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[发明专利]多轴传感器及其制作方法、差分的传感器系统-CN201210020324.2有效
发明人：柳连俊 -专利权人：迈尔森电子(天津)有限公司
申请日： 2012-01-29 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明提供一种多轴传感器，包括：衬底；固定于衬底之上的质量块支撑；第一传感器的第一惯性质量块以及第二传感器的第二惯性质量块位于衬底之上且与衬底分隔开，所述第一惯性质量块包围第二惯性质量块且与第二惯性质量块间具有间隔；所述质量块支撑位于所述间隔内；所述第一惯性质量块通过第一弹性结构连接至所述质量块支撑，所述第二惯性质量块通过第二弹性结构连接至所述质量块支撑。通过各自的弹性结构连接到共同的质量块支撑上，减少了质量块支撑的分布和设计，有利于简化与其他连线层电连接，减小了连线布局的面积，同时，质量块支撑可以使第一惯性质量块和第二惯性质量块在机械上实现隔离，保证了各自独立移动
传感器及其制作方法系统

[发明专利]跨行程精密定位操作台-CN201410276572.2有效
发明人：汝长海;庞明;王勇;孟占凯 -专利权人：哈尔滨工程大学
申请日： 2014-06-19 - 公布日： 2014-10-01 - 主分类号： H02N2/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种跨行程精密定位操作台，包括用于驱动的压电陶瓷，其特征在于：还包括固定基座、滑台，压电陶瓷、惯性质量块设置于固定基座上，压电陶瓷和惯性质量块相连，压电陶瓷可推动惯性质量块水平移动；惯性质量块上方设有凸轮，惯性质量块可粘滑驱动凸轮转动，惯性质量块顶面相应涂有摩擦陶瓷；滑台内开有形封闭槽，凸轮位于形封闭槽内，凸轮可带动滑台相对固定基座滑动。
行程精密定位操作台

[实用新型]跨行程精密定位操作台-CN201420329873.2有效
发明人：汝长海;庞明;王勇 -专利权人：哈尔滨工程大学
申请日： 2014-06-19 - 公布日： 2014-10-22 - 主分类号： H02N2/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种跨行程精密定位操作台，包括用于驱动的压电陶瓷，其特征在于：还包括固定基座、滑台，压电陶瓷、惯性质量块设置于固定基座上，压电陶瓷和惯性质量块相连，压电陶瓷可推动惯性质量块水平移动；惯性质量块上方设有凸轮，惯性质量块可粘滑驱动凸轮转动，惯性质量块顶面相应涂有摩擦陶瓷；滑台内开有形封闭槽，凸轮位于形封闭槽内，凸轮可带动滑台相对固定基座滑动。
行程精密定位操作台

[发明专利]具有高耐粘滞性的MEMS惯性传感器-CN202010570953.7有效
发明人： G·加特瑞;F·里奇尼;A·托齐奥 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2020-06-19 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及具有高耐粘滞性的MEMS惯性传感器。一种惯性结构通过第一弹性结构弹性耦合到支撑结构，从而根据待检测量沿着感测轴线移动。惯性结构包括第一惯性质量块和第二惯性质量块，第一惯性质量块和第二惯性质量块由第二弹性结构弹性耦合在一起，以使得第二惯性质量块能够沿着感测轴线移动。第一弹性结构具有比第二弹性结构的弹性常数低的弹性常数，从而使得在存在待检测量的情况下，惯性结构在感测方向上移动，直到第一惯性质量块抵靠在停止结构为止，并且第二弹性质量还可以在感测方向上移动。一旦结束检测量，第二惯性质量块就在与感测方向相对的方向上移动，并且使第一惯性质量块从停止结构分离。
具有高耐粘滞性 mems 惯性传感器

