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[发明专利]立体多槽栅增强型HEMT器件及其制备方法-CN201511003565.6有效
发明人：周琦;张安邦;施媛媛;刘丽;王泽恒;陈万军;张波 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2015-12-28 - 公布日： 2019-01-29 - 主分类号： H01L29/778 文献下载
摘要：本发明提供一种立体多槽栅增强型HEMT器件及其制造方法，包括衬底、衬底上方的异质结、栅极、源极和漏极，栅极设有多个U型槽构成的立体多槽栅结构，该立体多槽栅结构通过刻蚀异质结形成，在漏极至源极方向相邻U型槽之间的距离依次减小，U型槽长度依次增大；制造方法包括：制造器件的晶圆片；定义器件的有源区以及器件之间的隔离；在源极和漏极区域淀积金属薄膜，得到器件的源极和漏极；局部刻蚀异质结层制备立体多槽栅结构，并在其上方沉积金属薄膜制得栅极；相比常规型槽栅结构，立体多槽栅结构使得栅极下方的电子浓度逐渐变化形成梯度分布，以此优化栅极区域电场分布，从而提高器件的反向耐压和在高电场下的可靠性。
立体多槽栅增强 hemt 器件及其制备方法

[发明专利]具有串联槽栅结构的多叠层功率器件-CN201810010047.4在审
发明人：李琦;张昭阳;李海鸥;陈永和;张法碧;傅涛;袁雷雷 -专利权人：桂林电子科技大学
申请日： 2018-01-05 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： H01L29/78 文献下载
摘要：本发明公开了一种能够提高器件耐压，降低比导通电阻的具有串联槽栅结构的多叠层功率器件；该结构的栅极采用了槽型结构，槽栅一直延伸到埋氧层，与p阱形成了纵向导电沟道，同时，槽栅与漂移区形成了纵向电子积累层，使电流传导区域在纵向得到显著扩展，降低了器件比导通电阻；漂移区包含多个与纵栅相连接P型的埋层，器件上部采用表面多晶硅氧化层结构，形成级联栅多个器件并联结构；采用该具有串联槽栅结构的多叠层功率器件,有效提高了器件的击穿电压和降低比导通电阻
比导通电阻功率器件串联槽多叠层栅结构漂移区槽栅级联多晶硅氧化层并联结构槽型结构导电沟道导通电流电场分布电流传导电子积累多个器件击穿电压埋氧层埋层耐压纵栅延伸

[实用新型]多栅线拉力测试机-CN202022982841.0有效
发明人：曹晓冬 -专利权人：南通鹏能实业有限公司
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： G01N3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了多栅线拉力测试机，包括底板，所述底板的上端固定连接有两组固防护箱，两组所述防护箱的上端均固定连接有伺服电机，两组所述伺服电机的输出端均设置有丝杠，两组所述丝杠的外表面均螺纹连接有滑块，两组所述滑块之间固定连接有移动板本实用新型中，通过设置的电动推杆，能够控制第一夹板与第二夹板向中间移动，通过第一通槽、第二通槽、凹槽与延伸板之间的配合，能够便于多栅线的夹持，从而使多栅线在夹持过程中更稳定，通过设置的万向轮，能够便于多栅线拉力测试机的移动，从而提高多栅线拉力测试机的机动性。
多栅线拉力测试

[实用新型]带翻边的梅花触头-CN201220728273.4有效
发明人：梁楚欣;林锦辉;陈政慧;陈拯 -专利权人：浙江东亚机电有限公司
申请日： 2012-12-06 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： H01H33/664 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种带翻边的梅花触头，包括栅片、接触片、弹簧，栅片由环形的上栅片和下栅片上下设置，上栅片的外侧边缘向下翻转并延伸形成翻边，上栅片和下栅片外侧相互对应形成多个触片槽，多片接触片卡在上栅片和下栅片的触片槽内，触片的外侧形成多个半圆槽，弹簧沿半圆槽缠绕在接触片外侧。
带翻边梅花

