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[发明专利]一种用于射频离子源的高强度过滤磁场复合结构-CN202310396063.2在审
发明人：农竹杰;贾先禄;张贺;丁傲轩;郑侠;凌丽;管锋平;方明阳;马楚韵 -专利权人：中国原子能科学研究院
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H05H1/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于射频离子源的高强度过滤磁场复合结构，该复合结构由永磁铁阵列最底层的过滤磁铁阵列、以及布设在该过滤磁铁阵列下方的离子源引出结构吸极磁铁组成;所述永磁铁阵列布设于多峰场负氢离子源圆筒状离子源内腔体和离子源外腔体之间；所述过滤磁铁阵列用于将过滤场强最高处的位置调整于等离子体电极之前、使得快电子在到达离子源引出结构之前被充分过滤掉；所述离子源引出结构吸极磁铁用于在场强最高处和所述过滤磁铁阵列形成叠加磁场、过滤掉等离子体电极之前的快电子；本发明通过抬高过滤场使其最高处恰好处在引出结构之前，使得等离子电极上表面的快电子及时被过滤掉，由此使得面产生的负氢离子不会被快电子破坏，提高了产额。
一种用于射频离子源强度过滤磁场复合结构

[发明专利]一种用于高真空等离子体环境的磁体位置调节机构-CN202310131207.1在审
发明人：鄂鹏;凌文斌;张湧颀;金成刚;陈春喜;卢耀文;李立毅 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-02-17 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H05H1/10 文献下载
摘要：一种用于高真空等离子体环境的磁体位置调节机构，属于机械传动技术领域。所述结构包括线圈本体、传动机构和固定支撑机构；所述线圈本体、传动机构和固定支撑机构分为上下两部分，线圈本体被约束固定在真空内部，其垂直方向的运动由传动机构控制，固定支撑机构安装在罐体上，起到固定支撑传动机构和使线圈有且仅有垂直方向的运动自由度的作用；线圈本体的垂直运动通过上下各一套传动机构控制线圈运动，顶部传动机构通过固定架安装于罐体上，底部传动机构同样通过固定架安装在罐体上，固定架固定在地基上的地脚螺栓上；上下线圈各依靠驱动单元同步实现运动。本发明的位置调节机构结构紧凑，系统集成度高，运行稳定可靠。
一种用于真空等离子体环境磁体位置调节机构

[实用新型]一种远程等离子源解离腔体组件-CN202221712125.3有效
发明人：张德才;洪靖为;黄影 -专利权人：上海财盈半导体股份有限公司
申请日： 2022-06-27 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： H05H1/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种远程等离子源解离腔体组件，涉及等离子源解离腔体技术领域。本实用新型中心包裹有圆环形管状的腔室，腔体组件包括金属外壳、磁罐结构、固定卡扣结构；金属外壳采用由若干弧形壳体拼接而成的圆环形，相邻两弧形壳体之间形成的夹缝之间安装有绝缘阻隔板；磁罐结构包括加持板、刮板、中心限位套；固定卡扣结构包括梯形板、上连接刮边、下连接刮边。本实用新型解决了远程等离子源腔体因矩形拐角弧度过小的不足及缺陷，减少了因磁场分布不均造成的运动螺旋等离子体源对腔体的冲击破坏；作为散热结构的金属外壳结构精巧，散热效率高，采用固定卡扣结构进行固定，便于拆卸及组装，节省了人工及时间成本。
一种远程离子源解离组件

[实用新型]圆筒结构中磁约束等离子体热传导各向异性试验系统-CN202222098453.5有效
发明人：毛保全;梁双斌;白向华;赵其进;杨雨迎;徐振辉;李华;韩小平;陈春林;李程;王之千;朱锐;李桂杰 -专利权人：中国人民解放军陆军装甲兵学院
申请日： 2022-08-10 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： H05H1/10 文献下载
摘要：本实用新型提供圆筒结构中磁约束等离子体热传导各向异性试验系统，属于磁约束等离子体热传导各向异性试验技术领域，包括等离子体反应器、磁场产生装置以及高温燃烧发生器，所述磁场产生装置产生垂直于等离子体反应器的磁场，所述高温燃烧发生器设置在等离子体反应器的左侧，气体由高温燃烧发生器加热后进入等离子体反应器内。该圆筒结构中磁约束等离子体热传导各向异性试验系统通过在常压下，对等离子体传热情况表现的各向异性进行试验研究。
圆筒结构约束等离子体热传导各向异性试验系统

