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[发明专利]操作工艺控制系统的方法及工艺控制系统-CN201810759285.5有效
发明人： S·莱恩斯;R·J·小戴尼奥;顾志勇;陈宏 -专利权人：真实仪器公司
申请日： 2018-07-11 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种操作工艺控制系统的方法及一种工艺控制系统。在一个实施例中，所述工艺控制系统包含：(1)光学传感器，其经配置以监测工艺室内的生产工艺且依据所述生产工艺而产生光学数据；(2)操作控制器，其经配置以执行关键功能以依据所述光学数据确定所述生产工艺的处理状况，其中所述关键功能是由关键功能控件引导；(3)可适应性管理控制器，其经配置以将所述关键功能控件提供到所述操作控制器，其中在所述关键功能期间，所述可适应性管理控制器与所述操作控制器被分级隔离。
操作工艺控制系统方法

[发明专利]基于工艺介质多温度目标的循环冷却水最小压差节能控制系统及方法-CN201910251616.9有效
发明人：李昌春;左为恒;宋璐璐 -专利权人：重庆大学
申请日： 2019-03-29 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： G05B13/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于工艺介质多温度目标的循环冷却水最小压差节能控制系统，包括循环冷却水系统和控制节能系统；控制节能系统包括工艺介质温度最不利点选择器、工艺介质温度控制器和给回水压差内环PID控制器；工艺介质温度最不利点选择器用于选择工艺介质温度最不利点；工艺介质温度控制器用于获取冷却给回水压差设定值；给回水压差内环PID控制器用于控制所有上塔阀的开度和给水泵机组的出口水流量。有益效果：使循环冷却水不需手工调节就能根据工业现场工艺介质降温需求自动改变循环冷却水冷却供给量，提高循环冷却水系统能源利用率，实现节能控制。
基于工艺介质温度目标循环冷却水最小节能控制系统方法

[发明专利]机械设备的控制学习方法及其具备学习功能的服务器系统-CN201811642219.6在审
发明人：张冶;李松洋;王杰高 -专利权人：南京埃斯顿机器人工程有限公司
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： B25J9/16 文献下载
摘要：机械设备的控制学习方法及其具备学习功能的服务器系统，对机械设备设置学习服务器、机械控制部、驱动部、示教系统和传感器，在机械控制部中构造学习分析部，在机械设备学习过程中，对动作的工艺信息及学习修正量进行分段整理分析，整合工艺价值数据，并将整理后的工艺价值数据保存至学习服务器中。本发明通过记录机械设备的工艺价值信息，对新的加工工艺进行分析，并根据分析结果从学习服务器获取学习修正量，无需再使用传感器对加工工艺进行重新学习，本发明机械设备学习控制针对加工工艺进行的优化控制，包括机械设备的动作控制和工艺过程控制
机械设备学习服务器服务器系统机械控制价值数据学习功能学习修正量传感器工艺过程控制动作控制工艺信息价值信息示教系统学习过程学习控制优化控制分析再使用整合分段驱动保存记录

[发明专利]一种中频电炉节能熔炼控制系统及控制方法-CN201710969300.4在审
发明人：汪德发;张联合;徐超;汤新明;余方有;赵文定 -专利权人：宁国市开源电力耐磨材料有限公司
申请日： 2017-10-18 - 公布日： 2018-03-06 - 主分类号： F27B14/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种中频电炉节能熔炼控制系统及控制方法，包括熔炼工艺数据采集模块和熔炼工艺智能化控制模块，熔炼工艺数据采集模块包括中频电炉、电压电流互感器、电度表、采集终端、接收终端、服务器和PC查询显示端，实现指标数据的采集、存储、传输、显示；熔炼工艺智能化控制模块进行指标数据的识别、分析、处理，实现数据的管理与应用。本发明的中频电炉节能熔炼控制系统及控制方法，通过对熔炼工艺的数字化、熔炼工艺数据实时采集及分析智能化控制，对原料、设备、工艺全面掌控规范生产，节约能源，降低能耗。
一种中频电炉节能熔炼控制系统控制方法

[发明专利]一种复合热板单元结构-CN202211470830.1在审
发明人：王阳;魏猛;赵希晨 -专利权人：芯达半导体设备（苏州）有限公司
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：包括工艺舱、晶圆升降控制机构Ⅰ、加热控制组件、氮气及有机排风组件及复合冷盘组件，其中工艺舱的内部设有盘面，盘面用于放置晶圆，工艺舱用于完成晶圆高级制程工艺；晶圆升降控制机构Ⅰ设置于工艺舱的外侧，用于对放置于盘面上的晶圆进行抬起或落下；加热控制组件设置于工艺舱内，用于控制盘面的加热温度；氮气及有机排风组件与工艺舱连接，用于工艺舱的充氮及排气；复合冷盘组件设置于工艺舱的一侧，用于工艺舱内晶圆的取送及对完成高级制程工艺后的晶圆进行冷却。本发明提高了晶圆制程效率及良品率，增加复合冷盘在烘烤后预降温，使热板单元的热量不能传递到其它工艺单元。
一种复合单元结构

