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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]清洗腔室-CN202310712947.4在审
发明人：梁家齐;赵宏宇;张敬博;王延广 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： B08B15/02 文献下载
摘要：本发明公开一种清洗腔室，包括腔室本体、排风箱体、调节机构和排液装置；排风箱体位于腔室本体之外，且排风箱体与腔室本体相连通，排风箱体开设有与外界空间相连通的通孔；调节机构包括调节板，调节板可活动地位于排风箱体内，调节板用于调节排风箱体的排风量；其中，调节板设置于腔室本体和排风箱体的连通口与排风箱体与厂务排风端的连通口之间，且调节板朝向腔室本体与排风箱体的连通口的一侧倾斜向下设置；排液装置通过通孔与外界空间相连通上述方案能够解决清洗腔室的清洗效果较差的问题。
清洗

[发明专利]清洗腔室-CN202111401304.5有效
发明人：梁家齐;赵宏宇;张敬博;王延广 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： B08B15/02 文献下载
摘要：本发明公开一种清洗腔室，包括腔室本体(100)、排风箱体(200)、调节机构(300)和排液装置；所述排风箱体(200)位于所述腔室本体(100)之外，且所述排风箱体(200)与所述腔室本体(100)相连通上述方案能够解决清洗腔室的清洗效果较差的问题。
清洗

[发明专利]反应腔的清洗方法、反应腔的清洗系统-CN201210133895.7有效
发明人：陈金元;马哲国;王慧慧;吴科俊 -专利权人：理想能源设备（上海）有限公司
申请日： 2012-04-28 - 公布日： 2013-10-30 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：一种反应腔的清洗方法、反应腔的清洗系统。所述反应腔的清洗方法包括：先采用远程等离子体清洗工艺清洗反应腔，再采用原位等离子体清洗工艺清洗所述反应腔，使清洗后反应腔中沉积物残留量达到预设值；所述远程等离子体清洗工艺的时间小于所述原位等离子体清洗工艺的时间本发明既可以减小清洗时间，又可以提高清洗均匀性，还可以降低清洗气体的使用量。
反应清洗方法系统

[发明专利]清洗装置及清洗腔室-CN201910157192.X在审
发明人：惠世鹏;张凇铭;刘效岩;许璐 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-03-01 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种清洗装置及清洗腔室，用于对放置在基座上的晶片表面进行清洗，包括固定板、多个喷头和多条喷淋管路，其中，固定板设置在基座的上方；多个喷头设置在固定板面向基座的一面，且用于朝向晶片表面喷淋清洗介质；多条喷淋管路用于输送不同种类的清洗介质，并且每条喷淋管路与至少一个喷头连接，以能够选择性地通过至少一个喷头朝向晶片表面喷淋其中一种清洗介质。本发明提供的清洗装置及清洗腔室能够缩短在不同种清洗介质之间切换使用的时间，以便于对晶片进行连续清洗，提高清洗的效率，并且能够降低清洗腔室的高度，增加清洗腔室在清洗机中的堆叠数量，提高晶片的生产效率。
清洗装置

[发明专利]清洗腔室及清洗设备-CN201910381668.8有效
发明人：张洪蛟;李爱兵 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-05-08 - 公布日： 2023-02-14 - 主分类号： B08B9/093 文献下载
摘要：本发明提供一种清洗腔室及清洗设备，包括腔室本体和设置在腔室本体中的承载装置和喷淋装置，其中，承载装置用于承载待清洗件；喷淋装置设置在承载装置的上方以及周侧，用于向待清洗件喷淋清洗流体。本发明提供的清洗设备及清洗设备能够减少清洗剂的使用量，从而降低清洗成本。
清洗设备

