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[实用新型]晶圆吸嘴固定件和晶圆吸嘴组件-CN202122836822.1有效
发明人：郭雷;谭兵斌;谭武;李小虎;张志奇;梁金鑫 -专利权人：昆山丘钛微电子科技股份有限公司
申请日： 2021-11-18 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型的一种晶圆吸嘴固定件和晶圆吸嘴组件，晶圆吸嘴固定件包括固定件本体，固定件本体的下表面开设有一凹槽；固定件本体内设置有通气道，通气道一端在所述凹槽的槽底形成第一开口。晶圆吸嘴组件包括吸嘴、吸嘴支架和晶圆吸嘴固定件，晶圆吸嘴固定件通过吸嘴支架与吸嘴相连，其中吸嘴支架包括依次连接的吸嘴杆和限位块，吸嘴杆通过第一开口插入通气道后，吸嘴杆固设在通气道内，且限位块与凹槽相卡配合本实用新型使得吸嘴支架安装时吸嘴支架上的限位块直接卡于凹槽，进而能够固定吸嘴支架的安装角度，省去每次安装吸嘴支架时的调节步骤，省时省力，提高了生产效率。
晶圆吸嘴固定组件

[实用新型]一种晶圆产品取料吸嘴机构-CN202320143644.0有效
发明人：王体;付松娟;韩树军 -专利权人：深圳市诺泰芯装备有限公司
申请日： 2023-01-16 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆产品取料吸嘴机构，涉及晶圆产品取料技术领域。该晶圆产品取料吸嘴机构，包括机构主支撑座，所述机构主支撑座的底端设置有吸嘴组件，所述吸嘴组件包括真空吸嘴、遮光环、真空接头块、吸嘴紧固螺丝、吸嘴压力弹簧、花键轴承导杆、下端紧固螺丝、吸嘴支撑架、花键轴承、缓冲胶垫一、导杆紧固夹块、吸嘴定向销。通过设置吸嘴组件，使本装置在拾取晶圆产品时，通过吸嘴压力弹簧，能够对下压到晶圆产品产生一定的缓冲作用，且通过转动紧固螺丝能够改变吸嘴压力弹簧的初始状态，从而改变吸取时的压力，避免取料过程吸嘴压裂产品的问题，同时加长吸嘴轴承支撑座能适应于较大尺寸的晶圆硅片产品取料。
一种产品取料吸嘴机构

[发明专利]固晶机用多焊臂装置-CN201310539647.7在审
发明人：区大公 -专利权人：深圳市恒睿智达科技有限公司
申请日： 2013-10-25 - 公布日： 2014-02-12 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：本发明公开一种固晶机用多焊臂装置，该固晶机用多焊臂装置包括设有旋转电机的机架，在该旋转电机的转轴上设有焊臂连接座，该焊臂连接座四周分别设有焊臂，每个焊臂上设有一个使吸嘴支架上下滑动气缸，该吸嘴支架设有与气源连接的晶圆吸嘴工作时，旋转电机带动焊臂本体转动，再通过调节吸嘴支架与焊臂之间的位置，使晶圆吸嘴准确拾起晶圆。由于焊臂连接座四周均匀分部有四个晶圆吸嘴的焊臂本体。当一个晶圆吸嘴拾起晶圆后只需要转动90度，第二个晶圆吸嘴拾起第二个晶圆进行后续的工艺处理。由于其转动角度小，可以提高焊臂转动的时间，减少晶圆固晶封装的平均时间，提高半导体的封装效率。
固晶机用多焊臂装置

[实用新型]固晶机用多焊臂装置-CN201320683041.6有效
发明人：区大公 -专利权人：深圳市恒睿智达科技有限公司
申请日： 2013-10-25 - 公布日： 2014-04-09 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：本实用新型公开一种固晶机用多焊臂装置，该固晶机用多焊臂装置包括设有旋转电机的机架，在该旋转电机的转轴上设有焊臂连接座，该焊臂连接座四周分别设有焊臂，每个焊臂上设有一个使吸嘴支架上下滑动气缸，该吸嘴支架设有与气源连接的晶圆吸嘴工作时，旋转电机带动焊臂本体转动，再通过调节吸嘴支架与焊臂之间的位置，使晶圆吸嘴准确拾起晶圆。由于焊臂连接座四周均匀分部有四个晶圆吸嘴的焊臂本体。当一个晶圆吸嘴拾起晶圆后只需要转动90度，第二个晶圆吸嘴拾起第二个晶圆进行后续的工艺处理。由于其转动角度小，可以提高焊臂转动的时间，减少晶圆固晶封装的平均时间，提高半导体的封装效率。
固晶机用多焊臂装置

