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[实用新型]一种液态气体供应加热控制装置-CN202221190974.7有效
发明人：郑世明;童华宁;刘霞 -专利权人：长兴云腾新能源科技有限公司
申请日： 2022-05-18 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： F17C7/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种液态气体供应加热控制装置，旨在提供一种能维持所供应气体的压力稳定性的液态气体供应加热控制装置，它包括气体供应站和至少一个加热控制系统，加热控制系统包括加热控制站和供气瓶，供气瓶上设有气体管路，供气瓶通过气体管路与气体供应站相连接，气体管路内设有温度传感器一，温度传感器一与加热控制站电连接，温度传感器一与气体管路可拆卸连接，供气瓶的底部设有加热装置，加热装置与供气瓶可拆卸连接，加热装置与加热控制站电连接本实用新型的有益效果是：达到了能维持所供应气体的压力稳定性的目的；具有多种防护系统，能提供更完善的安全性；能有效控制双供气瓶同步供应。
一种液态气体供应加热控制装置

[发明专利]一种用于背封硅片的装置-CN202310340643.X在审
发明人：郝宁;王力 -专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种用于背封硅片的装置，所述装置包括用于将反应气体供应至所述硅片以在所述硅片上生长背封膜的反应气体供应单元，所述反应气体供应单元构造成使得供应至所述硅片的中心区域的反应气体的第一流速大于供应至所述硅片的边缘区域的反应气体的第二流速
一种用于硅片装置

[发明专利]低供应量氯气供应系统-CN96194724.1无效
发明人：卡布雷拉·D·马里奥;施特金格尔·格雷戈里;范格鲁乌·阿尔贝特 -专利权人：美国过滤器公司
申请日： 1996-06-14 - 公布日： 2003-02-05 - 主分类号： F17C13/04 文献下载
摘要：一种向供水系统供应气体，例如氯气，以使水消毒的气体供应系统。该气体供应系统包括多个容器，并且装有一当第一容器放空时，能自动从该第一容器切换到第二容器的开关，并且还能使第一容器完全放空。本发明还提供了一种气体供应调节器，用于控制从一个容器，例如是氯气瓶，输送过来的气体的供应，该调节器的结构简单。
供应量氯气供应系统

[发明专利]用于患者界面的EAP驱动气泵-CN201380066598.8在审
发明人： M·马蒂泽克;C·P·亨德里克斯;R·A·范德莫伦赫拉夫;M·J·劳伦松;J·C·诺兰;M·J·温德里奇 -专利权人：皇家飞利浦有限公司
申请日： 2013-12-16 - 公布日： 2015-08-26 - 主分类号： A61M16/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于将加压气体流供应给受试者(50)的患者界面(30)的气体供应系统(10)、具有这一气体供应系统(10)的相应患者界面(30)和一种具有这一气体供应系统的治疗装置。根据本发明的所述气体供应系统包括泵装置(55)，所述泵装置具有用于泵送致动的至少一个隔膜(58)。这一隔膜(58)是经由电活性聚合物材料构件(60)致动的。
用于患者界面 eap 驱动气泵

[发明专利]安全阀机构的检测装置和安全阀机构的检查方法-CN201410647818.2在审
发明人：石川直路;井上浩;大村实辉;小林宽之;五十岚昭 -专利权人：朴力美电动车辆活力株式会社
申请日： 2014-11-14 - 公布日： 2015-08-26 - 主分类号： H01M2/12 文献下载
摘要：安全阀机构具有：多个安全阀(11)；气体聚集部，其通过该多个安全阀(11)被导入气体；以及气体排出口(27)，其向外部排出该气体聚集部内的气体，安全阀机构的检查装置(30)对安全阀机构检查多个安全阀(11检查装置(30)具备：气体供应部(31)，其供应气体；气体供应路(32)，其连接气体供应部(31)和成为检查对象的安全阀(11)；压力计(34)，其检测向成为检查对象的安全阀(11)供应的气体的压力；以及流量计(33)，其检测向成为检查对象的安全阀(11)供应的气体的流量。
安全阀机构检测装置检查方法

