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[发明专利]等离子体处理装置-CN202211008852.6在审
发明人：何政;唐怡 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2022-08-22 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：本公开提供一种等离子体处理装置，等离子体处理装置包括处理室、等离子体源、承载座、偏压电源和线圈组件，承载座与偏压电源电性连接，承载座位于处理室中，至少部分等离子体源位于处理室外；承载座的承载面用于承载待处理件；等离子体源用于产生等离子体，等离子体位于处理室中，且与承载座相对设置；线圈组件用于产生磁场，承载面位于磁场中，磁场作用于等离子体中的离子，以使离子受到垂直于磁场方向的洛伦兹力。离子受到洛伦磁力的作用，从而可以改变离子的运动方向，使得离子可以从待处理件的侧部掺杂。因此，本公开提供的等离子体处理装置，该等离子体处理装置能够增强对待处理件的侧向离子掺杂效果。
等离子体处理装置

[发明专利]等离子体处理晶片的方法、等离子体控制方法及反应系统-CN201710407467.1有效
发明人：陈嘉任;顾文昱;吴奇颖;林燕飞;陈冠中;陈嘉直 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2017-06-02 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本公开实施例提供一种等离子体处理晶片的方法，包括将晶片设置于反应腔体内的支撑件上。于反应腔体内产生等离子体，并通过第一偏压使等离子体中的离子射向晶片。分别在支撑件的周围的第一位置及第二位置上检测等离子体的第一离子浓度及第二离子浓度。比较第一离子浓度及第二离子浓度。当第一离子浓度与第二离子浓度的差异大于临界值，使用多个等离子体位移控制器于反应腔体内产生第二偏压，以改变等离子体中的离子的行进方向。
等离子体处理晶片方法控制反应系统

[发明专利]一种等离子体治疗鼻咽癌发生装置以及鼻内窥镜-CN201711419829.5在审
发明人：宋文成;刘磊;张泽鑫 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2017-12-25 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： A61B18/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体治疗鼻咽癌发生装置，不锈钢套管套设在绝缘管外部，第一环形电极和第二环形电极同轴设置在绝缘管内，且第一环形电极和第二环形电极间隔布置，第一环形电极和第二环形电极内部依次连通且共同形成等离子体发生通道，所述等离子体发生通道一端设有进气口且另一端设有等离子体射流口。通过上述优化设计的等离子体治疗鼻咽癌发生装置，能够安装在鼻内窥镜上，通过在等离子体发生通道内产生等离子体，通过鼻内窥镜伸入鼻腔内部，在放电作用下发生等离子体，从而能够在清晰视野下杀灭鼻咽腔顶部和侧壁的恶性肿瘤
一种等离子体治疗鼻咽癌发生装置以及内窥镜

[实用新型]一种等离子体治疗鼻咽癌发生装置以及鼻内窥镜-CN201721831787.1有效
发明人：宋文成;刘磊;张泽鑫 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2017-12-25 - 公布日： 2018-11-27 - 主分类号： A61B18/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等离子体治疗鼻咽癌发生装置，不锈钢套管套设在绝缘管外部，第一环形电极和第二环形电极同轴设置在绝缘管内，且第一环形电极和第二环形电极间隔布置，第一环形电极和第二环形电极内部依次连通且共同形成等离子体发生通道，所述等离子体发生通道一端设有进气口且另一端设有等离子体射流口。通过上述优化设计的等离子体治疗鼻咽癌发生装置，能够安装在鼻内窥镜上，通过在等离子体发生通道内产生等离子体，通过鼻内窥镜伸入鼻腔内部，在放电作用下发生等离子体，从而能够在清晰视野下杀灭鼻咽腔顶部和侧壁的恶性肿瘤
环形电极等离子体鼻内窥镜等离子体发生鼻咽癌发生装置本实用新型绝缘管治疗进气口等离子体射流不锈钢套管放电作用间隔布置同轴设置依次连通优化设计恶性肿瘤鼻咽腔鼻腔侧壁伸入清晰视野外部

[发明专利]一种外场智能辅助的绿色再制造加工方法-CN202210195984.8在审
发明人：马军;张圣飞;段留洋;江智文;张臻;李晓科;曹阳;刘琨;何文斌;都金光;徐颖杰;明五一 -专利权人：郑州轻工业大学
申请日： 2022-03-02 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： C23C4/134 文献下载
摘要：一种外场智能辅助的绿色再制造加工方法，具体包括以下步骤：（一）、设计一种磁场调控超音速等离子体热喷涂装置，包括底板、超音速等离子体火焰枪、一级磁场调控机构、二级磁场调控机构、驱动机构、在线监控仪和控制电柜；（二）、启动磁场调控超音速等离子体热喷涂装置；（三）、调整等离子体通过一级磁场调控机构的羽形；（四）、调整等离子体通过二级磁场调控机构的羽形；（五）、获取等离子体中飞行粒子参数；（六）、评估磁场调控超音速等离子体热喷涂羽形的质量本发明能够对等离子体热喷涂羽形实时调控，使超音速等离子体热喷涂工作处于理想的状态。
一种外场智能辅助绿色制造加工方法

