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[发明专利]用于膨胀热等离子体的电感耦合的系统和方法-CN200480015891.2有效
发明人：马克·谢普肯斯 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2004-06-14 - 公布日： 2006-07-12 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种等离子体生成系统(300)，其包括用于生成热等离子体的等离子体生成设备(316)；处于所述等离子体生成设备(316)外的等离子体处理室(318)，其用于接收来自等离子体生成设备(316)的热等离子体，并且，在生成等离子体的过程中，保持等离子体处理室(318)内的压力小于等离子体生成设备(316)中的压力，从而引起热等离子体在等离子体处理室(318)内膨胀；以及用于对所述热等离子体进行电感耦合的电感系统
用于膨胀等离子体电感耦合系统方法

[发明专利]用于化学气相沉积单晶金刚石高速生长的等离子体聚集装置-CN202010857467.3有效
发明人：朱嘉琦;李一村;代兵;郝晓斌;刘雪冬 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2020-08-24 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： C30B29/04 文献下载
摘要：用于化学气相沉积单晶金刚石高速生长的等离子体聚集装置，本发明涉及一种微波等离子体化学气相沉积设备中的等离子体聚集装置，它为了解决现有微波等离子体化学气相沉积金刚石生长过程中金刚石生长速率较慢的问题。本发明等离子体聚集装置包括基座、中心柱和底座，基座为球台形，基座的中心处开有中心通孔；中心柱的顶部开有样品凹槽，中心柱的底部带有外螺纹；底座的上表面开有沉孔，底座的中心开有螺纹孔，中心柱插入基座的中心通孔内本发明等离子体聚集装置通过改变腔体内金属边界的形状来改变电场聚集的位置和强度，显著增强MPCVD中的等离子体密度，提高生长速度。
用于化学沉积金刚石高速生长等离子体聚集装置

[发明专利]产生大体积大气压等离子体的三电极放电装置-CN201210071551.8无效
发明人：李雪辰;常媛媛;董丽芳 -专利权人：河北大学
申请日： 2012-03-19 - 公布日： 2012-07-18 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种产生大体积大气压等离子体的三电极装置，包括有同轴介质管、接地平板水电极、钨针电极和低温等离子体发生电源；同轴介质管为带轴向中心内腔且截面呈U形的双层管状密闭容器体，在密闭容器体的侧壁上开有灌注工作气体用的进气口；钨针电极从同轴介质管的封口端穿入同轴介质管的中心内腔中，其前端位于同轴介质管中心内腔的敞口端处，其后端与低温等离子体发生电源的输出电极电连接；接地平板水电极位于同轴介质管敞口端的外侧，并与低温等离子体发生电源的接地电极电连接本发明可用于制造等离子体灯、等离子体显示、薄膜产生以及表面改性等技术领域，还可生成臭氧，用于废水废气的处理、杀菌消毒和等离子体隐身等。
产生体积大气压等离子体电极放电装置

[实用新型]基于电弧的火焰状高温等离子体点烟器-CN201921591609.5有效
发明人：陈天宝 -专利权人：陈天宝
申请日： 2019-09-24 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： F23Q3/01 文献下载
摘要：一种基于电弧的火焰状高温等离子体点烟器，属于点烟器技术领域，解决了现有电弧点烟器的点火面积小和点火效率低的问题。所述点烟器：电池通过升压电路为电弧放电装置供电，点火开关用于控制电弧放电装置的通、断电。电弧放电装置包括至少一对相互放电配合的放电电极，相互放电配合的两个放电电极之间设有空气电离区，该区被产生于两个放电电极之间的连线状的电弧分割为在上的高温等离子体火焰区和在下的空气补充区。电弧处的高温等离子体向上升腾并在高温等离子体火焰区内形成视觉可见的中间高两侧低的高温等离子体火焰。空气补充区内的空气不断流向电弧处，并被电离形成向上升腾的高温等离子体，以使高温等离子体火焰的焰形保持动态稳定。
基于电弧火焰高温等离子体点烟器