[实用新型]MEMS惯性传感器和电子设备-CN202021159685.1有效
发明人： G·加特瑞;F·里奇尼;A·托齐奥 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2020-06-19 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及MEMS惯性传感器和电子设备。一种惯性结构通过第一弹性结构弹性耦合到支撑结构，从而根据待检测量沿着感测轴线移动。惯性结构包括第一惯性质量块和第二惯性质量块，第一惯性质量块和第二惯性质量块由第二弹性结构弹性耦合在一起，以使得第二惯性质量块能够沿着感测轴线移动。第一弹性结构具有比第二弹性结构的弹性常数低的弹性常数，从而使得在存在待检测量的情况下，惯性结构在感测方向上移动，直到第一惯性质量块抵靠在停止结构为止，并且第二弹性质量还可以在感测方向上移动。一旦检测量终止，第二惯性质量块就在与感测方向相对的方向上移动，并且使第一惯性质量块从停止结构分离。
mems 惯性传感器电子设备

[发明专利]一种桥梁激振器-CN202211189537.8有效
发明人：汪正兴;柴小鹏;荆国强;王波;肖龙;吴肖波;马长飞;李亚敏;戴青年;贾晓龙;董飞;黄启文;尹康;董京礼;曹冠军;王鼎鑫 -专利权人：中铁大桥局集团有限公司;中铁大桥科学研究院有限公司
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： G01M7/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种桥梁激振器，用于桥梁阻尼比测试，其包括：固定箱，所述固定箱包括顶板，所述顶板安装有作动器；惯性质量块，其位于所述固定箱内，所述惯性质量块通过第一弹簧与所述作动器连接，且所述惯性质量块通过第二弹簧与所述顶板连接，所述第二弹簧用于承担所述惯性质量块的自重。本发明涉及的一种桥梁激振器，在作动器的振动激励下，惯性质量块可以与作动器发生共振，使惯性质量块的振幅被放大，而桥梁的主梁与惯性质量块的振幅成正比，因此，采用本桥梁激振器可以实现常规行程作动器激起主梁大振幅
一种桥梁激振器

[发明专利]低功率加速计-CN201780023102.7有效
发明人：尼古拉斯·皮埃尔·德洛尔姆;丹尼尔·萨亚斯 -专利权人：尼古拉斯·皮埃尔·德洛尔姆;丹尼尔·萨亚斯
申请日： 2017-04-05 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： G01P15/135 文献下载
摘要：本发明涉及一种加速计，它包括能沿着测量轴线(AB)移动的多个惯性质量块(M1‑M4)；刚性地附装到每个惯性质量块的相应的弹簧(K1‑K4)，所述弹簧构造成沿着测量轴线在惯性质量块上施加弹性回复力；与每个惯性质量块相关联的固定的止动件(S1‑S4)，该止动件布置成在沿着测量轴线的加速度增加一个步长时拦截惯性质量块；与每个止动件相关联的电触点，该电触点构造成在相关联的惯性质量块到达止动件时闭合。这些惯性质量块通过弹簧沿着测量轴线相对于彼此串联地悬挂，这些止动件布置成连续地拦截相应的惯性质量块，以增加加速度阈值。
功率加速

[实用新型]汽车驱动轴减振器-CN201820616116.1有效
发明人：孙利飞;钱建功;范文来;蔡志林;王道玉;丁盛 -专利权人：奇瑞汽车股份有限公司
申请日： 2018-04-27 - 公布日： 2018-12-14 - 主分类号： B60K17/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种汽车驱动轴减振器，包括具有弹性且用于套设于驱动轴上的弹性储能体和设置于弹性储能体内部的惯性质量块，惯性质量块设置多个且所有惯性质量块在弹性储能体内部为沿周向分布，惯性质量块的数量和/本实用新型的汽车驱动轴减振器，通过设置弹性储能体和惯性质量块相配合，并通过增减惯性质量块的数量，可以快速实现减振器质量和频率的调整，达到提高工作效率及降低成本的目的。
惯性质量块弹性储能减振器汽车驱动轴本实用新型体内部工作效率周向分布周向位置可调节驱动轴配合

