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[发明专利]用于光谱仪的光纤电缆组合件及接口-CN202310254522.3在审
发明人： L·布洛克;M·惠兰;M·梅洛尼;W·埃利奥特;D·弗里德斯多夫 -专利权人： 真实仪器公司
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H01B7/17 文献下载
摘要：本公开涉及用于光谱仪的光纤电缆组合件及接口并提供一种经改进光纤电缆组合件，其可保护光谱仪免受外部噪声及放电源中的一或多者的影响。所述经改进光纤电缆组合件为所述光纤电缆组合件端接于其中的例如光谱仪的光学仪器提供了电隔离及/或绝缘EII保护物。所述EII保护物可包含至少部分地覆盖终端及护套的非导电护套、在所述终端与所述护套之间提供电隔离的电介质断路器、隔离罩以及接地系绳中的一或多者。在一个实例中，光纤电缆组合件包含：(1)终端；(2)护套；及(3)在所述终端与所述护套之间提供电隔离的电介质断路器。本发明还公开了一种具有经改进光纤电缆组合件的光纤耦合系统。
用于光谱仪光纤电缆组合接口

[发明专利]用于光谱滤波的系统、设备及方法-CN202280004137.7在审
发明人： C·D·皮兰特;T·C·米夏尔斯;J·D·柯雷斯 -专利权人： 真实仪器公司
申请日： 2022-04-13 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G16C20/00 文献下载
摘要：本公开通过识别表示光学数据的电数据中的异常信号来提供对所述光学数据的改进处理。所述改进处理还可包含修改所述经识别异常信号数据以提供对所述光学数据的更真实表示。所述经公开处理可被各种系统及设备用于处理对应于所述光学数据的光谱数据。所述改进处理可用来改进对半导体工艺的监测且因此改进总体半导体工艺。在一个实例中，一种处理光谱数据的方法包含：(1)接收时间上分离的光谱数据样本；以及(2)基于所述时间上分离的光谱数据样本中的至少一个前导者及至少一个后续者来识别所述光谱数据样本中的中间者中的一或多个异常信号。
用于光谱滤波系统设备方法

[发明专利]操作工艺控制系统的方法及工艺控制系统-CN201810759285.5有效
发明人： S·莱恩斯;R·J·小戴尼奥;顾志勇;陈宏 -专利权人： 真实仪器公司
申请日： 2018-07-11 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种操作工艺控制系统的方法及一种工艺控制系统。在一个实施例中，所述工艺控制系统包含：(1)光学传感器，其经配置以监测工艺室内的生产工艺且依据所述生产工艺而产生光学数据；(2)操作控制器，其经配置以执行关键功能以依据所述光学数据确定所述生产工艺的处理状况，其中所述关键功能是由关键功能控件引导；(3)可适应性管理控制器，其经配置以将所述关键功能控件提供到所述操作控制器，其中在所述关键功能期间，所述可适应性管理控制器与所述操作控制器被分级隔离。
操作工艺控制系统方法

[发明专利]等离子体源、用于激发等离子体的激发系统和光学监测系统-CN201910160394.X有效
发明人：马克·A·梅洛尼 -专利权人： 真实仪器公司
申请日： 2019-03-04 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体源和一种用于激发等离子体的激发系统，和一种光学监测系统。在一个实施例中，所述等离子体源包含：(1)同轴谐振腔主体，其具有内长度且包含第一端、第二端、内电极和外电极，(2)射频信号接口，其沿着所述内长度在固定位置电耦合到所述内电极和所述外电极并且经配置以提供射频信号到所述同轴谐振腔主体，(3)窗口，其经定位在所述同轴谐振腔主体的所述第一端处，和(4)安装凸缘，其经定位靠近所述同轴谐振腔主体的所述第一端处的所述窗口且界定等离子体腔，其中所述窗口形成所述等离子体腔的一个侧且将所述同轴谐振腔主体与所述等离子体腔中的等离子体隔离。
等离子体用于激发系统光学监测

[发明专利]光学校准装置及表征系统-CN201711127994.3有效
发明人： A·W·科伊尼;M·惠兰;M·A·梅洛尼;J·D·科利斯;R·戴尼奥;S·莱恩斯 -专利权人： 真实仪器公司
申请日： 2017-11-14 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请案涉及一种光学校准装置及表征系统。本发明提供一种用于对与处理室相关联的光学信号进行室内校准的光学校准装置、一种用于等离子体处理室的表征系统、表征等离子体处理室的方法及一种室表征器。在一个实例中，所述光学校准装置包含：(1)外壳，(2)光学源，其位于所述外壳内且经配置以提供具有连续光谱的源光，及(3)光学塑形元件，其位于所述外壳内且经配置以在所述处理室内的操作期间将所述源光成形为近似于等离子体发射的校准光。
光学校准装置表征系统