[发明专利]基于动态多重复合磁场对大气压等离子体射流的调控装置-CN202210843782.X在审
发明人：韩若愚;王嫚屿;李琛;曹雨晨;袁伟;欧阳吉庭 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2022-07-18 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H05H1/10 文献下载
摘要：本发明公开了基于动态多重复合磁场对大气压等离子体射流的调控装置，采用脉冲、恒定复合磁场的方式，增加磁位型，降低发热与损耗，有效地控制等离子体流的特性，进一步满足大气压等离子体射流在实际应用的需求。本装置中包括高压电极和接地电极组成的激励电场，对工作气体进行电离，得到等离子体。本装置包括脉冲电磁线圈产生的瞬态强磁场和梯度磁场线圈与永磁体阵列产生的恒定磁场。三者共同组成了复合磁场，增加磁位型。瞬态强磁场能够对带电粒子产生更强的约束作用与更宽范围的调制作用，还能降低发热与损耗，有效地调控制等离子体的特性。恒定磁场用于等离子体初始磁化时，保证磁化效果，利用率较高。
基于动态多重复合磁场大气压等离子体射流调控装置

[发明专利]一种远程等离子源解离腔体组件-CN202210742222.5在审
发明人：张德才;洪靖为 -专利权人：上海财盈半导体股份有限公司
申请日： 2022-06-27 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H05H1/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种远程等离子源解离腔体组件，涉及等离子源解离腔体技术领域。本发明中心包裹有圆环形管状的腔室，腔体组件包括金属外壳、磁罐结构、固定卡扣结构；金属外壳采用由若干弧形壳体拼接而成的圆环形，相邻两弧形壳体之间形成的夹缝之间安装有绝缘阻隔板；磁罐结构包括加持板、刮板、中心限位套；固定卡扣结构包括梯形板、上连接刮边、下连接刮边。本发明解决了远程等离子源腔体因矩形拐角弧度过小的不足及缺陷，减少了因磁场分布不均造成的运动螺旋等离子体源对腔体的冲击破坏；作为散热结构的金属外壳结构精巧，散热效率高，采用固定卡扣结构进行固定，便于拆卸及组装，节省了人工及时间成本。
一种远程离子源解离组件

[发明专利]一种表面放电等离子体磁控系统-CN202210498307.3在审
发明人：徐晗;谢楷;权磊;李博 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2022-05-09 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： H05H1/10 文献下载
摘要：本发明公开一种表面放电等离子体磁控系统，包括：等离子体发生模块，用于产生等离子体；导向磁场发生模块，设于等离子体发生模块一侧，用于形成按设定周期循环变化的行波磁场，行波磁场包括至少一个行波子磁场，行波子磁场被配置为使在其磁控范围内的等离子体形成感应电流、并对等离子体施加磁推力以使其产生横向移动。整个行波磁场可以划分为至少一个行波子磁场，每个行波子磁场都可以在对应磁控范围内的等离子体形成感应电流，感应电流与时空变化的行波子磁场相互耦合产生磁推力，使得等离子体按设定磁场变化的方向移动，将刚由初始击穿电压放电产生的等离子体定向扩散，通过磁场控制等离子体均匀分布，降低放电电压。
一种表面放电等离子体系统

