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- [实用新型]一种薄膜晶体管、阵列基板及显示装置-CN201520877297.X有效
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辛龙宝
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京东方科技集团股份有限公司
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2015-11-05
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2016-03-02
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H01L29/40
- 本实用新型公开了一种薄膜晶体管、阵列基板及显示装置,在形成有源层之后,在形成源电极和漏电极之前,还在有源层上形成相对设置的第一初始欧姆接触层和第二初始欧姆接触层,且第一初始欧姆接触层和第二初始欧姆接触层的材料均为氧化物材料,在形成源电极和漏电极之后,再进行高温处理,从而使源电极和漏电极中的铜原子扩散至第一初始欧姆接触层和第二初始欧姆接触层中,使氧化物材料具有较好的导电性。与现有技术相比由于在源电极和漏电极与有源层之间分别设置有具有较好导电性的第一目标欧姆接触层和第二目标欧姆接触层,因此可以使源电极和漏电极分别与有源层之间具有较好的欧姆接触,从而提高薄膜晶体管的性能。
- 一种薄膜晶体管阵列显示装置
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