[实用新型]一种晶圆级环境可靠性测试载具及测试机台-CN201720171046.9有效
发明人：辛军启 -专利权人：中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2017-02-24 - 公布日： 2017-09-19 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本实用新型公开一种晶圆级环境可靠性测试载具及测试机台，所述晶圆级环境可靠性测试载具包括一底座、及设置于所述底座上的多个吸嘴；其中，所述底座包括真空腔体，当吸嘴受到的压力大于预定压力时，所述吸嘴处于导通状态，所述吸嘴与所述真空腔体连通；当吸嘴未受到预定压力时，所述吸嘴处于关闭状态；进行晶圆级环境可靠性测试时，至少三个吸嘴处于导通状态构成吸附测试晶圆的吸附面，利用吸附面实现对测试晶圆的吸附固定，提高了测试晶圆放置的稳定性，避免因测试晶圆与载具硬性接触，导致碎片的问题；进一步地，整个载具仅构成吸附面的吸嘴与测试晶圆接触，减少了测试晶圆与载具的接触面积，保证了空气流通性，进而提高了测试的精准度。
一种晶圆级环境可靠性测试机台

[发明专利]晶圆蓝膜取晶固晶装置-CN202011605839.X有效
发明人：向军;封浩;冯霞霞;王金磊 -专利权人：江苏新智达新能源设备有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆蓝膜取晶固晶装置，包括输送轨，所述输送轨上输送有待固晶的料片；安装台，放置有待固晶的晶圆蓝膜；取晶吸嘴，所述取晶吸嘴通过位置调节机构设置在固定的机架上，所述位置调节机构可驱动所述取晶吸嘴在所述安装台和输送轨之间移动，通过设置可在安装台和输送轨之间移动的取料吸嘴，取晶吸嘴能够将所述晶圆蓝膜上的晶圆取出并安装到所述料片，同时通过顶杆来将蓝膜上的晶圆顶推到取晶吸嘴上的方式，提高了取晶效率，降低了单个晶圆的取晶固晶周期，提高了取晶固晶效率。
晶圆蓝膜取晶固晶装置

[实用新型]一种晶圆片吸笔-CN202222585672.6有效
发明人：李险峰 -专利权人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请提供一种晶圆片吸笔，晶圆片吸笔包括吸笔主体、多个吸笔头和把手；吸笔主体设有多个支臂，多个支臂均设有移动槽；多个吸笔头连接于吸笔主体；多个吸笔头可移动地安装于对应的移动槽，并沿移动槽的轴向方向移动；各吸笔头连接有橡胶吸盘吸嘴，橡胶吸盘吸嘴在负压状态下吸附晶圆片；把手连接吸笔主体，并使用者把握，其中，连接于吸笔主体的各支臂的吸笔头在负压状态下吸附晶圆片，并作用于晶圆片的同一表面，多个吸笔头可移动地安装于对应的移动槽，并沿移动槽的轴向方向移动，并且各吸笔头连接有橡胶吸盘吸嘴，橡胶吸盘吸嘴在负压状态下吸附晶圆片，通过橡胶吸盘吸嘴相对于晶圆片弹性抵压，并且实现对于晶圆片的弹性吸附。
一种晶圆片吸笔

