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[发明专利]风机控制方法及风机控制装置-CN201910175241.2有效
发明人：王浩 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-03-08 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： F04D27/00 文献下载
摘要：本发明提供一种风机控制方法，通过风机向工艺腔室内输送气体，并根据清洗工艺采用的工艺参数的变化控制风机的转速，以降低风机的能耗。本发明还提供一种风机控制装置，包括获取单元和控制单元，其中，获取单元用于获取清洗工艺采用的工艺参数，并发送至控制单元；控制单元用于根据工艺参数的变化控制风机的转速，以降低风机的能耗。本发明提供的风机控制方法及风机控制装置能够节省清洗工艺消耗的能源，降低清洗工艺的成本。
风机控制方法装置

[发明专利]轧机工艺油压力控制系统-CN201410730169.2无效
发明人：沈伟 -专利权人：镇江市宏业科技有限公司
申请日： 2014-12-04 - 公布日： 2015-03-04 - 主分类号： B21B37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种采用变频控制器控制的轧机工艺油压力控制系统。它包括工艺油箱，工艺油箱连接有工艺油泵，工艺油泵连接喷射梁，工艺油泵与喷射梁之间的油路上连接压力传感器，压力传感器连接到一个PLC模块上，PLC模块上还连接有变频控制器，变频控制器连接工艺油泵并能够控制工艺油泵的运行频率采用上述的结构后，由于设置的变频控制器、油泵以及与PLC模块连接的压力传感器，压力传感器检测到压力信号，输入至PLC模块，PLC模块将控制信号，输出至变频控制器；变频控制器控制工艺油泵电机的运行频率，控制工艺油压力，克服了传统控制方式的缺陷，其结构简单可靠，调节迅速，控制精度高，具有良好节能效果。
轧机工艺油压控制系统

[发明专利]半导体工艺控制方法及半导体工艺控制系统-CN201410853024.1有效
发明人：耿文毅 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2014-12-31 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体工艺控制方法和具有其的半导体工艺控制系统，所述半导体工艺控制方法包括：当工艺模块发生异常时，判断工艺腔室内是否存在受损物料；如果判断工艺腔室内存在受损物料，则获取受损物料的回收路径；将回收路径之上的工艺模块设置为任务可用状态；以及按照回收路径将受损物料传输至物料腔室。该半导体工艺控制方法能够在工艺模块发生异常时自动地将受损物料传输至物料腔室，避免了人工参与过程，降低了人工操作的复杂度，节约了传输的时间，并且避免了因错误操作而导致机台传输不稳定的情况。
半导体工艺控制方法控制系统

[发明专利]复合材料制造工艺的工艺控制-CN201810289871.8有效
发明人： J·L·马尔考;潘简伟 -专利权人：波音公司
申请日： 2018-04-03 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：复合材料制造工艺的工艺控制。一种用于复合材料制造工艺的工艺控制的系统包括自动复合材料铺放头、视觉系统和计算机系统。自动复合材料铺放头被配置为铺设复合材料。
复合材料制造工艺控制

[发明专利]半导体工艺的控制方法和半导体工艺设备-CN202110348035.4在审
发明人：顾文亮 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体工艺的控制方法，应用于半导体工艺设备的进气组件，该控制方法包括：接收进气工艺配方，进气工艺配方包括半导体工艺步骤对应的至少一个进气控制量对应的预设工艺参数变化量，进气控制量包括向工艺腔室提供工艺气体的流量和工艺腔室内的气体压强中的至少一者；在执行半导体工艺步骤时，按预设函数控制对应的进气控制量随预设工艺参数的变化而逐渐增加，直至预设工艺参数达到进气控制量对应的预设工艺参数变化量。本发明提供的控制方法能够实现缓释进气，提高了工艺腔室内气流场的稳定性，避免了晶片位置出现偏移，并且能够缩小膜层间的应力差距，提高薄膜质量。本发明还提供一种半导体工艺设备。
半导体工艺控制方法工艺设备

[发明专利]一种用于原子层沉积镀膜设备灵活工艺控制的实现方法-CN202011544020.7在审
发明人：谢雄星;刘新柱;戴秀海;王德智;赵磊 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于原子层沉积镀膜设备灵活工艺控制的实现方法，通过对控制原子层沉积镀膜设备成膜工艺的工艺文件进行制作实现灵活工艺控制，包括如下步骤：通过工艺文本文件方式记录工艺信息，工艺信息可通过修改工艺文本文件内的自定义文本进行调整；通过编译器对工艺文本文件进行编译，将包含工艺信息的工艺文本文件转换为符合控制器程序定义的规则文件；通过控制器识别处理规则文件并以此对原子层沉积镀膜设备的工作状态进行控制，使其以规则文件内所包含的工艺信息进行执行本发明的优点是：工艺人员直接修改工艺文件，无需修改控制程序，杜绝沟通过程中产生的错误隐患，省去控制程序设计及测试时间，提升工艺开发效率。
一种用于原子沉积镀膜设备灵活工艺控制实现方法

