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[发明专利]基于3D扫描技术的制品检测及智能注塑生产方法及系统-CN202310864377.0在审
发明人：周胜武;张绍仲;胡泽波;陈南山;黄嘉浩;黄衍涵;张亚军;金志明;何佳东;武明生 -专利权人：广东力劲塑机智造股份有限公司
申请日： 2023-07-14 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： B29C45/76 文献下载
摘要：本申请涉及基于3D扫描技术的制品检测及智能注塑生产方法及系统，方法包括：设计制品要求参数，并获取注塑成型工艺；根据注塑成型工艺进行注塑生产，得到制品；对制品进行全方位扫描得到点云数据，基于点云数据生成实体模型；确定实体模型的参数与制品要求参数之间的误差值；根据误差值确定是否优化注塑成型工艺，当误差值超过设定误差范围时，基于误差值优化注塑成型工艺，并根据优化后的注塑成型工艺进行注塑生产；当误差值未超过设定误差范围时，保留当前的注塑成型工艺进行注塑生产。该方法提升了制品检测效率，缩短了工艺调整时间，提高了注塑生产效率和自动化水平。
基于扫描技术制品检测智能注塑生产方法系统

[发明专利]一种基于粒子群算法的弧面凸轮机械加工工艺系统误差溯源方法-CN201410344241.8有效
发明人：要义勇;王旭;赵丽萍 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2014-07-18 - 公布日： 2017-06-06 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于粒子群算法的弧面凸轮机械加工工艺系统误差溯源方法(1)对范成法加工过程中的工艺系统误差传递过程进行分析，基于空间坐标变换方法建立工艺系统误差到弧面凸轮分度曲线的误差传递模型；(2)基于粒子群算法建立了一种基于最小二乘的适应度函数模型；(3)获取弧面凸轮的实际分度曲线作为测试样本，根据工艺系统误差传递模型由粒子群算法计算误差源偏差值，并通过多次计算来补偿系统随机误差，本发明可以对加工过程中的原始工艺系统误差进行识别，对识别的工艺系统误差进行补偿即可大大提高弧面凸轮的加工精度和加工质量
一种基于粒子算法凸轮机械加工工艺系统误差溯源方法

[发明专利]具有工艺误差补偿的数模混合信号环路压控振荡器-CN200510011294.9有效
发明人：邝小飞;吴南健 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2005-02-03 - 公布日： 2006-08-09 - 主分类号： H03B5/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有工艺误差补偿的数模混合信号环路压控振荡器，由连接成环状的多个带工艺误差补偿的延迟单元和数模混合信号控制电路两部分构成，或者是由连接成环状的多个普通延迟单元和带工艺误差补偿的数模混合信号控制电路两部分构成在由连接成环状的若干个带工艺误差补偿的延迟单元和数模混合信号控制电路构成的压控振荡器中，其延迟单元是在普通的差分反相器的基础上，在其负载管上并联一个或多个MOS管，用于工艺误差补偿。在由连接成环状的多个普通延迟单元和带工艺误差补偿的数模混合信号控制电路构成的压控振荡器中，其延迟单元是普通的差分反相器，而数模混合控制电路具有一个或多个由工艺误差补偿端控制的恒流源构成。
具有工艺误差补偿数模混合信号环路压控振荡器

[发明专利]一种提高滚齿加工精度的方法-CN201710437560.7在审
发明人：韩江;夏链;袁彬;朱永刚;吴路路 -专利权人：合肥工业大学
申请日： 2017-06-09 - 公布日： 2017-12-15 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：操作步骤如下1.针对被加工齿轮的滚齿工艺，提取影响齿轮加工精度的滚齿工艺参数，设计滚齿工艺参数组合，进行滚齿加工实验，获得被加工齿轮的齿面轮廓误差指标；2.根据滚齿工艺参数组合和被加工齿轮的齿面轮廓误差指标通过响应曲面非线性拟合法构建齿面轮廓误差数学模型；3.基于各齿面轮廓误差指标所对应的预期加工精度值，对各齿面轮廓误差模型施加权重比值，构建齿面综合轮廓误差数学模型；4.基于遗传算法，优化滚齿工艺参数，得到最优化滚齿工艺参数。本发明提升了滚齿的加工精度，为实际滚齿工艺参数选择和齿轮精度提升提供了理论依据。
一种提高加工精度方法

[发明专利]误差标定工艺生成方法及系统-CN202310082015.6有效
发明人：赵爱武;单铁华;赵圆;董洁;石伟 -专利权人：中国船舶集团有限公司第七〇七研究所
申请日： 2023-02-08 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G01C25/00 文献下载
摘要：本发明涉及惯性导航领域，公开了一种误差标定工艺生成方法及系统，用于提高对捷联惯导进行误差标定时的效率。方法包括：对安装在目标载体中机械臂上的捷联惯导进行误差标定，得到误差标定数据集合；对所述捷联惯导进行精度参数标定，得到参数标定数据集合；对所述误差标定数据集合及所述参数标定数据集合进行关联关系分析，确定数据关联关系；通过所述数据关联关系进行流程顺序分析，得到多个流程排序结果；基于所述多个流程排序结果进行误差标定工艺生成，确定多个误差标定工艺。
误差标定工艺生成方法系统