[实用新型]晶片清洗装置及其清洗腔-CN202022070340.5有效
发明人：廖彬;周铁军;陈勇;喻胜举 -专利权人：广东先导先进材料股份有限公司
申请日： 2020-09-18 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶片清洗装置及其清洗腔，用于对晶片进行清洗。清洗腔包括上腔盖和位于上腔盖下侧的下腔盖，上腔盖与下腔盖一起围成用于对晶片进行清洗的中空腔体。上腔盖设置有中空通道、进气口和排气口，中空通道连通于进气口和排气口，进气口位于中空通道内侧并连通于中空腔体，排气口位于中空通道外侧。当对晶片进行清洗时，挥发性药液可经由进气口进入中空通道并滞留在中空通道中或直接通过排气口排出中空通道。基于中空通道、进气口和排气口的设置，本申请的晶片清洗装置的清洗晶片的区域与收容挥发性药液的区域分离，从而有效地减少了滞留在清洗腔的中空腔体内的挥发性药液，由此极大地降低了挥发性药液对清洗后的晶片的腐蚀。
晶片清洗装置及其

[实用新型]带清洗架的清洗腔-CN202121322067.9有效
发明人：周治任;谢利平;陈胜;王安德 -专利权人：深圳市美雅洁技术股份有限公司
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： B08B9/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带清洗架的清洗腔，包括腔体，及设于所述腔体内的喷嘴结构，所述腔体的前侧设有活动门，所述活动门内侧固定清洗架，所述喷嘴结构包括设于与所述活动门相对立位置的内侧面喷嘴和设于腔体内顶部的顶部喷嘴，所述清洗架形成搁置槽用于固定待清洗容器；当所述活动门关闭时，所述清洗架位于所述腔体内，且所述内侧面喷嘴分别伸入所述待清洗容器的内部。本实用新型提供一种带清洗架的清洗腔，将清洗架固定于清洗腔的活动门上，通过转动活动门即可将清洗架送进清洗腔内，操作简便，且清洗腔内的内侧面喷嘴伸入清洗架上的待清洗容器的内部，对待清洗容器的内壁精准清洗，清洗效果更好
清洗

[发明专利]镀膜腔室清洗装置及镀膜腔室清洗方法-CN201810645978.1有效
发明人：郭建利 -专利权人：北京蜃景光电科技有限公司
申请日： 2018-06-21 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种镀膜腔室清洗装置及镀膜腔室清洗方法，涉及有机镀膜技术领域，包括：转动驱动装置、水平驱动装置、旋转平台、反射镜和激光发射器。通过激光发射器向反射镜发射激光，利用反射镜将激光反射到有机镀膜腔室的内壁上，对有机镀膜腔室内壁进行清洗，并且通过转动驱动装置带动旋转平台上的反射镜转动，通过水平驱动装置带动反射镜相对于旋转平台移动，改变激光发射方向，对有机镀膜腔室的内壁进行全方位进行，缓解了现有技术中存在的传统的清洗有机镀膜腔室内壁方法费工费时，严重影响生产进度的技术问题，实现了快速对有机镀膜腔室内壁清洗的技术效果。
镀膜清洗装置方法

[实用新型]腔管器械清洗工具及腔管器械清洗套装-CN201820374741.X有效
发明人：仇爱华;薛海燕;张鹏;栾红霞;丛丽红;楚文静 -专利权人：张鹏
申请日： 2018-03-19 - 公布日： 2019-01-25 - 主分类号： B08B9/047 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种腔管器械清洗工具及腔管器械清洗套装，涉及清洗工具技术领域，本实用新型提供的腔管器械清洗工具包括：驱动件、手柄、转换接头和毛刷；手柄设有空腔，驱动件设于空腔内，转换接头设于空腔外并与驱动件传动连接本实用新型提供的腔管器械清洗工具缓解了相关技术中腔管器械清洗费时费力和清洗成本高的技术问题。
器械清洗腔管转换接头驱动件毛刷本实用新型空腔可拆卸连接传动连接工具包括清洗工具轴线转动手柄手柄设中腔管种腔费力清洗驱动缓解