[实用新型]用具有零磁场区的磁场位形约束高温等离子体的装置-CN201320459827.X有效
发明人：佟为明;金显吉;李中伟;刘勇;黄桂香 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2013-07-30 - 公布日： 2013-12-25 - 主分类号： H05H1/10 文献下载
摘要：一种用具有零磁场区的磁场位形约束高温等离子体的装置，包括高压脉冲电源；等离子体枪，设于所述高压脉冲电源之后，所述等离子体枪用于通入中性气体，在所述高压脉冲电源的作用下，使中性气体受到激发电离，从而产生等离子体束，由所述等离子体枪出口喷出；全等离子体通道，设于所述等离子体枪之后，用于对所述等离子体束进行运输；磁阱线圈，设于所述全等离子体通道之后，用于产生中心区域为具有零磁场区的弱磁场区，四周环形区域为障壁磁场的环形磁场位形本实用新型能有效地抑制等离子体的互换不稳定性，显著增大等离子体的压磁比，可望大大减小受控核聚变反应堆的体积，提高聚变反应堆的经济可行性。
用具有零磁场约束高温等离子体装置

[发明专利]一种新型等离子体冰形调控装置、方法及防结冰型飞行器-CN201910632087.7在审
发明人：吴云;魏彪;梁华;徐浩军;李哲;宋慧敏;贾敏;苏志 -专利权人：中国人民解放军空军工程大学
申请日： 2019-07-12 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： B64D15/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型等离子体冰形调控装置、方法及防结冰型飞行器，新型等离子体冰形调控装置包括等离子体加热单元，所述等离子体加热单元为介质阻挡放电等离子体激励器，包括高压电极组、低压电极、绝缘介质以及连接电极；所述等离子体加热单元布置在机翼前缘，与机载高压脉冲电源电连接。本发明能够防止飞行器整体结冰以及恶劣冰形（羊角冰）的形成，降低结冰对气动性能的影响，而且耗能较低。
等离子体加热冰形新型等离子体调控装置结冰飞行器介质阻挡放电等离子体高压脉冲电源高压电极组单元布置低压电极防结冰型机翼前缘绝缘介质连接电极气动性能羊角电连接激励器耗能

[发明专利]一种基于非均匀等离子体的辐射增强方法-CN202211430190.1在审
发明人：聂秋月;陈培奇;钱亮;张仲麟;王敏;华洋阳;孟卓涛;艾昕;魏国强;闫昌时 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-11-15 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H01Q1/36 文献下载
摘要：本发明的一种基于非均匀等离子体的辐射增强方法，涉及等离子体增强方法。目的是为了克服现有等离子体增强技术物理模型较为简单，缺少利用非均匀等离子体实现最佳增强的一般性讨论，方法基于等离子体增强型电小天线实现，等离子体增强型电小天线包括球壳形的等离子体罩和位于等离子体罩内的电小天线；并且，等离子体罩内的等离子体沿等离子体罩的半径非均匀分布；辐射增强方法如下：调节等离子体密度和等离子体罩的尺寸符合以下条件，从而使非均匀等离子体对电小天线的辐射进行增强。
一种基于均匀等离子体辐射增强方法

[发明专利]基于等离子体流动控制的垂直轴风力机-CN201710239428.5在审
发明人：陈建;董青山;徐洪涛 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2017-04-13 - 公布日： 2017-08-18 - 主分类号： F03D3/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于等离子体流动控制的垂直轴风力机，包括叶片、等离子体、叶轮转轴、底座、叶轮转臂，所述叶片上表面的尾部加装等离子体，利用叶片尾部的等离子体所产生的空气动力学效应来提高垂直轴风力发电机性能。所述等离子体的厚度与叶片尾部的厚度相等。所述等离子体位置为叶片后缘到距离后缘的1/3到1/4距离处。本发明的将等离子体流动控制应用到垂直轴风力机上，不仅保证了垂直轴风力机结构简单、易于安装维护等优点，同时又改善了垂直轴风力机自动启动性能的不足，提高了风力机的功率输出。
基于等离子体流动控制垂直风力机

[发明专利]壳体及应用其的喷射式等离子体系统-CN200810186084.7有效
发明人：蔡陈德;许文通;吴清吉;陈志玮 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2008-12-22 - 公布日： 2010-06-23 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：本发明一种壳体及应用其的喷射式等离子体系统，该壳体，用以可旋转地设置于一喷射式等离子体系统中。壳体绕着一中心轴转动。壳体包括一主体及一等离子体喷嘴。主体具有一第一腔体。等离子体喷嘴设置于主体的下方，且具有一第二腔体及一直形通道。第二腔体连通于第一腔体。直形通道位于相对于主体的等离子体喷嘴的一侧，且连通于第二腔体。直形通道具有一延伸轴，实质上平行于中心轴，且与中心轴相隔一间距。喷射式等离子体系统产生的一等离子体经由直形通道喷出。
壳体应用喷射式等离子体系统