[发明专利]用于微机电陀螺仪的正交补偿方法和陀螺仪传感器-CN201580067231.7有效
发明人： G.安德森;E.斯文松;B.斯托夫;N.赫登斯蒂尔纳 -专利权人：赖斯阿克里奥公司
申请日： 2015-12-17 - 公布日： 2021-01-12 - 主分类号： G01C19/5712 文献下载
摘要：陀螺仪传感器包括总惯性质量块(105)，总惯性质量块包括被物理附接到彼此的第一惯性质量块(106)和第二惯性质量块(108)，并且被布置成使得当陀螺仪传感器经受绕灵敏度轴线的旋转时，由科里奥利力引起第一惯性质量块绕检测轴线的旋转陀螺仪进一步包括具有可移位的驱动框架的第一驱动结构，可移位的驱动框架可以使相应的第一惯性质量块或第二惯性质量块绕检测轴线旋转，以便补偿源自陀螺仪传感器的驱动模式和感测模式之间的错误联接导致的正交误差。
用于微机陀螺仪正交补偿方法传感器

[发明专利]一种摆式惯质调谐质量电涡流阻尼器-CN202111111111.6有效
发明人：王小帅;张弘毅;陈谨林;高贺朋 -专利权人：湖南省潇振工程科技有限公司
申请日： 2021-09-18 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： E04B1/98 文献下载
摘要：本发明涉及阻尼器领域，具体涉及一种摆式惯质调谐质量电涡流阻尼器，包括摆杆、单摆质量块、惯性质量块、支撑装置以及导体板；摆杆的一端与待减振结构转动连接，摆杆的另一端与单摆质量块转动连接，惯性质量块滑动连接于单摆质量块单元的下方；支撑装置位于惯性质量块下方，支撑装置用于支撑惯性质量块，导体板设置于支撑装置下方；支撑装置于惯性质量块能够在导体板上水平移动，惯性质量块朝向导体板的一侧还设置有第一磁钢，第一磁钢与导体板之间具有间隙。采用上述的摆式惯质调谐质量电涡流阻尼器，能够实现在阻尼器频率不变的情况下，通过增加惯性质量块的质量而减小阻尼器的摆长，使阻尼器能够适用于安装空间有限的结构中。
一种摆式调谐质量涡流阻尼

[发明专利]一种带耦合梁结构的单敏感质量元硅微二维加速度传感器-CN201110341472.X无效
发明人：刘妤;杨红韵;邓国红;徐睿 -专利权人：重庆理工大学
申请日： 2011-11-02 - 公布日： 2012-06-20 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种带耦合梁结构的单敏感质量元硅微二维加速度传感器，包括基底、固定支撑、惯性质量块和梳齿电容结构；惯性质量块为矩形结构，悬空设在基底的中部上方；惯性质量块的四侧分别设有梳齿电容结构，四个梳齿电容结构相对于惯性质量块对称分布；惯性质量块左侧和右侧的可动梳齿分别与对应侧的固定梳齿构成电容器Cx1和Cx2；惯性质量块后侧和前侧的可动梳齿分别与对应侧的固定梳齿构成电容器Cy1和Cy2。该传感器整体呈对称微结构，确保在两个检测方向的灵敏度一致；通过耦合梁连接惯性质量块与梳齿电容结构的齿枢，在实现单敏感质量元敏感X、Y两个方向加速度并完成差分电容检测的同时，能有效抑制交叉干扰。
一种耦合结构敏感质量元硅微二维加速度传感器