[发明专利]光学仪器、光谱仪以及将光学输入转换为数字信号输出的方法-CN201910373126.6有效
发明人： L·A·布洛克 -专利权人： 真实仪器公司
申请日： 2019-05-06 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： H04N5/357 文献下载
摘要：本公开提供光学仪器、将光学输入转换为数字信号输出的方法，以及光谱仪。在一个实施例中，所述光学仪器包含：(1)光学传感器，其经配置以接收光学输入且将所述光学输入转换为电信号；以及(2)转换系统，其具有：转换电路，其具有经配置以接收所述电信号且将所述电信号修改为模拟输出的多个并行信号通道；模拟开关，其经配置以根据所述光学仪器的操作模式而选择所述并行信号通道中的一者；以及模/数转换器，其经配置以从所述所选并行信号通道接收所述模拟输出且将所述模拟输出转换为数字信号输出。
光学仪器光谱仪以及光学输入转换数字信号输出方法

[发明专利]多模式可配置光谱仪-CN202110490515.4在审
发明人： L·A·布洛克;J·D·柯雷斯;R·J·小戴尼奥;M·A·梅洛尼;M·惠兰 -专利权人： 真实仪器公司
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： G01N21/73 文献下载
摘要：本发明提供多模式可配置光谱仪、操作多模式可配置光谱仪的方法及光学监测系统。在一个实施例中，所述多模式可配置光谱仪包含：(1)光学传感器，其经配置以接收光学输入且将所述光学输入转换成电信号，其中所述光学传感器包含用于将所述光学输入转换成所述电信号的多个有源像素区域；及(2)转换电路，其具有多个可选择转换电路，所述转换电路经配置以接收所述电信号且根据所述可选择转换电路中的所选择者将所述电信号转换成数字输出。
模式配置光谱仪

[发明专利]用于测量复杂结构的系统及方法-CN201810127929.9有效
发明人： A·W·科伊尼 -专利权人： 真实仪器公司
申请日： 2018-02-08 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本申请案针对于用于测量复杂结构的系统及方法。所述系统及方法支持结构复杂性减小及建模以用于光学监测，且准许在半导体制造过程期间确定膜厚度及特征深度。
用于测量复杂结构系统方法

[发明专利]用于过程监测的高动态范围测量系统-CN201811006601.8有效
发明人： L·A·布洛克;J·D·科利斯;M·A·梅隆尼;M·慧斓 -专利权人： 真实仪器公司
申请日： 2016-03-24 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： G01J3/28 文献下载
摘要：本发明涉及用于过程监测的高动态范围测量系统。提供了一种闪光灯控制系统，其具有静态电连接到高电压电源的电容器，接着电流感测部件电连接到静态电容器和数字控制电子器件以监测静态电容器的充电电流和/或放电电流。动态可开关的电容器也可以电连接到高电压电源和数字控制电子器件，用于基于所监测的充电电流和/或放电电流将动态可开关的电容器与高电压电源相隔离。一个或多个均质化元件，包括空气间隙、漫射均质化元件、成像元件、非成像元件或光管均质化元件，可以被布置在接近于闪光灯的光路中，例如多通道分配器如果存在的话，以在时间上或光谱上或者在这二者上降低光学信号的变化系数。
用于过程监测动态范围测量系统

[发明专利]多模式可配置光谱仪-CN201810298098.1有效
发明人： L·A·布洛克;J·D·柯雷斯;R·J·小戴尼奥;M·A·梅洛尼;M·惠兰 -专利权人： 真实仪器公司
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2021-05-21 - 主分类号： H04N5/347 文献下载
摘要：本发明提供多模式可配置光谱仪、操作多模式可配置光谱仪的方法及光学监测系统。在一个实施例中，所述多模式可配置光谱仪包含：(1)光学传感器，其经配置以接收光学输入且将所述光学输入转换成电信号，其中所述光学传感器包含用于将所述光学输入转换成所述电信号的多个有源像素区域；及(2)转换电路，其具有多个可选择转换电路，所述转换电路经配置以接收所述电信号且根据所述可选择转换电路中的所选择者将所述电信号转换成数字输出。
模式配置光谱仪