[发明专利]一种多槽栅横向高压功率器件制造方法-CN201910805736.9有效
发明人：魏杰;马臻;黄俊岳;王晨霞;鲁娟;郗路凡;宋旭;罗小蓉;杨永辉;朱坤峰 -专利权人：电子科技大学;重庆中科渝芯电子有限公司
申请日： 2019-08-29 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： H01L21/334 文献下载
摘要：本发明属于功率半导体技术领域，具体涉及一种多槽栅横向高压功率器件制造方法。本发明相对与传统结构，新结构在发射极端的N型存储层与集电极端的N型缓冲层、发射极端与集电极端的P型阱区可分别同步推结完成以降低器件热预算成本；发射极端与集电极端的多槽栅结构也可同步制作完成，在器件两端形成多沟道槽栅结构
一种多槽栅横向高压功率器件制造方法

[发明专利]多沟道绝缘鳍式栅复合槽栅的AlGaAs/GaAs高电子迁移率晶体管及其制备方法-CN202010349428.2有效
发明人：化宁;王真昊;沈亚飞;王佳;章泉源;杜祥裕;王茂森;高翔;姚崇斌;黄硕;麻仕豪 -专利权人：上海航天测控通信研究所
申请日： 2020-04-28 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01L29/778 文献下载
摘要：本发明公开了一种多沟道绝缘鳍式栅复合槽栅的AlGaAs/GaAs高电子迁移率晶体管，自下而上依次包括GaAs或锗衬底、若干层AlGaAs/GaAs异质结、GaAs帽层、SiN钝化层、源电极、漏电极和栅电极，栅电极包括鳍式栅和槽栅，槽栅的刻蚀区域边界距离相应的鳍式栅的顶栅区域边界的距离小于100nm；栅电极与若干层AlGaAs/GaAs异质结的顶部及两个侧壁之间还包括绝缘介质层。本发明同时采用了三维鳍栅与凹形槽栅结构，使得栅不仅从上端对沟道进行控制，而且100nm以内的栅宽使得三维鳍栅电极能从侧面对沟道电子进行控制，明显加强栅控能力，提高器件跨导和器件增益能力；同时引入绝缘介质层，能有效降低由于鳍式结构刻蚀与槽栅刻蚀引入的泄漏电流，降低器件的静态功耗，提高器件的击穿电压。
沟道绝缘鳍式栅复合 algaas gaas 电子迁移率晶体管及其制备方法

[发明专利]一种MBB多主栅电池片叠片组件及光伏组件-CN201810567451.1在审
发明人：董波;李冲;金叶 -专利权人：浙江宝利特新能源股份有限公司
申请日： 2018-06-04 - 公布日： 2018-10-19 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：本发明公开一种MBB多主栅电池片叠片组件及光伏组件，该叠片组件包括：多块MBB多主栅切片，MBB多主栅切片上设有多条主栅，且MBB多主栅切片为沿垂直于MBB多主栅电池片上的主栅方向从MBB多主栅电池片切割而成；且相邻两块MBB多主栅切片部分重叠连接，且相邻两块MBB多主栅切片上的主栅对应连接。本发明一种MBB多主栅电池片叠片组件及光伏组件将MBB多主栅技术与叠瓦技术进行完美的结合，具有更好的功效，相较于常规组件而言，本申请具有15％的提效。
主栅电池片切片叠片组件光伏组件常规组件重叠连接多块提效切割垂直申请

[发明专利]一种用于薄硅膜SOI栅氧可靠性评估的有源区多指测试结构-CN202010244311.8在审
发明人：纪旭明;顾祥;张庆东;谢儒彬;吴建伟;洪根深 -专利权人：中国电子科技集团公司第五十八研究所
申请日： 2020-03-31 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： H01L23/544 文献下载
摘要：本发明公开一种用于薄硅膜SOI栅氧可靠性评估的有源区多指测试结构，属于集成电路技术领域。所述用于薄硅膜SOI栅氧可靠性评估的有源区多指测试结构包括Si及覆盖在其表面的SiO2，所述SiO2表面覆盖有薄硅，还包括薄硅膜SOI和STI隔离槽；所述薄硅膜SOI包括有源区、H型的多晶和栅氧，所述多晶覆盖在所述栅氧上面；所述STI隔离槽刻蚀形成在所述有源区上，并且所述STI隔离槽与所述多晶平行，以此将被STI隔离槽隔离的有源区通过侧面的体接触连接引出本发明通过H型的有源区多指测试结构来实现STI隔离、栅氧化层的质量能力的监控，确保工艺流片的可靠性监控。同时此结构无需特殊的工艺流程配合，完美的契合SOI工艺，提高设计结构的实用性。
一种用于薄硅膜 soi 可靠性评估有源区多指测试结构