[发明专利]改进的光刻方法-CN202010302191.2在审
发明人：田范焕;梁时元;贺晓彬;杨涛;李俊峰;王文武 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2020-04-16 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种改进的光刻方法，所述方法包括：提供一光掩模板；测量所述光掩模板上光刻标记的放置误差；根据所述放置误差执行光刻工艺的校准流程。本申请通过测量光刻标记在光掩模板上的放置误差，并将放置误差应用到后续使用光掩模板的光刻工艺流程中的校准流程，以提高光刻工艺流程中的校准准确性。执行光刻工艺的校准流程。
改进光刻方法

[发明专利]晶圆生产监控方法、系统与电子设备-CN202110761390.4有效
发明人：宋文康 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-07-06 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：晶圆生产监控方法包括：在生产晶圆经过多个工艺站点到达光刻工艺站点后，获取所述生产晶圆当前层与参考层的多个套刻误差；将所述多个套刻误差满足预设条件的所述生产晶圆标记为待检晶圆；在所述待检晶圆的数量达到第一预设值时，根据每个所述生产晶圆中的所述多个套刻误差的特征确定待检工艺站点，所述待检工艺站点为对全部所述生产晶圆的套刻误差特征影响最大的工艺站点；根据所述待检工艺站点中的多个机台与所述待检晶圆的对应关系在所述待检工艺站点中确定待检机台本公开实施例可以自动定位导致套刻误差超出工艺标准的机台。
生产监控方法系统电子设备

[发明专利]一种提高内齿珩轮强力珩齿加工精度的方法-CN201710434283.4有效
发明人：夏链;韩江;袁彬;王东岭;孙超鸿;陈鹏 -专利权人：合肥工业大学
申请日： 2017-06-09 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： B23F19/05 文献下载
摘要：操作步骤如下：1.针对被加工齿轮的内齿珩轮强力珩齿工艺，提取影响齿轮加工精度的珩齿工艺参数，设计珩齿工艺参数组合，进行珩齿加工实验，获得被加工齿轮的齿面轮廓误差指标；2.根据珩齿工艺参数组合和被加工齿轮的齿面轮廓误差指标通过响应曲面非线性拟合法构建齿面轮廓误差数学模型；3.基于各齿面轮廓误差指标所对应的预期加工精度值，对各齿面轮廓误差模型施加权重比值，构建齿面综合轮廓误差数学模型；4.基于人工免疫克隆选择算法，优化珩齿工艺参数，得到最优化珩齿工艺参数。本发明提升了内齿珩轮强力珩齿的加工精度，为实际内齿珩轮强力珩齿工艺参数选择和齿轮精度提升提供了理论依据。
珩齿工艺齿面轮廓内齿珩轮齿轮误差指标珩齿加工加工参数组合构建克隆选择算法误差数学模型参数选择精度提升轮廓误差人工免疫数学模型误差模型影响齿轮拟合法最优化齿面权重珩齿施加响应优化

[发明专利]一种薄膜沉积工艺仿真模型参数优化方法及装置-CN202211728408.1在审
发明人：邵花;韦亚一 -专利权人：广东省大湾区集成电路与系统应用研究院
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本申请提供一种薄膜沉积工艺仿真模型参数优化方法及装置，通过工艺仿真模型，基于将初始衬底轮廓信息、沉积工艺条件和初始半经验系数进行仿真，得到仿真膜层的仿真轮廓信息，初始衬底轮廓为初始结构的表面轮廓信息，根据仿真轮廓信息和实际轮廓信息可以确定仿真预测误差，实际轮廓信息为针对初始结构经过该沉积工艺条件进行沉积之后得到的实际膜层的轮廓信息，以降低仿真预测误差为目的，调整初始半经验参数，在仿真预测误差达到预设误差值时，初始半经验参数被调整为优化半经验参数，提高了参数确定的效率利用工艺仿真模型，基于优化半经验参数、初始衬底轮廓信息和沉积工艺条件进行沉积工艺仿真，准确模拟实际沉积工艺，利于辅助工艺开发。
一种薄膜沉积工艺仿真模型参数优化方法装置

[发明专利]一种基于精度控制的钣金件快速开发系统-CN201510037280.8有效
发明人：李哲浩 -专利权人：卡梅德生物科技（天津）有限公司
申请日： 2015-01-24 - 公布日： 2018-11-20 - 主分类号： G05B19/4097 文献下载
摘要：一种基于精度控制的钣金件快速开发系统，三维模型库主要由展开模型库、非展开模型库、钣金优化库和工程计算器组成，而工艺设计主要包括相似工艺和新工艺，新工艺里又包括数控设备工艺和普通设备工艺；后台可扩展系统包括工艺后处理系统和扩展接口再设计误差修正系统主要包括误差对照系统和误差修正系统，仿真分析误差系统包括静态分析系统和动态分析系统；在设备操作系统中中控制着机床类设备、模具类设备、夹具类设备、刀具类设备和量具类设备。数字化开发是产品快速开发过程中的一项重要内容，逆向误差修正是数字化开发领域中的前沿技术，精度控制是逆向产品数字化开发全过程中的关键问题。
一种基于精度控制钣金件快速开发系统