[实用新型]一种雪人状的工艺品结构-CN201120115981.6无效
发明人：刘国南 -专利权人：刘国南
申请日： 2011-04-13 - 公布日： 2011-09-28 - 主分类号： B44C5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种雪人状的工艺品结构，该雪人状的工艺品结构包括呈雪人状的工艺品本体，所述的雪人状工艺品本体头部位置上戴有帽子，雪人状工艺品本体上设有一手臂与帽子相连接呈摘帽状，手臂与工艺品本体之间为活动连接，在雪人状工艺品本体内设有转动控制装置通过控制杆与手臂相连接并由转动控制装置通过控制杆控制手臂连同帽子作摆动摘帽戴帽动作。在手臂与雪人状工艺品之间设有转动轴实现手臂在转动控制装置的控制下出现摆动摘帽戴帽动作，其结构紧凑，构思巧妙，实现了雪人状工艺品的摘帽及戴帽动态动作，更加达到美观可爱的装饰效果，非常适合普遍推广使用。
一种雪人工艺品结构

[发明专利]多个工艺腔室压力的控制方法及半导体工艺设备-CN202110411361.5在审
发明人：王松涛 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-04-16 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明提供一种多个工艺腔室压力的控制方法及半导体工艺设备，其中，控制方法包括以下步骤：S1、根据多个工艺腔室的同一目标压力值，以及预设的各个工艺腔室的控压参数与压力值的对应关系，分别获得各个工艺腔室与目标压力值对应的控压参数；S2、向各个工艺腔室的压力控制装置分别输出各个工艺腔室与目标压力值对应的控压参数。本发明提供的多个工艺腔室压力的控制方法及半导体工艺设备，能够提高多个工艺腔室在半导体工艺中的压力一致性。
工艺压力控制方法半导体工艺设备

[发明专利]水质检测方法、系统、计算机设备及存储介质-CN202210046204.3在审
发明人：曾昊;黄晨;程放 -专利权人：武汉科迪智能环境股份有限公司
申请日： 2022-01-17 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： G01N33/18 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种水质检测方法、系统、计算机设备及存储介质，该方法先获取目标工艺段和N个检测点，控制移动设备运动至第i个检测点且控制第i个工艺段设备开启，并获取检测设备在第i个检测点采集的当前工艺数据，在当前工艺数据符合预设工艺条件的情况下，停止当前检测点的工艺段设备的联动控制，继续进行下一个检测点的水质检测及相应的工艺段设备的开启和关闭，直至获取第N个检测点的当前工艺数据，实现了检测设备与工艺段设备的联动控制，同时实现了对前后两个工艺段设备的联动控制，使得水处理和水质检测同步完成，并且，通过导轨控制检测设备移动，大大减少了检测设备的投入，减少了成本消耗。
水质检测方法系统计算机设备存储介质

[发明专利]半导体工艺方法和半导体工艺腔室-CN202210257714.5在审
发明人：刘旭;于宸崎;赵可可;胡云龙 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体工艺腔室，包括腔体和设置在腔体中的工艺组件、承载盘、升降装组件、控制装置和设置在腔体底部的至少一个测距组件，控制装置用于控制测距组件对工艺组件进行测距；向腔体中传入晶圆，并控制测距组件对承载盘上方的晶圆进行测距；根据前后两次测距结果控制升降组件对晶圆进行升降，以使晶圆的顶面与工艺组件之间间隔预定距离；进行半导体工艺。本发明提供的半导体工艺方法在向腔体中传入晶圆前后控制测距组件对工艺组件进行两次测距，从而确定晶圆与工艺组件之间的距离，进而确定升降组件升降晶圆的高度，保证了晶圆的顶面与工艺组件之间间隔距离的精确性。本发明还提供一种半导体工艺方法。
半导体工艺方法

[发明专利]一种基于核电厂工艺过程的仿真装置-CN202310736596.0在审
发明人：蔡少展;刘永利;苏德佐;王忠凯;涂俊;陈正兴;崔嵬;毛晋华;宋虹霖 -专利权人：阳江核电有限公司
申请日： 2023-06-20 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G05B17/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于核电厂工艺过程的仿真装置，包括：现场工艺仿真柜、近端控制系统和远端控制系统；现场工艺仿真柜包括与核电厂工作的现场工艺对应的工艺仿真模块；工艺仿真模块包括若干电平生成电路；其中，电平生成电路与现场工艺的工作节点对应，用于生成与工作节点对应的电平信号；工作节点为核电厂设备中参与实现现场工艺的设备节点；近端控制系统连接远端控制系统，用于接收远端控制系统的触发指令以选定目标现场工艺并获取目标现场工艺的工作逻辑，按照工作逻辑依次触发对应的电平生成电路动作；获取电平生成电路的工作状态，并通过远端控制系统生成对应的仿真结果。
一种基于核电厂工艺过程仿真装置