[发明专利]等离子体源、激发系统和操作激发测量系统的方法-CN201810746909.X有效
发明人：马克·A·梅洛尼 -专利权人： 真实仪器公司
申请日： 2018-07-09 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本公开提供等离子体源、用于激发等离子体的激发系统以及操作激发测量系统的方法。在一个实施例中，所述等离子体源包含：(1)同轴射频RF谐振器，其包含第一末端、第二末端、内部电极和外部电极，(2)射频接口，其电耦合到所述内部电极和所述外部电极且经配置以将RF信号提供到所述同轴RF谐振器，(3)凸缘，其定位于所述谐振器的所述第一末端处且限定等离子体腔体，以及(4)窗口，其定位于所述谐振器的所述第一末端与所述凸缘之间且形成所述等离子体腔体的一侧，由此所述同轴RF谐振器与所述等离子体隔离。
等离子体激发系统操作测量方法

[发明专利]对信号从晶片反射后的角驱动变化灵敏度降低的光纤耦合测量系统-CN202010102501.6在审
发明人： M·A·梅洛尼;J·D·柯雷斯 -专利权人： 真实仪器公司
申请日： 2020-02-19 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本申请涉及一种对信号从晶片反射后的角驱动变化灵敏度降低的光纤耦合测量系统。公开一种具有OAP镜准直仪的光学系统，其具有外壳、位于所述外壳内且具有光轴、折叠平面和焦点的OAP镜。光纤线缆耦合到所述外壳且具有第一和第二光纤，所述第一和第二光纤各自具有形成所述光纤线缆的共同端面的出口端，其中所述光纤线缆以旋转方式和平移方式与所述OAP镜对准，使得共同面垂直于所述OAP镜的所述光轴且以所述光轴为中心，且与所述焦点相距固定距离，且其中所述第一和第二光纤的光轴共同成角度地与所述折叠平面对准，且所述第一和第二光纤的所述光轴偏离与所述光轴的平行不超过0.15度。
信号晶片反射驱动变化灵敏度降低光纤耦合测量系统

[发明专利]用于过程监测的高动态范围测量系统-CN201610171306.2有效
发明人： L·A·布洛克;J·D·科利斯;M·A·梅隆尼;M·慧斓 -专利权人： 真实仪器公司
申请日： 2016-03-24 - 公布日： 2018-09-04 - 主分类号： G01J3/28 文献下载
摘要：本发明涉及用于过程监测的高动态范围测量系统。提供了一种闪光灯控制系统，其具有静态电连接到高电压电源的电容器，接着电流感测部件电连接到静态电容器和数字控制电子器件以监测静态电容器的充电电流和/或放电电流。动态可开关的电容器也可以电连接到高电压电源和数字控制电子器件，用于基于所监测的充电电流和/或放电电流将动态可开关的电容器与高电压电源相隔离。一个或多个均质化元件，包括空气间隙、漫射均质化元件、成像元件、非成像元件或光管均质化元件，可以被布置在接近于闪光灯的光路中，例如多通道分配器如果存在的话，以在时间上或光谱上或者在这二者上降低光学信号的变化系数。
用于过程监测动态范围测量系统

[发明专利]在处理系统化学分析中使用的电子束激励器-CN200980136544.8有效
发明人：吉米·W·霍斯克;马苏·J·郭克勒;麦克·威伦;安德鲁·威克斯·库尼;肯尼斯·C·赫文;P.L.·司德文·瑟班 -专利权人： 真实仪器公司;德克萨斯大学达拉斯分校
申请日： 2009-07-16 - 公布日： 2016-11-16 - 主分类号： H01J31/00 文献下载
摘要：本发明涉及气体线路电子流激励器。所述电子束激励器通常包括用于在电子源腔中生成电子云的可变密度电子源，和用于将来自电子源腔的电子作为电子束加速成用于发射荧光的气体样本的可变能量电子激励器。电子束的电子能量是可通过调节越过可变能量电子抽取器可变控制的。所述变能量电子抽取器通过腔上的孔朝着该抽取器给电子供能。施加到电子源上的激励功率可独立于电子束的电子能量调节从而改变电子的电子密度而不改变电子束的电子的能级。
处理系统化学分析使用电子束激励

[发明专利]检测晶圆、基底表面的等离子体处理期间的电弧事件的方法及设备-CN201080045397.6有效
发明人：司德文·丹尼尔;珊妮·格莱恩;费利普·索本;鲍尔·马格尔 -专利权人： 真实仪器公司
申请日： 2010-08-12 - 公布日： 2012-08-08 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：一种监测等离子体处理的至少一个工艺参数的方法，该方法在半导体晶圆、表面或基底上进行，且确定等离子体工具室内发生的电弧事件。该方法包括以下步骤：检测等离子体处理期间从等离子体鞘层产生的调制光、从RF传输线采样RF电压信号和RF电流信号、处理检测到的调制光信号和RF信号以产生等离子体处理的至少一个监测统计值、以及处理监测信号以确定晶圆处理期间发生的电弧作用事件。
检测基底表面等离子体处理期间电弧事件方法设备

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