[实用新型]一种用于切割机进料手臂的吸料装置-CN201820279791.X有效
发明人：孟强;聂伟;陈志远;吴秋明;王坤 -专利权人：江苏汇成光电有限公司
申请日： 2018-02-28 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了晶圆切割领域内的一种用于切割机进料手臂的吸料装置，包括伸出支架，伸出支架的一端固定连接有吸嘴支架，伸出支架的另一端设有负压发生器，所述吸嘴支架上设有至少两个吸嘴，吸嘴为管状，吸嘴的上端一体设置有螺栓，螺栓与吸嘴同轴，所述吸嘴支架上对应螺栓设有两个螺纹孔，螺栓与吸嘴支架固定连接，所述吸嘴的下端设有开口，吸嘴的侧面经软管与负压发生器相连接。本实用新型能够精确吸取晶圆，然后快速高效地将晶圆搬运到切割机台上，上料效率更高，省时省力。
吸嘴螺栓吸嘴支架切割机支架本实用新型负压发生器进料手臂吸料装置伸出晶圆晶圆切割上料效率一体设置软管螺纹孔上端省时同轴下端省力搬运开口侧面

[实用新型]拾取结构、拾取机构及拾取模块-CN201920373438.2有效
发明人：贺云波;王波;刘青山;刘凤玲;陈桪 -专利权人：广东阿达智能装备有限公司
申请日： 2019-03-22 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：如此，当吸嘴与晶圆抵触时，支撑件则受到挤压力，使得弹性件发生弹性变形，一旦弹性件发生弹性变形时，支撑件则带动吸嘴在安装孔中往回移动，如此，有效避免吸嘴直接与晶圆刚性抵触而导致晶圆发生破碎而损坏。同时，由于支撑件与第一安装座之间设有弹性件，因此，在弹性件的作用下，吸嘴能够与晶圆保持紧密接触状态。当开启吸气设备时，通过吸取通道，使得吸嘴与晶圆之间形成真空，从而使得吸嘴能够安全吸取晶圆。
支撑件晶圆吸嘴弹性件安装孔第一安装座拾取抵触本实用新型弹性移动拾取机构往回移动稳定支撑吸气设备吸取通道限位配合挤压力限位件装入破碎安全

[实用新型]显影装置-CN201420304356.X有效
发明人：伍强;孔德平;郝静安 -专利权人：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2014-06-09 - 公布日： 2014-10-15 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本实用新型提供一种显影装置，所述显影装置至少包括：晶圆基台以及位于晶圆基台上方的清洗盘，所述清洗盘适于在所述晶圆基台上方上下移动；所述清洗盘包括朝向所述晶圆基台的第一表面，所述第一表面上均匀的分布有至少两个喷嘴和至少两个吸嘴，所述喷嘴适于朝所述晶圆基台上搁置的晶圆表面喷洒去离子水，所述吸嘴适于通过抽真空吸取所述晶圆基台上搁置的晶圆表面的液体；所述喷嘴的数量少于吸嘴。本实用新型提供的显影装置进行的清洗过程中，可以用吸嘴吸走多余的去离子水，不需要采用高速旋转的方式甩掉去离子水，避免了高速甩出晶圆表面的去离子水产生静电，以及显影残留物由于旋转经过过多的晶圆表面而造成的可能残留
显影装置

[发明专利]高精度取芯片装置-CN202111445785.X在审
发明人：黄力;翁加林 -专利权人：道晟半导体（苏州）有限公司
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开一种高精度取芯片装置，包括：晶圆、蓝膜和吸嘴，所述蓝膜贴敷于晶圆的背面，所述晶圆进一步包括若干个与蓝膜贴敷的芯片，所述吸嘴位于晶圆与蓝膜相背的上方，所述蓝膜与晶圆相背的下方设置有一用于将芯片往上吹起的气体顶针，此气体顶针与气源之间设置有一用于控制气体顶针吹气的电磁阀；包括以下步骤：步骤一、所述粘贴于蓝膜上晶圆中相应的芯片移动到吸嘴正上方；步骤二、所述吸嘴在电磁阀控制下，从吸嘴吹出气体射向相应的芯片正下方的蓝膜区域
高精度芯片装置