[发明专利]等离子体液产生装置-CN201710417063.0在审
发明人：卢仁杰;萧咏棱;卢盈霖 -专利权人：拜普生医科技股份有限公司
申请日： 2017-06-06 - 公布日： 2017-12-12 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明的题目是等离子体液产生装置。本发明公开一种等离子体液产生装置。等离子体液产生装置包括等离子体产生模块、驱动电路、调控模块以及混合机构。驱动电路与等离子体产生模块耦接，并驱动等离子体产生模块产生第一种等离子体粒子与第二种等离子体粒子。调控模块与驱动电路耦接，调控模块控制驱动电路，进而调控等离子体产生模块产生的第一种等离子体粒子与第二种等离子体粒子的比例。混合机构连接等离子体产生模块并混合第一种等离子体粒子、第二种等离子体粒子及液体，以产生等离子体液。
等离子体液产生装置

[实用新型]等离子体液产生装置-CN201720646493.5有效
发明人：卢仁杰;萧咏棱;卢盈霖 -专利权人：拜普生医科技股份有限公司
申请日： 2017-06-06 - 公布日： 2018-03-16 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本实用新型的题目是等离子体液产生装置。本实用新型公开一种等离子体液产生装置。等离子体液产生装置包括等离子体产生模块、驱动电路、调控模块以及混合机构。驱动电路与等离子体产生模块耦接，并驱动等离子体产生模块产生第一种等离子体粒子与第二种等离子体粒子。调控模块与驱动电路耦接，调控模块控制驱动电路，进而调控等离子体产生模块产生的第一种等离子体粒子与第二种等离子体粒子的比例。混合机构连接等离子体产生模块并混合第一种等离子体粒子、第二种等离子体粒子及液体，以产生等离子体液。
等离子体液产生装置

[发明专利]螺旋状电极等离子体协同木纤维滤芯净化柴油机排气装置-CN201810347531.6在审
发明人：郭秀荣;徐岳峰;杨潇;马超;安帅霖;杜丹丰 -专利权人：东北林业大学
申请日： 2018-04-18 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： F01N3/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种螺旋状电极等离子体协同木纤维滤芯净化柴油机排气装置，它包括过滤体和等离子体发生装置。过滤体由导流罩、前密封盖、多层圆筒形木纤维滤芯、后密封盖等组成。等离子体发生装置采用介质阻挡放电技术，过滤室外壳搭铁，圆筒状石英玻璃管紧贴过滤室内壁，玻璃管内部是螺旋形高压电极。将过滤体置于等离子体发生装置中，在保证过滤体和等离子体发生装置同轴的前提下，使过滤体的后密封盖与过滤室出口接口密封。将整个装置置于排气系统温度较低的区域，柴油机排气经导流罩流入滤芯外侧，再由滤芯外表面流入内部空腔，进而流出出气口；当柴油机排气流经该装置时，等离子体去除氮氧化物，木纤维滤芯过滤颗粒物从而实现净化。
过滤体等离子体发生装置柴油机排气木纤维滤芯等离子体螺旋状电极后密封盖导流罩过滤室净化协同等离子体去除介质阻挡放电多层圆筒形滤芯外表面石英玻璃管出口接口氮氧化物高压电极滤芯过滤内部空腔排气系统前密封盖玻璃管出气口颗粒物螺旋形室内壁圆筒状搭铁同轴紧贴密封过滤流出保证