[实用新型]一种多感栅触发的耐高温应变片-CN201921591376.9有效
发明人：曹世智 -专利权人：天津捷力自动化设备有限公司
申请日： 2019-09-24 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： G01B7/16 文献下载
摘要：本实用新型的目的是提供一种多感栅触发的耐高温应变片。本实用新型的技术方案为：由基板、多个感栅放置槽、多个敏感栅、导热片和隔热盖层组成，每个敏感栅设有两个引线，每个感栅放置槽设有两个引线切断器；整个应变片结构简单、使用方便，采用多个感栅集成设计，能够同时接入电路，使得触发的灵敏性更强，在装有感栅的基板上设有多个放置槽用来承载感栅，能够对每个感栅起到卡位固定的作用，在使用的过程中防止感栅滑脱现象的发生，并且中心位置加设的导热片能够帮助自身板件的散热，每个感栅放置槽的引线位置处配有切断装置
一种多感栅触发耐高温应变

[实用新型]一种MBB多主栅电池片叠片组件及光伏组件-CN201820858890.3有效
发明人：董波;李冲;金叶 -专利权人：浙江宝利特新能源股份有限公司
申请日： 2018-06-04 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：本实用新型公开一种MBB多主栅电池片叠片组件及光伏组件，该叠片组件包括：多块MBB多主栅切片，MBB多主栅切片上设有多条主栅，且MBB多主栅切片为沿垂直于MBB多主栅电池片上的主栅方向从MBB多主栅电池片切割而成；且相邻两块MBB多主栅切片部分重叠连接，且相邻两块MBB多主栅切片上的主栅对应连接。本实用新型一种MBB多主栅电池片叠片组件及光伏组件将MBB多主栅技术与叠瓦技术进行完美的结合，具有更好的功效，相较于常规组件而言，本申请具有15％的提效。
主栅电池片切片叠片组件光伏组件本实用新型常规组件重叠连接多块提效切割垂直申请

[实用新型]一种公路用隔离栅-CN202022638584.9有效
发明人：郑少鹏;李林涛;李晓光;黄日佳 -专利权人：韶关市中群建设有限公司
申请日： 2020-11-13 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： E01F15/06 文献下载
摘要：本申请涉及公路隔离设备的领域，尤其是涉及一种公路用隔离栅，包括两根竖直设置的竖杆以及隔离栅网，隔离栅网设置于两根竖杆之间，隔离栅网的两端均设置有安装凸条，两根竖杆相对的两侧表面均设置有与各安装凸条对应的安装槽，安装凸条与安装槽滑移配合，安装凸条上设置有连接板，连接板上设置有多块定位块，安装凸条的一端设置有供连接板以及多块定位块容置的容置槽，容置槽的一槽壁设置有与多块定位块一一对应的通孔，安装槽的一槽壁设置有多个定位孔
一种公路隔离

[发明专利]多指栅型晶体管热阻测试方法、装置及终端设备-CN202010663553.0有效
发明人：翟玉卫;郑世棋;李灏;丁晨;丁立强;韩伟;荆晓冬 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2020-07-10 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种多指栅型晶体管热阻测试方法、装置及终端设备，该方法包括：获取多指栅型晶体管各个栅指的第一温升，并根据各个栅指的第一温升确定各个栅指对应的温度权值；其中，多指栅型晶体管各个栅指的第一温升由显微红外热像仪测量得到；获取多指栅型晶体管的平均温升；其中，多指栅型晶体管的平均温升是基于电学参数法对多指栅型晶体管进行结温测量得到的；根据多指栅型晶体管的平均温升以及各个栅指对应的温度权值确定多指栅型晶体管各个栅指的第二温升；基于各个栅指的第二温升确定多指栅型晶体管各个栅指的热阻。本发明提供的多指栅型晶体管热阻测试方法、装置及终端设备能够提高多指栅型晶体管热阻测试的准确性。
多指栅型晶体管测试方法装置终端设备