[发明专利]高抗静摩擦现象的MEMS惯性传感器-CN202110276918.9在审
发明人： F·里奇尼;G·加特瑞;S·泽比尼 -专利权人：意法半导体股份有限公司
申请日： 2021-03-15 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：公开了一种高抗静摩擦现象的MEMS惯性传感器。MEMS惯性传感器包括支撑结构和惯性结构。惯性结构包括至少一个惯性质量块、弹性结构和止动结构。弹性结构机械地耦合到惯性质量块和支撑结构以使得当支撑结构受到平行于第一方向的加速度时，惯性质量块能够在平行于第一方向的方向上运动。如果加速度超过第一阈值，则惯性质量块紧靠主止动元件，并且随后围绕由主止动元件限定的旋转轴旋转。如果加速度超过第二阈值，则当惯性质量块紧靠次止动元件时，惯性质量块的旋转终止。
静摩擦现象 mems 惯性传感器

[发明专利]具有沿转动方向振荡的惯性质量块的角速度探测器-CN200510120460.9无效
发明人：樋口祐史 -专利权人：株式会社电装
申请日： 2005-11-10 - 公布日： 2006-06-07 - 主分类号： G01P9/04 文献下载
摘要：一种角速度探测(100)包括通过驱动梁(40)支承在基体(10)上的盘状惯性质量块(30)和通过探测梁(50)连接在惯性质量块上的第二质量块(32)。惯性质量块(30)由静电力驱动沿其绕中心轴(z)的转动方向振荡。当惯性质量块(30)在振荡时，同时绕与中心轴(z)垂直的探测轴(x)的角速度(Ωx)施加在第二质量块(32)上时，第二质量块(32)沿平行于中心轴(z)的方向位移。第二质量块(32)与基体(10)之间的电容随着第二质量块的位移而变化。基于电容的变化而探测角速度(Ωx)。因为驱动梁(40)允许惯性质量块(30)仅沿其转动方向振荡，可以容易地设计和制造驱动梁(40)。
具有转动方向振荡惯性质量角速度探测器

[发明专利]一种基于柔性铰链的光纤光栅高频加速度传感器-CN201410232241.9有效
发明人：戴玉堂;李治勇;徐刚 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2014-05-28 - 公布日： 2014-08-13 - 主分类号： G01P15/03 文献下载
摘要：一种基于柔性铰链的光纤光栅高频加速度传感器，由复合基体、光纤和传感器外壳构成，复合基体固定安装在传感器外壳内部、由底座、两各柔性铰链和两个惯性质量块组成，两个惯性质量块分别通过柔性铰链与底座连接、连接处两侧分别开设有水平切口，两惯性质量块之间的垂向开设有一竖直切口；光纤穿过传感器外壳两侧并置于两个惯性质量块上方设置的对称光纤沟槽内，两个光纤沟槽之间的光纤处设置有布拉格光栅，布拉格光栅设于两惯性质量块之间居中位置的凹槽处，位于光纤沟槽内的光纤通过胶黏剂粘连固定于惯性质量块上本发明传感器芯体结构一体化、安装方便；两个惯性质量块左右对称、使受到惯性力的光纤光栅拉伸应变倍增，大幅提高传感器灵敏度。
一种基于柔性铰链光纤光栅高频加速度传感器

[发明专利]一体式直圆型柔性铰链光纤光栅加速度传感器-CN201710054036.1在审
发明人：梁磊;李东旭;仇磊;徐刚;吴慧峰;张健;曹珊;王慧;涂彬;冯坤;段细云 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2017-01-24 - 公布日： 2017-06-09 - 主分类号： G01P15/03 文献下载
摘要：本发明公开了一体式直圆型柔性铰链光纤光栅加速度传感器，包括传感器芯体和光纤构成，传感器芯体由基座、两个柔性铰链和两个惯性质量块构成，两个惯性质量块和两个柔性铰链对称分布在传感器芯体两侧，惯性质量块通过柔性铰链与基座连接，两个惯性质量块顶部有光纤沟槽，光纤穿过两个惯性质量块的光纤沟槽，从两边壳体的孔中出来，光纤在两个惯性质量块中间设有光纤光栅，柔性铰链为直圆型柔性铰链，两个惯性质量块绕着柔性铰链发生相对位移，从而使光纤光栅产生应变
体式圆型柔性铰链光纤光栅加速度传感器

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