[发明专利]磁控等离子体鞘层特性研究方法-CN201910559102.X有效
发明人：毛保全;白向华;李程;杨雨迎;宋瑞亮;王之千;朱锐;张天意 -专利权人：中国人民解放军陆军装甲兵学院
申请日： 2019-06-26 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： H05H1/10 文献下载
摘要：本发明公开了磁控等离子体鞘层特性研究方法，属于磁约束等离子体鞘层领域，包括以下步骤：S1：产生等离子体，温度高达3000～4000k；S2：电磁线圈电流的加载；S3：产生感应电场，外加磁场产生激励电场，电场对粒子的加速效应可使高温燃气中初始的电子形成雪崩电离效应；S4:形成磁约束等离子体鞘层；S5：磁约束等离子体鞘层的隔热效应；S6：磁约束等离子体鞘层抑制动力学热流密度。该磁控等离子体鞘层特性研究方法，施加平行磁场后带电粒子的运动将变成绕磁力线的回旋运动，降低了等离子体横越磁场传递的热流密度，由于燃气传递的热流密度下降，内壁面的温升也随之下降，从而提高身管抗热烧蚀的能力，提高使用寿命。
等离子体特性研究方法

[发明专利]一种可变磁场约束的等离子体射流装置及其方法-CN202110898034.7有效
发明人：李冰妍 -专利权人：富时精工（南京）有限公司
申请日： 2021-08-05 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： H05H1/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种可变磁场约束的等离子体射流装置及其方法，包括等离子体射流装置，所述等离子体射流装置包括高压射频发生器、安装在所述高压射频发生器上气体供应管、高压射频发生器侧壁柔性管、以及安装在所述柔性管末端的等离子体发生器；还包括可变开端约束机构、用于调节可变开端约束机构的调节机构，以及联动调节机构的联动机构；本发明主要由等离子发生的等离子体射流装置、产生约束力的可变开端约束机构、用于调节磁场约束力的调节机构以及联动机构组成，可变开端约束机构可实现对等离子射流产生约束力，提高了射流的精准度，实现的对而实现的对等离子射流的缩放功能，在特定地点具有很好的微调节功能。
一种可变磁场约束等离子体射流装置及其方法

[实用新型]一种可变磁场约束的等离子体射流辅助装置-CN202122288474.9有效
发明人：李冰妍 -专利权人：富时精工（南京）有限公司
申请日： 2021-09-22 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： H05H1/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及等离子体技术领域，尤其为一种可变磁场约束的等离子体射流辅助装置，包括发生装置主体，所述发生装置主体顶端设置有电流传感器，所述发生装置主体内部设置有高压电源，所述高压电源输出端设置有保护电阻，所述保护电阻一端设置有等离子体发生设备，所述发生装置主体一侧设置有等离子约束管，所述等离子约束管一端设置在发生装置主体内部，所述等离子约束管内部设置有电磁铁，所述电磁铁一端设置有小型电源正极，所述电磁铁另一端设置有小型电源负极，通过设置的电磁铁，能够利用电磁铁两端设置的小型电源正极与小型电源负极调节粒子的运动方向，对运动的粒子产生磁约束，防止粒子在运动过程中发生碰撞，造成粒子的辐射损失。
一种可变磁场约束等离子体射流辅助装置

[发明专利]一种等离子体产生腔室和等离子体处理装置-CN201710202609.0有效
发明人：肖德志 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2017-03-30 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： H05H1/10 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体产生腔室和等离子体处理装置。该等离子体产生腔室包括介质筒和绕制在介质筒外壁的线圈，线圈用于将射频功率耦合至介质筒内，以激发介质筒内的气体产生等离子体，还包括磁性元件，磁性元件围设在线圈的远离介质筒的外侧，磁性元件能在介质筒内产生磁场，磁场的方向与介质筒的轴线夹角大于0°且小于180°。该等离子体产生腔室通过在介质筒的外围设置磁性元件，能够获得更高密度的等离子体，从而提高了晶圆表面的等离子体处理速率，并使等离子体处理速率能够达到工艺要求；而且还降低了等离子体中粒子的能量，避免了等离子体中粒子能量过高对晶圆表面造成损伤。
一种等离子体产生处理装置

