|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 990771个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]气体供应系统-CN201910443249.2有效
-
兼井直史;名仓见治
-
株式会社神户制钢所
-
2019-05-24
-
2021-06-18
-
F17C9/02
- 本发明提供一种气体供应系统，其包括：贮存第一低温液化气体的第一罐；在第一罐内第一低温液化气体气化而发生的第一气体被流入，且配置有使第一气体升压的气体升压机构的第一路径；从第一罐取出第一低温液化气体，且配置有使第一低温液化气体升压的泵和使通过泵而升压的第一低温液化气体气化的气化机构的第二路径；以及使从第一路径中的气体升压机构的上游侧取出的第一气体的至少一部分液化并使其流入第二路径中的泵的上游侧，且配置有利用第二低温液化气体或第二气体冷却第一气体的冷却换热器的再液化路径。据此，能够向需求方供应升压为指定的压力的气体，并且能够提高气体供应效率。
- 气体供应系统
- [实用新型]气体供应装置-CN201320672685.5有效
-
张文武;张祯;刁春华;周鹏;杨洪;廖伟杰
-
中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
-
2013-10-29
-
2014-04-09
-
F17D5/02
- 本实用新型提出了一种气体供应装置，用于向需求设备提供气体，包括：供应设备，连接供应设备和需求设备的供气管路，设置在供气管路上的气动阀，与气动阀通过第二驱动气管相连的电磁阀组，与电磁阀组相连的第一驱动气管，与电磁阀组信号相连的控制单元以及设置在第一驱动气管上并与控制单元信号连接的感应器；传感器能够监测到第一驱动气管内有无流量变化，由于驱动气体驱动打开气动阀只需1～2秒，若第一驱动气管内长时间有流量，则说明第一驱动气管、电磁阀组或者第二驱动气管出现了漏气，因此本实用新型提出的气体供应装置能够监测是否存在漏气的现象，便于确保气体供应装置是否正常工作。
- 气体供应装置
- [发明专利]气体供应装置-CN201680011772.2有效
-
D.P.曼森;P.诺思;M.李
-
爱德华兹有限公司
-
2016-02-02
-
2020-01-10
-
F04D19/04
- 当真空泵在操作状态之间循环时，真空泵吹扫系统可能遭受工艺气体进入到吹扫供应构件中的回流。例如，在粗加工操作期间，真空泵的泵送室内的气体的压力可以增加到高于阈值压力，从而导致到该泵的无效吹扫供应。在最宽广意义上，本发明旨在提供一种较不容易出现已知系统的缺点的经改进的吹扫气体供应装置。本发明旨在通过提供如下结构来减少所泵送气体进入到吹扫供应装置中的回流或再循环：其中多级真空泵上的吹扫端口包括处于足够压力下的吹扫气体以抵抗回流，特别是当真空泵在其极限压力范围外操作时。我们已经发现，下文所述实施例并不一定需要止回阀来抵抗不需要的泵气体回流。
- 气体供应装置
|