[实用新型]多床炉-CN200720181234.6无效
发明人：埃米尔·洛纳尔迪;帕特里克·胡特马赫;埃德加·克雷默;保罗·托克尔特 -专利权人：保尔伍斯股份有限公司
申请日： 2007-10-31 - 公布日： 2008-10-22 - 主分类号： F27B1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多床炉，包括用于其中心炉身(20)和其耙柄(26)的气体冷却系统。该气体冷却系统包括炉身内用于向耙柄供应冷却气体的环形总分配通道(54，54′)和用于排出离开耙柄的冷却气体的中心排气通道(56)。气体冷却系统还包括围绕环形总分配通道并向外由炉身的外壳(50)界定的环形总供应通道(52，52′)。冷却气体入口(44′，44″)连接于该环形总供应通道。环形总供应通道(52，52′)与环形总分配通道(54，54′)之间的冷却气体通路(60′，60″)与冷却气体入口(44′，44″)隔开，以使供应至该冷却气体入口的冷却气体在流经该冷却气体通路进入环形总分配通道(54，54′)前必须穿过多个炉床室(12)流经环形总供应通道(52，52′)。
多床炉

[发明专利]多床炉-CN200880005072.8无效
发明人：埃米尔·洛纳尔迪;帕特里克·胡特马赫;埃德加·克雷默;保罗·托克尔特 -专利权人：保尔伍斯股份有限公司
申请日： 2008-01-31 - 公布日： 2009-12-23 - 主分类号： F27B9/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种多床炉，包括用于其中心炉身(20)和其把柄(26)的气体冷却系统。该气体冷却系统包括炉身(20)内用于向把柄(26)供应冷却气体的环形总分配通道(54，54′)和用于排出离开把柄(26)的冷却气体的中心排气通道(56)。气体冷却系统还包括围绕环形总分配通道(54，54′)并由炉身的外壳(50)向外界定的环形总供应通道(52，52′)。冷却气体入口(44′，44″)连接于环形总供应通道(52，52′)。环形总供应通道(52，52′)与环形总分配通道(54，54′)之间的冷却气体通路(60′，60″)与冷却气体入口(44′，44″)隔开，以使供应至冷却气体入口(44′，44″)的冷却气体在流经冷却气体通路(60′，60″)进入环形总分配通道(54，54′)前必须穿过多个炉床室(12)流经环形总供应通道(52，52′)。
多床炉

[发明专利]反应性颗粒供应系统-CN202111573127.9在审
发明人： A·古特曼;I·拉赫-尼尔;K·卢里亚;S·吕勒;G·埃坦 -专利权人：应用材料以色列公司
申请日： 2021-12-21 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种反应性颗粒供应系统，该反应性颗粒供应系统可包括：可调节气体供应单元，该可调节气体供应单元布置成供应气体并且设置气体条件；反应性颗粒供应单元，该反应性颗粒供应单元可布置成接收气体；以及可调节反应性颗粒输出单元
反应颗粒供应系统

[实用新型]管路吹扫系统-CN201520597404.3有效
发明人：况开锋;施海涛;徐小艳;陈露;邱国洪;吴志燕;顾枫;封晓华;许文杰;沈益;范仲辉;李新明;于洪霞 -专利权人：张家港中集圣达因低温装备有限公司;中集安瑞科投资控股（深圳）有限公司;中国国际海运集装箱(集团)股份有限公司
申请日： 2015-08-10 - 公布日： 2015-12-16 - 主分类号： B08B9/032 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种管路吹扫系统，其包括第一气体供应系统、第二气体供应系统、吹扫管路系统、被吹扫管路系统以及放空管路系统，所述第一气体供应系统包括制气机、第一气体供应管道和稳压储气罐，所述制气机通过第一气体供应管道与所述稳压储气罐连接，所述稳压储气罐通过第一气体供应管道与所述吹扫管路系统连接，所述制气机产生的气体预先存储在所述稳压储气罐中，当所述稳压储气罐内的气体压力达到预设值时，所述稳压储气罐为所述吹扫管路系统供应稳定压力的气源。
管路系统

[发明专利]燃料电池以及用于燃料电池的隔板-CN200610094613.1有效
发明人：杉田成利;小阪高;佐藤修二;室岳志;坂野雅章 -专利权人：本田技研工业株式会社
申请日： 2006-06-21 - 公布日： 2006-12-27 - 主分类号： H01M8/02 文献下载
摘要：多个第一供应孔(76a)以及多个第二供应孔(76b)延伸穿过阳极侧金属隔板(18)的通路单元，并且所述通路单元连接燃料气体供应通道(34a)和燃料气体流场(44)。来自燃料气体供应通道(34a)的燃料气体流入第一供应孔(76a)，进而流过入口连接通路(72)。所述燃料气体流入与入口连接通路(72)相连的第二供应孔(76b)。所述燃料气体朝向薄膜电极组件(16)的一侧流动，并且随后被供应给阳极(38)。
燃料电池以及用于隔板

