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- [发明专利]气体回收设备-CN96110281.0无效
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野沢成祯;富田伸二
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缔酸株式会社
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1996-07-16
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1997-05-21
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F25J3/08
- 本发明的气体回收设备有一CVD装置，它包括具有惰性气体供应通道以及清洗气体供应通道的气体输入部分，这些通道都与CVD装置相连；还设有废气排放部分，废气循环部分，冷却部分以及回收部分；稀释惰性气体包括沸点低于清洗气体的气体；供应成分与稀释惰性气体相同的液态冷惰性气体的供应部分、由冷惰性气体的汽化热冷却的惰性气体循环部分以及惰性气体排放部分构成冷却部分；惰性气体排放部分连接惰性气体供应通道。
- 气体回收设备
- [发明专利]等离子体处理装置-CN201010543269.6无效
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森田治
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东京毅力科创株式会社
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2006-04-27
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2011-03-02
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C23C16/50
- 本发明是一种等离子体处理装置，包括：处理容器，具有：其中生成等离子体的等离子体生成空间，和其中放置基板且基板进行等离子体处理的处理空间；气体供应板，其被设置在处理容器中以将处理容器中的等离子体生成空间和处理空间分开；处理气体供应孔，其被设置在气体供应板中，用于将处理气体供应至处理容器中；多个开口，其被设置在气体供应板中，用于将等离子体生成空间与处理空间连通；和传热元件，其从气体供应板的中央区域延伸到气体供应板的外周区域，传热元件的传热速率高于形成气体供应板的材料的传热速率。
- 等离子体处理装置
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