[发明专利]腔室清洗方法-CN202180008126.1在审
发明人：曹源泰 -专利权人：周星工程股份有限公司
申请日： 2021-01-08 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本公开是关于一种腔室清洗方法，特别是关于一种能够清洗在基板上沉积薄膜的步骤中受污染的腔室的清洗方法。根据一实施例的腔室清洗方法，其中一薄膜沉积于该腔室中，该方法包含：以在该腔室中电浆化的一第一气体主要地清洗该腔室，以及将在该腔室外电浆化的一第二气体提供至该腔室内以活化电浆化的该第一气体，从而次要地清洗该腔室
清洗方法

[发明专利]腔室清洗方法-CN202210982669.X有效
发明人：郭宇峰 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2022-08-16 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种腔室清洗方法，包括：提供一腔室，所述腔室的内壁附着有多组分物质；向所述腔室内通入第一清洗气体，以与所述多组分物质中的第一组分反应生成第一气态产物；向所述腔室内通入第二清洗气体，以与所述多组分物质中的第二组分反应生成第二气态产物本发明可以去除腔室内壁附着物，避免附着物以颗粒的形式掉落到腔室内而在工艺中形成缺陷。
清洗方法

[实用新型]管腔清洗架-CN201320827831.7有效
发明人：曹登秀;赵玛丽;肖如朋;张崇健 -专利权人：中国人民解放军第三军医大学第二附属医院
申请日： 2013-12-09 - 公布日： 2014-06-04 - 主分类号： B08B9/032 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种管腔清洗架，包括主管、若干分管、若干连接导管、若干连接头、网架及清洗池；所述主管设置于清洗池的上方，若干分管的一端均匀间隔的连接在主管上，每一连接导管的一端对应与一分管的另一端相连，每一连接头的一端对应与一连接导管的另一端相连，所述每一连接头的另一端用于与一待清洗的管道器械相连，所述网架置于清洗池内且用于放置所述若干待清洗的管道器械。上述管腔清洗架方便实用且成本较低。
清洗

[实用新型]管腔清洗设备-CN201420033956.7有效
发明人：曹登秀;赵玛丽;肖如朋;张崇健 -专利权人：中国人民解放军第三军医大学第二附属医院
申请日： 2014-01-20 - 公布日： 2014-06-25 - 主分类号： B08B9/032 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种管腔清洗设备，包括水槽、第一支撑装置、主管、若干分管、若干连接导管、若干连接头、清洗板及第二支撑装置；所述第一支撑装置固定设置于水槽的上方，所述主管固定设置于第一支撑装置上且所述主管的一端与外部水管相连通，若干分管的一端均匀间隔的连接在主管上，每一连接导管的一端对应与一分管的另一端相连，每一连接头的一端对应与一连接导管的另一端相连，所述每一连接头的另一端用于与一待清洗的管道器械相连，所述第二支撑装置置于水槽内且用于固定所述清洗板，所述清洗板上开设有若干通孔以放置所述若干待清洗的管道器械，所述第一及第二支撑装置的高度均为可调。上述管腔清洗设备方便实用且成本较低。
清洗设备

[实用新型]多腔清洗槽-CN201220207179.4有效
发明人：褚世卿;褚礼正 -专利权人：金坛市环保设备有限公司
申请日： 2012-05-10 - 公布日： 2013-01-09 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种清洗槽，尤其是一种多腔清洗槽，包括槽体，槽体内设置有至少两个腔体，腔体之间设置有隔离板，隔离板上端靠槽体内壁位置设置有用于流通液体的开口。本实用新型的多腔清洗槽采用至少两个腔体，从而可以多种类、多批次同时清洗。
清洗

[实用新型]腔镜清洗刷-CN201721541006.5有效
发明人：丁小仙 -专利权人：丁小仙
申请日： 2017-11-17 - 公布日： 2018-08-07 - 主分类号： A46B13/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及到一种腔镜清洗刷，包括毛刷和把手；所述把手左端连接有制动机构，所述制动机构通过轴承与硬质空心管传动连接，所述硬质空心管表面装有若干固定件，所述固定件上表面插有若干刷毛，所述硬质空心管末端装有海绵头
硬质空心管本实用新型制动机构固定件清洗刷腔镜刷毛把手半自动式传动连接控制系统快速旋转马达电机海绵头上表面毛刷种腔左端轴承清洁

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