[发明专利]基于TSN网络的工艺流程控制方法、系统、介质及边缘服务器-CN202010759987.0在审
发明人：赵杰;郭从建;林春惠;叶小令 -专利权人：上海海得控制系统股份有限公司
申请日： 2020-07-31 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明提供一种基于TSN网络的工艺流程控制方法、系统、介质及边缘服务器，包括以下步骤：发起TSN网络的频率同步，并获取所述TSN网络中各个智能网关的网络延时；基于所述各个智能网关的网络延时生成与所述智能网关对应的工艺设备的数据流控制门控列表；基于所述数据流控制门控列表和现场生产工艺控制流程生成现场生产工艺流程控制策略；当现场生产工艺流程控制策略中的工艺有时间敏感需求时，采用基于TSN网络的工艺流程控制策略进行现场生产工艺流程控制。本发明的基于TSN网络的工艺流程控制方法、系统、介质及边缘服务器能够基于TSN网络实现对工艺流程的控制策略，以满足工艺设备同步和/或低延时的需求。
基于 tsn 网络工艺流程控制方法系统介质边缘服务器

[发明专利]工艺防错方法、装置及智能终端-CN201811199921.X在审
发明人：吴翔;杨贵林;左小飞;张世钊 -专利权人：宁波吉利汽车研究开发有限公司;吉利汽车研究院（宁波）有限公司;浙江吉利控股集团有限公司
申请日： 2018-10-15 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： G05B15/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种工艺防错方法、装置及智能终端，包括：获取目标车辆对应的工艺信息；其中，工艺信息包括目标车辆的整车模型、工艺关键点、配件编号和工艺防错程序编号；根据工艺防错程序编号调取预先存储的工艺防错程序；其中，工艺防错程序包括定位程序、选件程序、拧紧程序和控制程序；控制程序包括锁紧指令和解锁指令，用于控制工具控制器的锁紧与解锁；根据工艺信息和工艺防错程序指导用户通过工具控制器进行工艺操作；当完成工艺操作后，接收工具控制器发送的工艺执行结果，并保存工艺执行结果。本发明可以更直观的指导用户进行拧紧工艺操作，降低拧紧工艺的出错率，另外还有助于提高拧紧工艺结果的可追溯性。
防错工艺操作工艺信息控制程序拧紧工具控制器工艺执行智能终端锁紧指令程序指导定位程序工艺关键工艺结果获取目标可追溯性控制工具目标车辆拧紧程序预先存储整车模型控制器出错率调取解锁选件配件直观发送保存

[发明专利]工艺控制方法、装置、电子设备和存储介质-CN202310412292.9在审
发明人：田凯雪;方明;刘鹏;陈霆 -专利权人：山东科讯信息科技有限公司
申请日： 2023-04-17 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G05B13/04 文献下载
摘要：本发明提供一种工艺控制方法、装置、电子设备和存储介质，所述方法包括：基于预设组合规则，对各类工艺变量进行组合，得到工艺组合变量；基于工艺组合变量进行目标变量预测，得到预测目标变量；基于预测目标变量，确定控制变量，并基于控制变量进行工艺控制；预设组合规则基于样本数据中各类样本工艺变量分别与样本目标变量之间的相关度，以及各类样本工艺变量构成的候选组合变量分别与样本目标变量之间的相关度确定。本发明提供的工艺控制方法、装置、电子设备和存储介质，能够基于工艺组合变量准确得到预测目标变量，进而能够基于预测目标变量准确得到控制变量，以实现基于控制变量对工艺进行精准控制，提高了工艺效率。
工艺控制方法装置电子设备存储介质

[发明专利]一种聚苯醚工艺废水的处理方法-CN201811168649.9有效
发明人：赵建朝;张小林;韩秋阳;刘永红;彭斌 -专利权人：南通星辰合成材料有限公司
申请日： 2018-10-08 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： C02F1/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种聚苯醚工艺废水的处理方法。所述处理方法包括：将聚苯醚工艺废水依次进行碱处理、曝气处理及蒸馏处理；其中，所述碱处理过程中，控制废水体系pH值不小于9，优选pH值不小于11。本发明通过对聚苯醚工艺废水加碱控制、工艺废水pH控制、工艺废水曝气控制、工艺废水曝气温度控制，曝气后工艺废水精馏控制，将难于处理的含酚物质、含胺物质、低分子聚苯醚进行彻底分离，提高工艺废水处理效率，保证工艺废水达标
一种聚苯醚工艺废水处理方法

[发明专利]一种管式PECVD在线式控制系统及控制方法-CN201711362685.4有效
发明人：符慧能 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2017-12-18 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种管式PECVD在线式控制系统，包括上下料控制单元和工艺管控制单元，所述上下料控制单元分别与插片机和工艺管控制单元通讯相连，用于获取所述插片机中石墨舟信息并发送至工艺管控制单元，所述工艺管控制单元用于根据石墨舟信息对工艺管进行自动控制本发明还公开了一种控制方法，包括以下步骤：S01、在插片机进行插片作业时，所述上下料控制单元获取插片机中石墨舟信息并发送至工艺管控制单元；S02、工艺管控制单元根据石墨舟信息提前选择石墨舟对应的工艺管桨以及工艺参数以进行自动控制
一种 pecvd 在线控制系统控制方法