[实用新型]一种能量可调的原位离子化装置-CN202122576272.4有效
发明人：郭寅龙;包茗脉;祝子朦;朱苏珍;柏家辉;张立;张菁 -专利权人：中国科学院上海有机化学研究所
申请日： 2021-10-26 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种能量可调的原位离子化装置，包括质谱进样通道、样品引入装置和脉冲等离子体发生装置，脉冲等离子体发生装置用于产生作为离子源的脉冲等离子体，脉冲等离子体发生装置产生的脉冲等离子体位于质谱进样通道的端口前方，样品引入装置的出口端或负载样品端位于脉冲等离子体发生装置产生的脉冲等离子体中或四周。本实用新型通过使用脉冲等离子体作为离子源，不仅可实现一种软硬可调的离子化方法，能实现对同分异构体的鉴别分析；而且可有效避免样品的氧化、降解、聚合等副反应；并且，可测试的样品范围广泛，形态不限，对挥发性小分子有着较好的离子化效率
一种能量可调原位离子化装置

[发明专利]模拟三维非对称磁重联的等离子体模拟装置及其实现方法-CN201910069337.0有效
发明人：肖青梅;鄂鹏;王晓钢 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2019-01-24 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： B64G7/00 文献下载
摘要：模拟三维非对称磁重联的等离子体模拟装置及其实现方法，属于空间环境地面模拟技术领域，本发明为解决现有磁层空间等离子体研究模拟装置只能提供近似的三维重联结构，且通常所采用的用于重联的等离子体呈对称结构，并不能真实反映非对称磁层顶重联的结构特点的问题本发明偶极磁场线圈通电后产生模拟地球磁场位形的磁场，上磁镜场线圈和下磁镜场线圈产生模拟磁镜场位形的磁场；电子回旋共振等离子体源在模拟地球磁场位形侧产生电子回旋共振等离子体；六硼化镧等离子体源在磁镜场磁场位形侧产生磁层顶磁鞘侧等离子体；等离子体枪驱动磁层顶磁鞘侧等离子体，使其与电子回旋共振等离子体在磁零点处发生三维非对称磁重联。
模拟三维对称磁重联等离子体装置及其实现方法

[实用新型]用于等离子体弧粉体制备设备的磁控器-CN202320141766.6有效
发明人：李春生;陈应红;黄猛;肖发全;陈火明 -专利权人：广东先导稀材股份有限公司
申请日： 2023-02-01 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： B01J19/08 文献下载
摘要：提供一种用于等离子体弧粉体制备设备的磁控器，磁控器设置有筒形外壳以及设置在筒形外壳的内壁上的周向交替且间隔开的主磁极和副磁极，主磁极连接于直流等离子电源以产生使等离子体弧粉体制备设备产生的等离子体弧旋转的旋转磁场，副磁极连接于三相交流电源以产生将等离子体弧粉体制备设备产生的等离子体弧径向向内推的磁场。副磁极产生将等离子体弧径向向内推的磁场会使得等离子体弧或等离子体弧的漂移电弧不会接近等离子体弧粉体制备设备的筒体的内壁面，避免了筒体存在等离子体弧或等离子体弧的漂移电弧接触筒体导致筒体被烧蚀的风险、进而免除了等离子体弧或等离子体弧的漂移电弧在筒体内流动击穿筒体的风险
用于等离子体体制设备磁控器

[发明专利]用于等离子体反应器的增强等离子体源-CN201480034383.2有效
发明人： V·N·托多罗;G·勒雷;M·D·威尔沃斯;L-S·蒋 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-05-15 - 公布日： 2019-03-22 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：提供一种具有改良的线圈天线组件的装置的实施例，该改良的线圈天线组件可提供处理腔室中的增强的等离子体。该改良的线圈天线组件增强对等离子体处理腔室内的等离子体位置的位置控制，并且可被用于蚀刻、沉积、植入、与热处理系统，以及期望控制等离子体位置的其它应用。
用于等离子体反应器增强

[发明专利]用于旋转压板式ALD腔室的等离子体源-CN201710569795.1有效
发明人： J·C·福斯特;J·约德伏斯基 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-03-14 - 公布日： 2019-08-27 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明是涉及用于旋转压板式ALD腔室的等离子体源。提供了基板处理腔室以及用于处理多个基板的方法，并且所述基板处理腔室大体包括电感耦合的饼形等离子体源，所述电感耦合的饼形等离子体源定位成使得在压板上旋转的基板将穿过与所述等离子体源相邻的等离子体区域。
用于旋转压板 ald 等离子体