[发明专利]有机聚合物等离子刻蚀工艺误差对器件影响的补偿方法-CN201310694011.X有效
发明人：秦政坤;王国峰;汪玉海;宋明星 -专利权人：吉林师范大学
申请日： 2014-01-21 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： G02B6/136 文献下载
摘要：一种有机聚合物等离子刻蚀工艺误差对器件影响的补偿方法：采用微扰分析方法对来自理论设计的版图与制作后的样品之间的误差通过优化设计和调整工艺条件进行修正，消除理论设计的版图与制作后的样品之间的误差。本发明对于改进聚合物电光材料的工艺过程、提高工艺水平，制备高性能、低成本的聚合物光电子器件开辟了一条新路。可广泛作为聚合物等离子刻蚀过程引起的工艺误差对器件性能的影响的纠正方法。
等离子刻蚀工艺有机聚合物理论设计聚合物聚合物电光材料等离子刻蚀光电子器件制备高性能工艺过程工艺水平工艺条件工艺误差器件性能优化设计低成本微扰制作修正纠正改进分析

[发明专利]套刻精度的控制方法和装置-CN200710094528.X有效
发明人：杨晓松 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2007-12-13 - 公布日： 2009-06-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种套刻精度的控制方法和装置，所述套刻精度的控制方法包括：获取前层光刻工艺的光刻工艺条件；根据前层光刻工艺的光刻工艺条件计算工艺过程引入的误差，并根据前层光刻工艺的光刻工艺条件、计算所得的工艺过程引入的误差计算当层曝光机台的工艺补偿值；根据计算得到的当层曝光机台的工艺补偿值，控制当层曝光机台进行光刻工艺。所述套刻精度的控制方法和装置可以减小晶圆的层与层的光刻图形的位置对准误差，从而精确地控制套刻精度。
精度控制方法装置

[发明专利]用于控制纤维幅材的制造或整饰工艺的方法及系统-CN200780044417.6有效
发明人：佩卡·皮霍拉 -专利权人：美卓造纸机械公司
申请日： 2007-11-28 - 公布日： 2009-09-23 - 主分类号： D21G9/00 文献下载
摘要：一种用于在工艺的转换阶段控制纤维幅材的制造或整饰工艺的方法及系统。在所述方法中，通过误差分布(P_D)形成校正后的误差分布(P_Dk’)。通过校正后的误差分布(P_Dk’)，确定用于纤维幅材的制造或整饰工艺的致动器(6)的至少一个控制信号(CA_k)。
用于控制纤维制造整饰工艺方法系统

[发明专利]一种卧式加工中心工艺信息的热误差感知方法-CN201910289324.4有效
发明人：马雪奇;张冠伟;张大卫;孔德帅 -专利权人：天津大学
申请日： 2019-04-11 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G06F30/23 文献下载
摘要：本发明公开一种卧式加工中心工艺信息的热误差感知方法，包括步骤一：建立卧式加工中心各功能结构部件的三维模型；步骤二：对三维模型进行温度场及变形场的有限元仿真；步骤三：建立卧式加工中心在不同工况下的热误差映射模型；步骤四：提取卧式加工中心加工过程中的工艺信息，基于热误差映射模型计算卧式加工中心末端热误差，建立工艺信息与卧式加工中心末端热误差之间的联系。本发明采用了热误差映射模型，相比较其他模型，热误差对卧式加工中心误差的贡献更大，更有利于感知机床的误差值。在热误差映射模型建立的过程中，采用生热模型来作为热载荷添加到有限元模型上，相比较直接将温度作为热载荷，更有利于所建立模型的准确性。
一种卧式加工中心工艺信息误差感知方法

[发明专利]一种基于人工神经网络的热喷涂方法及系统-CN201811107641.1在审
发明人：贾鹏 -专利权人：北京联合涂层技术有限公司
申请日： 2018-09-21 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： C23C4/123 文献下载
摘要：该方法包括：获取训练好的人工神经网络模型；获取预设工艺参数；所述工艺参数为反映热喷涂工艺的技术指标的参数；所述预设工艺参数包括：喷喷涂设备的电流大小、氦气流量、氩气流量、载气流量、转盘角度、送粉针角度以及送粉距离；根据所述预设工艺参数，通过所述训练好的人工神经网络模型预测效果参数；判断所述效果参数与预设效果参数的误差是否在第一误差阈值范围内；若是，根据所述预设工艺参数进行喷涂；若否，更新所述预设工艺参数，使所述效果参数与预设效果参数的误差在第一误差阈值范围内本发明能够减少热喷涂行业中的人为地摸索工艺参数的时间，提高工作效率，达到更好的喷涂效果。
预设效果参数热喷涂人工神经网络模型人工神经网络送粉热喷涂工艺工作效率技术指标喷涂设备喷涂效果载气流量氩气流量氦气流人为地喷涂转盘更新预测

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