[发明专利]一种高效率多主栅组件的制备工艺-CN201811492780.0在审
发明人：孙烨;金富强;杨冬生;刘燕;胡燕 -专利权人：中建材浚鑫科技有限公司
申请日： 2018-12-06 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种高效率多主栅组件的制备工艺，该制备工艺包括以下步骤：多主栅电池片半片的制备；多主栅电池片半片串的制备；多主栅电池片半片组的制备；多主栅组件的制备；一次EL测试；层压封装；装框，装接线盒；本发明的制备工艺中每个多主栅电池片半片均为将整片多主栅电池片切割而得到的，由多主栅电池片半片串相互并联得到多主栅电池片半片组的等效电阻会进一步降低，从而降低由自身电阻所引起的功率损失，以提高多主栅组件的输出功率；本发明的多主栅组件的CTM值、平均输出功率、发电量、发电效率等均比常规组件有所提高，结果表明，本发明的多主栅组件具有更加优越的发电性能。
电池片主栅主栅组件半片制备工艺制备高效率平均输出功率测试层压封装常规组件等效电阻发电效率发电性能功率损失输出功率接线盒并联电阻整片装框发电量切割

[发明专利]一种逆气流粉尘荷电的双区多段静电除尘器-CN200910187746.7无效
发明人：郝文阁;徐钟川;吴晓君 -专利权人：东北大学
申请日： 2009-09-29 - 公布日： 2010-03-17 - 主分类号： B03C3/00 文献下载
摘要：一种逆气流粉尘荷电的双区多段静电除尘器，属于电除尘器技术领域。本发明提供一种可有效改善高比电阻粉尘的除尘效果，满足高比电阻粉尘烟气净化要求的逆气流粉尘荷电的双区多段静电除尘器。本发明包括进气箱、出风箱，在进气箱与出风箱之间设置有至少一段除尘段，每一段除尘段包括荷电区和收尘区，所述的收尘区由板、板通道或线、板通道构成；其特点是所述的荷电区的阳极由栅槽竖直排列而成的阳极栅排构成，所述的荷电区的阴极由栅管竖直排列而成的阴极栅排构成；阳极栅排、阴极栅排与气流流动方向垂直设置，阴极栅排设置在阳极栅排的下风侧，每支栅管的迎风面设置有芒刺；阳极栅排的栅槽的截面为等腰三角形，等腰三角形底边所在的面为迎风面
一种气流粉尘双区多段静电除尘器

[发明专利]光伏叠瓦组件-CN201710419822.7在审
发明人：吴正同;黄强 -专利权人：张家港协鑫集成科技有限公司
申请日： 2017-06-06 - 公布日： 2017-09-22 - 主分类号： H01L31/042 文献下载
摘要：本发明涉及一种光伏叠瓦组件，其包括至少两个相互串联或并联的电池串，电池串包括至少两个依次叠焊的多主栅电池片；多主栅电池片的正面的一侧设有纵向主栅，背面的一侧设有纵向背电极，纵向主栅与纵向背电极位于多主栅电池片的不同侧；多主栅电池片的正面设有若干个第一横向主栅和若干个第二横向主栅，第一横向主栅上焊接有第一多主栅焊带；多主栅电池片的背面还设有若干个成对设置的横向背电极，每对横向背电极分别位于多主栅电池片的背面的两侧并通过第二多主栅焊带焊接上述光伏叠瓦组件，即使其中一个多主栅电池片发生隐裂或断裂，也不会导致电池串断串。
光伏叠瓦组件

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