锋;谭轻 -专利权人：深圳市诺峰光电设备有限公司
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： B65G35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种屏幕移印等离子清洗过盘装置，包括传送机构及等离子清洗机构，其中，上述传送机构水平设置，传送机构包括逐次设置的清洗工位及放盘工位，放盘工位包括并列设置的二条物料通道，承载物料的料盘叠放于物料通道内；上述清洁工位处设有横移组件，横移组件在两条物料通道之间来回直线运动，以便从两物料通道接取料盘；上述等离子清洗机构架设在清洗工位上方，物料通道内放出的料盘进入清洗工位，经等离子清洗机构等离子清洗物料。
一种屏幕等离子清洗装置

[实用新型]等离子清洗机-CN202122406409.1有效
发明人：张勇;张亮;何龙翔 -专利权人：深圳市泰科盛自动化系统有限公司
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等离子清洗机，包括机架组件，中框传送机构，等离子清洗机构及上罩组件；所述中框传送机构设置于所述机架组件上，包括第一中框传送机构及第二中框传送机构，所述第一中框传送机构及第二中框传送机构并排设置，用于传送中框；所述等离子清洗机构包括等离子清洗头及驱动组件，所述等离子清洗头与所述驱动组件相连，用于清洗中框，所述驱动组件设置于所述第一中框传送机构及第二中框传送机构上，用于驱动所述等离子清洗头沿XY轴方向运动；所述上罩组件设置于所述机架组件上，用于罩设所述中框传送机构及等离子清洗机构。根据本实用新型提供的清洗机，可以自动完成中框的清洗和除尘，减少人工参与，一方面，极大的减轻了人力负担，另一方面也极大的提高了工作效率和洁净度，有利于提高企业的竞争力。
等离子清洗

[发明专利]防眩光玻璃的加工设备及加工方法-CN202111086930.X在审
发明人：邬文波;赵成伟 -专利权人：西实显示高新材料（沈阳）有限公司
申请日： 2021-09-16 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本发明一种防眩光玻璃的加工设备及加工方法，加工设备包括进料室、进料缓冲室、清洗工艺室、过渡室、蚀刻工艺室、出料缓冲室以及出料室，清洗工艺室设置第一等离子产生装置，蚀刻工艺室设置第二等离子产生装置和偏压装置，待加工的玻璃基板依次通过清洗工艺室和蚀刻工艺室，在清洗工艺室，清洗气源为第一等离子产生装置供气工作，对待加工的玻璃基板进行等离子清洗；在蚀刻工艺室，蚀刻气源为第二等离子产生装置供气，同时偏压装置工作，对玻璃基板进行等离子蚀刻，从而形成防眩光表面。
眩光玻璃加工设备方法

[发明专利]防指纹喷涂方法及设备-CN201510282962.5有效
发明人：杨磊 -专利权人：深圳市顺安恒科技发展有限公司
申请日： 2015-05-28 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： B05D1/12 文献下载
摘要：一种防指纹喷涂方法及设备，其中设备包括机箱、等离子清洗直线模组和喷枪直线模组，机箱设置在物料传输机构上，在机箱上设有进料口和出料口，等离子清洗直线模组和喷枪直线模组设置在机箱中；等离子清洗直线模组包括设置在物料传输机构的传输轨迹上方的第一导轨、第一滑块、第一电机和与等离子控制器连接的等离子清洗头，等离子清洗头与第一滑块连接；喷枪直线模组包括设置在传输轨迹上方的第二导轨、第二滑块、第二电机和通过连接管道与喷涂液存储装置连接的涂料进料装置，在涂料进料装置上设有喷枪头本发明具有结构简单、生产成本低、生产效率高、清洗干净、生产的产品品质高、喷涂均匀和可大面积推广等优点。
指纹喷涂方法设备