[发明专利]在制造系统控制器的更新过程期间的输入/输出(IO)处理-CN202280017871.7在审
发明人：尤金·洛沃夫斯基;德米特里·帕纳什尤克;吉森德兰·文卡特桑;桑迪普·罗伊 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本文提供了用于在制造系统控制器的更新过程期间进行输入/输出(IO)处理的方法及系统。由系统控制器的IO驱动器在工艺腔室的部件与系统控制器的基板工艺IO处理器之间传送第一通知。基板工艺IO处理器执行与工艺配方对应的基板工艺控制指令。第一通知对应于与基板工艺控制指令相关联的操作。判定基板工艺控制指令要更新。检测到基板工艺已终止。在工艺腔室的部件与系统IO处理器之间传送第二通知。系统更新IO处理器执行系统更新控制指令，所述系统更新控制指令包含多个命令，这些命令被配置为使工艺腔室的部件在基板工艺控制指令被更新的同时将工艺腔室的环境维持在目标条件。
制造系统控制器更新过程期间输入输出 io 处理

[发明专利]一种200-300mm超厚钢板基于辊式淬火机的淬火热处理工艺-CN201810128793.3有效
发明人：付天亮;王昭东;邓想涛;田勇;李勇;韩毅;李家栋 -专利权人：东北大学
申请日： 2018-02-08 - 公布日： 2019-03-22 - 主分类号： C21D1/667 文献下载
摘要：一种200‑300mm超厚钢板基于辊式淬火机的淬火热处理工艺，包括喷水参数控制工艺、辊速控制工艺、淬火时间控制工艺、板形控制工艺，该工艺：1、喷水参数控制工艺设定钢板辊式淬火过程水量、水压参数，并实施动态调整，实现钢板高强度、高效率淬火；2、辊速控制工艺控制钢板辊式淬火过程加速度和摆动参数，实现钢板高均匀性淬火；3、淬火时间控制工艺设定钢板淬火时间和冷速，实现钢板淬火过程温度精确控制；4、板形控制工艺通过控制钢板淬火过程水量比和辊缝该方法具有钢板淬火冷速及终冷温度控制精确、淬火后板形好、淬火均匀性好、淬火过程节水节能效果明显、淬火生产效率高的优点，适用于200mm～300mm厚的特厚钢板连续辊式淬火生产。
一种 200 300 mm 钢板基于淬火热处理工艺

[发明专利]一种工业过程控制工艺引导系统-CN201710257632.X有效
发明人：唐志 -专利权人：唐志
申请日： 2017-04-19 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明公开一种工业过程控制工艺引导系统，包括工艺引导模块，对被控元件进行动作分解、属性配置，将用户的工艺通过简单的图形化和拖拽操作生成系统能识别的智能引导数据；数据采集与监视控制系统，监控过程控制系统工程的运行状态及参数调整；工艺解析模块，控制器对所述工艺引导模块生成的数据进行解析，实现用户工艺的过程控制；接口驱动模块，根据所述工艺解析模块的解析结果实现对外围接口设备的驱动。本发明不必关心被控元件的具体细节和网络拓扑结构，通过数据驱动思想，用户工艺控制程序完全由智能数据取代，实现控制器用户工艺程序的免编程，使用户的工艺过程控制变得简单、透明、直接、灵活。
一种工业过程控制工艺引导系统

[发明专利]一种烟草制丝生产线的工艺控制参数的预测方法及装置-CN202210229116.7在审
发明人：刘大卫;李用清;誉东明;章立;房华伟;夏永明;唐芳丽;费禹铖;鲁艳红;梁志远;黄贤飞;安连友 -专利权人：广西中烟工业有限责任公司
申请日： 2022-03-10 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： G06Q10/04 文献下载
摘要：本申请提供了一种烟草制丝生产线的工艺控制参数的预测方法及装置，针对烟草制丝生产线中未运行的目标有参工序的每个工艺控制参数，通过以下步骤对目标有参工序的该工艺控制参数进行预测：获取参数数据集，参数数据集包括烟草制丝生产线中所有已运行的有参工序的工艺控制参数，以及所有已运行的有参工序的工艺控制参数中，目标工艺控制参数对应的工艺预测参数；将参数数据集输入目标有参工序的该工艺控制参数对应的预测模型，以获取预测模型输出的目标有参工序的该工艺控制参数的预测结果，用于对烟草制丝生产线中的一个工艺控制参数进行预测，以提高工艺控制参数预测的准确性，避免对烟草制丝生产线的产品质量造成影响。
一种烟草生产线工艺控制参数预测方法装置