[实用新型]螺旋状电极等离子体协同木纤维滤芯净化柴油机排气装置-CN201820550600.9有效
发明人：郭秀荣;徐岳峰;杨潇;马超 -专利权人：东北林业大学
申请日： 2018-04-18 - 公布日： 2018-12-14 - 主分类号： F01N3/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种螺旋状电极等离子体协同木纤维滤芯净化柴油机排气装置，它包括过滤体和等离子体发生装置。过滤体由导流罩、前密封盖、多层圆筒形木纤维滤芯、后密封盖等组成。等离子体发生装置采用介质阻挡放电技术，过滤室外壳搭铁，圆筒状石英玻璃管紧贴过滤室内壁，玻璃管内部是螺旋形高压电极。将过滤体置于等离子体发生装置中，在保证过滤体和等离子体发生装置同轴的前提下，使过滤体的后密封盖与过滤室出口接口密封。将整个装置置于排气系统温度较低的区域，柴油机排气经导流罩流入滤芯外侧，再由滤芯外表面流入内部空腔，进而流出出气口；当柴油机排气流经该装置时，等离子体去除氮氧化物，木纤维滤芯过滤颗粒物从而实现净化。
过滤体等离子体发生装置柴油机排气木纤维滤芯等离子体螺旋状电极后密封盖导流罩过滤室净化协同等离子体去除介质阻挡放电本实用新型多层圆筒形滤芯外表面石英玻璃管出口接口氮氧化物高压电极滤芯过滤内部空腔排气系统前密封盖玻璃管出气口颗粒物螺旋形室内壁圆筒状搭铁同轴紧贴密封过滤流出保证

[发明专利]实现飞行器流动控制和冰形感控的装置及方法-CN202011608988.1在审
发明人：郑博睿;柳明;李瑞;柳平;延黎 -专利权人：重庆交通大学绿色航空技术研究院
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： B64D15/00 文献下载
摘要：本申请提供一种实现飞行器流动控制和冰形感控的装置，其特征在于：包括：固定设置于飞行器机翼的回形等离子体激励器、调制单元和控制单元；所述回形等离子体激励器包括高压电极、低压电极和绝缘层介质，所述高压电极采用金属电极条以首尾连接的方式形成回形，所述低压电极为金属平板，所述高压电极的正投影均在所述金属平板内，所述绝缘层介质设置于高压电极与低压电极之间，所述绝缘层介质对高压电极和低压电极进行物理隔离；本申请结合等离子体在飞行器流动控制和减阻方面的应用，将等离子体结冰感应和防除冰冰形于一身，采用回形等离子激励器，实现飞行器结冰感应、展向的流动控制和防除冰，以及飞行器弦向减阻和防除冰。
实现飞行器流动控制冰形感控装置方法

[发明专利]一种液相等离子体杀菌系统及其控制方法、装置、洗碗机-CN202211453741.6在审
发明人：胡逢亮;张秋俊;谢冬敏;巨姗;胡紫嫣;李春莹 -专利权人：珠海格力电器股份有限公司
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： A47L15/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种液相等离子体杀菌系统及其控制方法、装置、洗碗机。液相等离子体杀菌系统包括等离子体发生装置及循环气泵，等离子体发生装置产生等离子体溶液，循环气泵与等离子体发生装置连通，循环气泵适于加速等离子体发生装置内的等离子体溶入液体中的速度，以提升等离子体溶液的浓度，液相等离子体杀菌系统的控制方法包括：控制等离子体发生装置及循环气泵开启，以制备等离子体溶液；获取等离子体溶液的当前PH值；基于当前PH值与预设PH值的关系，对循环气泵的转速进行调整。实现了根据等离子体溶液当前的浓度来调节等离子体溶于液体的速度，可以维持等离子体溶液浓度的恒定，从而保证杀菌性能的稳定性，保证杀菌效果。
一种相等离子杀菌系统及其控制方法装置洗碗机

[发明专利]用于利用自谐振设备的等离子体点火的装置和方法-CN201680008826.X有效
发明人： S.T.史密斯;S.R.沃尔瑟;C.吴 -专利权人： MKS仪器有限公司
申请日： 2016-01-27 - 公布日： 2020-05-15 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：提供了用于使等离子体腔室内的过程等离子体点火的方法和装置。一个或多个自谐振设备相对于等离子体腔室内的等离子体生成体积而定位在等离子体腔室内。等离子体生成体积由等离子体腔室限定。每一个自谐振设备生成点火等离子体。点火等离子体引起点火气体的部分电离。部分电离的点火气体允许通过向等离子体生成体积应用电场而使过程等离子体点火。
用于利用谐振设备等离子体点火装置方法