[实用新型]一种电磁接触固定装置-CN201922264643.8有效
发明人：伍超峰;张健;刘瑞瑞;许磊;朱小金;韩文 -专利权人：昆山中帆合兴五金有限公司
申请日： 2019-12-17 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： H05H1/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电磁接触固定装置，包括底座，所述底座顶部通过螺栓固定连接有固定块，所述固定块的右侧固定连接有电磁体，所述底座顶部的右侧通过螺栓固定连接有机箱，所述机箱的内腔设置有移动块，所述机箱的右侧设置有螺纹孔，所述螺纹孔的内腔设置有螺纹杆。本实用新型通过移动块、螺纹孔、螺纹杆和滑动装置的配合，旋转螺纹杆带动移动块左右移动，以调节相邻电磁体线圈之间的间距，调节方便和快速，同时可保障电磁体线圈之间的同轴度和平行度，以保障产生的磁场性能，通过设计测距机构，便于精准调节电磁体线圈之间距离，从而达到便于调节距离的效果，解决了现有装置不便于调节距离的问题。
一种电磁接触固定装置

[发明专利]一种磁聚焦霍尔推力器长寿命设计下的磁路结构设计方法-CN201810209917.0有效
发明人：于达仁;宁中喜;夏国俊;李鸿;朱悉铭;刘星宇 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2018-03-14 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： H05H1/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种磁聚焦霍尔推力器长寿命设计下的磁路结构设计方法，属于霍尔推力器设计技术领域。所述方法首先将陶瓷放电通道壁面厚度、内磁屏和外磁屏的厚度均增加，提高推力器使用寿命，然后将陶瓷放电通道壁面后段调整为分段式结构或使减少陶瓷放电通道后段的陶瓷放电通道壁面的厚度，最终实现降低励磁效率损失。在设计结构中，内磁屏和外磁屏采用高导磁率、低热膨胀系数的软磁铁氧体材料替代DT4C纯铁。
一种聚焦霍尔推力寿命设计磁路结构设计方法

[发明专利]磁增强法拉第屏蔽结构及感应耦合等离子体源-CN201811102594.1在审
发明人：李兴存 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-09-20 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： H05H1/10 文献下载
摘要：一种磁增强法拉第屏蔽结构及感应耦合等离子体源，磁增强法拉第屏蔽结构包括内层和套设于内层外侧的外层，内层和外层之间形成容置空间，容置空间内设有磁性件。磁增强法拉第屏蔽结构可以通过内层和外层共同形成的屏蔽层减弱感应耦合线圈电压导致的介质窗溅射和化学腐蚀，并可以通过磁性件补偿屏蔽层导致的感应耦合线圈功率耦合效率降低。
内层法拉第屏蔽磁增强感应耦合线圈容置空间磁性件屏蔽层感应耦合等离子体源功率耦合效率化学腐蚀介质窗溅射

[发明专利]直线型磁约束等离子体装置-CN201711036804.7在审
发明人：许敏;王占辉;郑鹏飞;聂林;车通;魏然;刘灏;柯锐;郭栋;龙婷;吴一帆;袁博达 -专利权人：核工业西南物理研究院
申请日： 2017-10-30 - 公布日： 2019-05-07 - 主分类号： H05H1/10 文献下载
摘要：本发明涉及直线型等离子体装置技术领域，具体公开了一种直线型磁约束等离子体装置。该装置包括离子源、环形磁体、真空室以及换样装置，其中，离子源、真空室以及换样装置顺序连接，并在真空室外环绕安装有若干个环形磁体；环形磁体包括不同内径的环形磁体环绕安装在真空室外侧，使磁体距真空室中轴线距离尽量小，真空室内磁场强度满足要求的前提下使磁体功率尽量小。该装置中真空室通过锥孔体分隔成三级，进行差分抽气，可降低抽气负载；磁体充分利用了法兰的间隙，并通过独立调节各个磁体的电流，可产生高强度低波纹度的磁场，充分地约束等离子体，在真空室轴线上的磁场强度达到2000高斯，波纹度小于1％。
真空室环形磁体等离子体装置直线型磁场环绕安装换样装置磁约束离子源抽气等离子体真空室轴线中轴线距离独立调节顺序连接波纹度低波纹锥孔体法兰分隔高斯室外室内

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