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- [发明专利]气相刻蚀装置-CN201410066813.0有效
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肖东风;贾照伟;王坚;王晖
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盛美半导体设备(上海)有限公司
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2014-02-26
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2019-05-17
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H01L21/67
- 本发明揭示了一种气相刻蚀装置，包括：工艺腔、氢氟酸储存罐、汽化器、质量流量控制器、真空泵及自动压力控制器。工艺腔用于气相刻蚀反应。氢氟酸储存罐储存液态的氢氟酸。质量流量控制器控制输送至工艺腔的气体的流量。真空泵对工艺腔抽真空。自动压力控制器控制工艺腔内的气压，使工艺腔内的气压保持在一设定值，在该设定值，供应至工艺腔内的气体及刻蚀反应的生成物均以气态的形式存在于工艺腔中。本发明将液态的氢氟酸作为反应物原料，能够降低工艺成本，且更安全，此外，供应至工艺腔内的气体及刻蚀反应的生成物均以气态的形式存在于工艺腔中，避免发生粘连。
- 刻蚀装置
- [发明专利]陶瓷烧制方法及其陶瓷智能烧制控制装置-CN201610585909.7在审
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罗少忠
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罗少忠
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2016-07-25
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2016-10-26
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C04B35/64
- 本发明公开了一种陶瓷烧制方法及其陶瓷智能烧制控制装置。其方法包括于陶瓷智能烧制控制装置的系统烧成主控单元设置一烧制工艺模块，将对应于不同的陶瓷产品的相应的烧制工艺、烧制工艺曲线烧制工艺方法存贮于其烧制工艺模块，通过陶瓷智能烧制控制装置的执行键启动并选择其烧制工艺模块中的相应一种烧制工艺其陶瓷智能烧制控制装置包括系统烧成主控单元和数字显示器，所述系统烧成主控单元包括有对应于不同的陶瓷产品的相应的烧制工艺的烧制工艺模块，对应于所述系统烧成主控单元设有仅一个执行键。该方法简单，其陶瓷智能烧制控制装置结构简单，操作简单、方便。
- 陶瓷烧制方法及其智能控制装置
- [发明专利]SBR工艺模糊控制方法及控制装置-CN02121293.7无效
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彭永臻;王淑莹;曾薇
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彭永臻
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2002-06-14
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2002-12-25
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G05D21/00
- 一种SBR工艺模糊控制方法及控制装置,方法步骤如下(1)、在污水处理系统中放置氧化还原电位(ORP)传感器、溶解氧浓度(DO)传感器和pH值传感器,采集ORP、DO和pH值信号;(2)、将采集的信号经ORP测定仪、DO测定仪和pH测量计,作为模糊控制参数,输入模糊控制装置主机;(3)、主机将输入的信号转换成数字信号,再经中央处理器信号处理后,将数字信号转换成模糊控制信号;(4)将模糊控制信号输出至执行机构;(5)执行机构指挥曝气继电器、进水继电器、出水继电器对污水处理系统的曝气量和反应时间进行在线控制。准确地把握有机物降解反应过程进行的程度,及时地采取相应措施,确保出水水质达标,并节省运行费用,实现自动智能化控制。
- sbr工艺模糊控制方法装置
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