[发明专利]线性电磁波等离子体源及使用其的等离子体处理装置-CN201711328443.3有效
发明人：刘铉钟 -专利权人：韩国基础科学支援研究院
申请日： 2017-12-13 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明线性电磁波等离子体源及使用其的等离子体处理装置包括：长的圆筒形波导管；电介质层，以与上述圆筒形波导管的外部面相接触的方式包围上述圆筒形波导管；以及第一磁控管及第二磁控管，用于向上述圆筒形波导管的两端供给电磁波，上述圆筒形波导管包括沿着长度方向形成的2个以上的狭缝。若使用这种线性电磁波等离子体源及使用其的等离子体处理装置，则随着使用圆形波导管，可使为了维持圆形波导管的内部和外部的压力差而设置的电介质层的厚度薄，由此，从圆形波导管放射的电磁波的衰减减少，可增加电磁波的强度
线性电磁波等离子体使用处理装置

[发明专利]离子生成装置及离子注入装置-CN202010173234.1在审
发明人：越智秀太 -专利权人：住友重机械离子科技株式会社
申请日： 2020-03-13 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种能够稳定地生成高纯度的多价离子的离子生成装置。离子生成装置(10)具备：电弧室(50)，区划等离子体生成空间(S)；阴极(56)，朝向等离子体生成空间(S)释放热电子；及反射极(58)，隔着等离子体生成空间(S)而与阴极(56)相对置。电弧室(50)具有：箱形主体部(52)，其前表面(52g)开口；及狭缝部件(54)，安装在主体部(52)的前表面(52g)，且设置有用于引出离子的前狭缝(60)。暴露于等离子体生成空间(S)的主体部(52)的内表面(52a)由高熔点金属材料构成，暴露于等离子体生成空间(S)的狭缝部件(54)的内表面(54a)由石墨构成。
离子生成装置注入

[发明专利]线性高能射频等离子体离子源-CN201880068516.6有效
发明人：克雷格·A·奥滕 -专利权人：丹顿真空设备有限公司
申请日： 2018-11-13 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： H01J23/08 文献下载
摘要：一种等离子体离子源，包括等离子体腔体，该等离子体腔体具有至少一个用于将进料气体引入等离子体腔体的内部的入口。等离子体腔体与附接到等离子体腔体的真空腔电隔离。等离子体腔体的内部中的电感天线配置为根据供应到电感天线上的RF电压来供应电磁能量源。等离子体离子源包括设置在等离子体腔体的端部的引出栅格。引出栅格和等离子体腔体之间的电压差加速等离子体放电中的带电物质，以产生输出准中性等离子体离子束。施加至等离子体腔体的偏置电压包括与脉冲DC电压结合的供应至天线的RF电压的部分。
线性高能射频等离子体离子源

[发明专利]等离子体处理装置及用于运行等离子体处理装置的方法-CN201780063133.5有效
发明人： J·马伊 -专利权人：迈尔博尔格(德国)有限公司
申请日： 2017-10-10 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有处理腔室、至少一对微波等离子体源和至少一个电源的等离子体处理装置。每对微波等离子体源由第一微波等离子体源和第二微波等离子体源组成，其中，第一微波等离子体源和第二微波等离子体源分别具有等离子体源壁部，并且在该等离子体源壁部之内具有微波耦入装置和等离子体电极。第一微波等离子体源和第二微波等离子体源在处理腔室内部布置在一个或多个待处理的衬底的相同的侧上且彼此相邻地布置。第一微波等离子体源和第二微波等离子体源的等离子体电极彼此电绝缘并且与至少一个电源导电地连接。在此，至少一个电源适合于，使第一微波等离子体源和第二微波等离子体源得等离子体电极加载以不同的电势。此外，本发明涉及一种用于运行这样的等离子体处理装置的方法。
等离子体处理装置用于运行方法

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