[发明专利]用于半导体处理的气体分配装置-CN01816884.1有效
发明人：布赖恩·K·迈克米林;罗伯特·诺普 -专利权人：兰姆研究公司
申请日： 2001-09-26 - 公布日： 2004-01-14 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：用于处理半导体衬底的气体分配系统，包括：多个气体供给设备；在其中将来自多个气体供给设备的气体混合在一起的混合歧管；将混合气体输送给室中的各个区的多条气体供应线；以及控制阀。气体供应线包括将混合气体输送给室中的第一区的第一气体供应线以及将混合气体输送给室中的第二区的第二气体供应线。控制阀控制第一和/或第二供应线中混合气体的流率以便在第一和第二气体供应线中实现混合气体的流率的想要的比率。在使用该装置的方法中，将半导体衬底提供给反应室以及通过将混合气体提供给第一和第二区来处理衬底，调整控制阀以便在第一和/或第二气体供应线中的混合气体的流率提供第一和第二区中混合气体的流率的想要的比率。
用于半导体处理气体分配装置

[发明专利]具有快速气体切换能力的气体分配系统-CN200580013773.2有效
发明人：黄志松;乔斯·T.·萨姆;埃里克·兰兹;拉金德·丁德萨;雷扎·萨德贾蒂 -专利权人：兰姆研究公司
申请日： 2005-04-22 - 公布日： 2007-05-23 - 主分类号： C23F1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种用于向腔室、诸如等离子处理设备的等离子处理腔室中供应不同气体组分的气体分配系统。气体分配系统可包括气体供应部件、流动控制部件和开关部件。气体供应部件提供第一和第二气体、通常为气体混合物至流动控制部件，流动控制部件控制第一和第二气体到腔室的流动。腔室可包括多个区域，而流动控制部件可以所需的气体流动速率供应第一和第二气体至多个区域。气体分配系统可连续供应第一和第二气体至开关部件，而开关部件可操作地切换第一和第二气体流动，使得第一和第二处理气体中的一种被供应至腔室，而另一种气体被供应至旁通管线，并然后切换气体流动。开关部件优选包括快速开关阀门，其可操作地快速地打开和关闭从而允许第一和第二气体的快速切换，优选在任一种气体流动时不出现不期望的压力波动或流动不稳定性。
具有快速气体切换能力分配系统

[发明专利]气体燃料推进集装箱运输船-CN201780080268.2有效
发明人：金汉哲;韩范羽;沈勋燮;柳盛俊;文贤秀;宋仁昌 -专利权人：现代重工业株式会社
申请日： 2017-12-27 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： B63B25/00 文献下载
摘要：本发明一实施例涉及气体燃料推进集装箱运输船，其特征在于，包括：液化气体储存罐，容纳在船体内部，用于储存液化气体；以及燃料供应室，容纳燃料供应部，所述燃料供应部将所述液化气体输送到推进引擎，所述燃料供应室设置在所述船体的上甲板上部
气体燃料推进集装箱运输船

[发明专利]一种基于CVD法制备sic的工艺-CN201810950305.7在审
发明人：孙月静 -专利权人：孙月静
申请日： 2018-08-20 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： C23C16/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于CVD法制备sic的工艺，包括以下步骤：(a)在具有小于5°的偏角的4H‑SiC(0001)面的SiC体衬底上进行第一外延生长，作为第一温度1480的主表面，通过使SiC本体衬底与Si供应气体和C供应气体接触，或者更低；(b)在SiC块体基板的温度从第一温度升高到高于第一温度的第二温度期间，停止SiC块体基板与Si供应气体和C供应气体接触；(c)在达到第二温度后，通过使SiC块体基板与Si供应气体和C供应气体接触，在第二温度下在SiC块体基板上进行第二外延生长。
供应气体基板块体外延生长衬底主表面偏角

[发明专利]气体供应单元及包括气体供应单元的基板处理装置-CN201711120632.1有效
发明人：金永勋;韩镕圭;金大渊;张显秀;李政镐 -专利权人： ASM知识产权私人控股有限公司
申请日： 2017-11-14 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：基板处理装置包括配置成提供气体供应通道的分隔件和连接到气体供应通道的气体供应单元。与气体供应通道连通的气流通道形成在气体供应单元中。第一通孔形成为穿过分隔件的至少一部分。第二通孔形成为穿过气体供应单元的至少一部分。第一通孔经由第二通孔与气流通道连通。第二通孔布置在气流通道的中心和边缘之间，并且布置成与边缘间隔开。
气体供应单元通孔基板处理装置气体供应通道气流通道分隔件连通穿过边缘间隔均匀性膜处理配置改进