[实用新型]一种盒装晶圆吸附分拣结构-CN202122155459.7有效
发明人：忻超 -专利权人：宁波轻蜓视觉科技有限公司
申请日： 2021-09-07 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： B65G49/07 文献下载
摘要：本实用新型公开一种盒装晶圆吸附分拣结构，包括吸嘴浮动头，所述吸嘴浮动头包括横板和竖板，所述竖板上固定有第一直线导轨，所述第一直线导轨的滑块上固定有吸嘴固定板，所述吸嘴固定板上固定有第一限位板，所述第一直线导轨的顶部固定有与第一限位板配合的第二限位板，所述第一限位板位于横板和第二限位板之间；所述吸嘴固定板上固定有吸嘴。本实用新型结构简单，由于第一限位板和第二限位板的配合设置，能够防止直线导轨损坏，吸嘴直接砸穿晶圆的情况发生；增加第一缓冲装置和第二缓冲装置能够防止吸嘴在取晶圆的时候增加一定的缓冲力，保护晶圆不在搬运时损坏
一种盒装吸附分拣结构

[发明专利]固晶机及其拾取键合装置-CN201710321809.8在审
发明人：高健;周凯鹏;陈新;陈云;贺云波;杨海东 -专利权人：广东工业大学;佛山市南海区广工大数控装备协同创新研究院
申请日： 2017-05-09 - 公布日： 2017-07-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种固晶机的拾取键合装置，包括驱动轴和固晶臂，固晶臂的另一端设置有能够吸取晶圆的吸取装置，吸取装置包括安装于固晶臂另一端的转盘、驱动转盘转动的驱动装置和安装于转盘的多个吸嘴，多个吸嘴围绕转盘的旋转轴线依次排列，且多个吸嘴的开口均沿转盘端面的半径向外设置，驱动装置能够驱动转盘转动以使多个吸嘴的开口依次竖直向下，且吸嘴的开口竖直向下时吸取或键合晶圆。在吸取和键合的过程中，通过旋转转盘，一次可吸取或键合多个晶圆，固晶臂摆动一次和静置消除振动的时间基本不变，但在一个固晶周期内能够完成多个晶圆的吸取和键合，提高工作效率。本发明还公开了一种包括上述拾取键合装置的固晶机。
固晶机及其拾取装置

[发明专利]晶圆关联数据管理方法及晶圆关联数据生成装置-CN201280056564.6有效
发明人：保坂英希 -专利权人：富士机械制造株式会社
申请日： 2012-10-30 - 公布日： 2014-07-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：晶圆关联数据生成装置(47)具备对晶圆托盘(32)进行固定的固定台、对固定于该固定台的晶圆托盘的切割片(34)上的晶粒(31)进行吸附的测试用吸嘴(51)、将切割片中的要由测试用吸嘴吸附的晶粒的粘贴部分顶出的测试用顶出销(53)及对切割片上的晶粒进行拍摄的测试用相机(54)，使用该晶圆关联数据生成装置(47)，将作为晶圆关联数据的生成对象的晶圆托盘固定于晶圆关联数据生成装置的固定台，执行由测试用相机拍摄的图像的处理、测试用顶出销的顶出动作及测试用吸嘴的晶粒吸附动作而生成晶圆关联数据
关联数据管理方法数据生成装置

[发明专利]一种双漩涡式晶圆吸嘴组件-CN201810789649.4有效
发明人：王强;宋帅迪;陈云;顾贤 -专利权人：南通大学;南通斯迈尔精密设备有限公司
申请日： 2018-07-18 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本发明揭示了一种双漩涡式晶圆吸嘴组件，包括堵气块以及吸嘴帽，其中堵气块上表面设有呈双漩涡式分布的堵气板，且堵气板的高度由中心向外逐步增大，所述吸嘴帽表面开设有与堵气板位置及尺寸对应的双漩涡式吸气槽口，且侧壁上开设有吸气口连接抽真空设备，吸嘴帽套装在堵气块上方与吸嘴之间形成负压腔，且堵气块可沿吸嘴帽上下移动使得外围堵气板逐步卡入或脱离吸气槽口，以调节吸嘴帽表面吸附尺寸，适应不同直径的晶圆吸附。本发明采用双漩涡式吸气嘴分布结构，随着堵气板的伸出逐步减小吸附面大小，来适应不同尺寸的晶圆吸附。
一种漩涡式晶圆吸嘴组件

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