[发明专利]一种基于数值模拟的钢管连续淬火过程控制方法-CN201410478981.0有效
发明人：顾剑锋;徐骏;仝大明;郜霞 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2014-09-18 - 公布日： 2016-11-30 - 主分类号： C21D11/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于数值模拟的钢管连续淬火过程控制方法，包括以下步骤：根据钢管移动线速度和淬火冷却喷水压力，计算连续感应淬火过程初始的工艺参数，包括加热过程工艺参数和淬火过程工艺参数；对钢管连续感应加热过程进行有限元分析，获得加热过程工艺参数与钢管内外表面温度之间的关系；对钢管淬火冷却过程进行有限元分析，获得淬火过程工艺参数与钢管组织分布情况之间的关系；根据工艺控制要求，获取符合工艺控制要求的加热过程工艺参数和淬火过程工艺参数，形成最终的钢管连续感应淬火过程控制参数；以获得的控制参数控制实际钢管连续淬火过程。与现有技术相比，本发明具有减少通过试制确定工艺参数所造成的能源消耗，提高工作效率等优点。
一种基于数值模拟钢管连续淬火过程控制方法

[发明专利]一种瓦楞纸生产工艺控制的无线物联网系统及其方法-CN202110648118.5有效
发明人：方聪艺;杨德龙;田亚利;詹凯;朱民强;闻栩栩 -专利权人：浙江大胜达包装股份有限公司
申请日： 2021-06-10 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本申请公开了一种瓦楞纸生产工艺控制的物联网系统及其方法。本发明针对瓦楞纸的生产工序，预置若干组工艺参数模板；针对每组工艺参数模板，产生包括响应控制参量的响应控制方案；针对瓦楞纸生产线的生产设备，面向当前批次瓦楞纸生产中的生产工序，实时采集相应的工艺参数；将当前批次瓦楞纸生产工序的工艺参数与各组工艺参数模板的工艺参数执行关联匹配，选取关联匹配值最高的工艺参数模板；基于所述关联匹配值最高的工艺参数模板，确定当前生产批次瓦楞纸的响应控制参量；并且，基于响应控制参量执行当前批次瓦楞纸生产工艺参数的响应控制。
一种瓦楞纸生产工艺控制无线联网系统及其方法

[发明专利]半导体工艺生产线的控制方法、装置、设备及存储介质-CN202110894579.0在审
发明人：朱道凤;苏笙华;谢明宏 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-08-05 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： G06Q10/0633 文献下载
摘要：本公开提供一种半导体工艺生产线的控制方法、装置、设备及存储介质，半导体工艺生产线的控制方法应用于半导体工艺生产线控制设备，其包括接收待删除工艺站点的参数信息；根据参数信息，获得与待删除工艺站点存在关联关系的关联工艺站点，以及关联数据信息；若关联工艺站点和关联数据信息未进行更新，发出第一更新提示信息。在本公开中的半导体工艺生产线的控制方法中，通过接收到待删除工艺站点的参数信息，查找出与待删除工艺站点存在关联关系的关联工艺站点，并对其进行核查。若关联工艺站点和关联信息未更新，则发出第一更新提示信息，以提醒用户，对关联工艺站点和关联信息进行及时更新。
半导体工艺生产线控制方法装置设备存储介质

[发明专利]自动编程装置中的用于自动划分加工工艺的方法和装置-CN200510097417.5无效
发明人：大桥肇;木方一博;木村守邦;伊藤哲也 -专利权人：山崎马扎克公司
申请日： 2005-12-28 - 公布日： 2006-07-05 - 主分类号： G05B19/4093 文献下载
摘要：自动编程装置中的用于自动划分加工工艺的方法和装置。一种自动编程装置包括自动划分加工工艺的工艺划分控制部分，该加工工艺被执行用来从工件的材料形状获得预定的产品形状。该工艺划分控制部分基于材料形状和产品形状来计算去除形状，该去除形状是在执行该加工工艺时要从材料形状去除的形状。该工艺划分控制部分限定基准加工边界，该基准加工边界与在产品形状上限定的基准轴交叉并将去除形状的量分为两个相等的部分。该工艺划分控制部分基于基准加工边界和产品形状的轮廓，在去除形状上限定与基准轴交叉的工艺划分边界。通过该工艺划分边界将该加工工艺分为第一工艺和第二工艺。
自动编程装置中的用于划分加工工艺方法

[发明专利]一种汽车环境风洞工艺设备控制系统-CN202011613418.1有效
发明人：程益恒;康永泰;李跃;石运军;刘继月 -专利权人：中国航天空气动力技术研究院
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： G01M9/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种汽车环境风洞工艺设备控制系统，该系统包括：计算机设备、控制子系统以及汽车环境风洞中多个工艺设备子系统，其中，计算机设备，用于接收控制子系统发送的每个工艺设备子系统的运行数据，根据运行数据以及预设的试验流程确定每个工艺设备子系统的目标配置参数信息；控制子系统，用于接收目标配置参数信息以及每个工艺设备子系统发送的运行数据，将运行数据发送给计算机设备以及根据目标配置参数信息以及预设控制策略生成控制指令；每个工艺设备子系统，用于接收控制指令，并根据控制指令自动控制其运行本申请解决了现有技术中工艺设备控制系统的自动化程度较差，控制的效率较低的技术问题。
一种汽车环境风洞工艺设备控制系统