“工艺控制设备”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果11338054个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]PVD设备工艺控制方法和PVD设备工艺控制装置-CN201110439122.7有效
发明人：杨洋 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2011-12-23 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明公开了一种PVD设备工艺控制方法和PVD设备工艺控制装置。该方法包括：步骤1，控制加热装置以第一设定功率对反应腔室进行加热；步骤2，对反应腔室的温度进行检测，得出反应腔室的当前腔室温度；步骤3，判断反应腔室的当前腔室温度是否大于第一设定温度；若是，则执行步骤4；否则，返回步骤1；步骤4，控制加热装置以第二设定功率对反应腔室进行加热，执行步骤5；步骤5，判断反应腔室的当前腔室温度是否小于第二设定温度；若是，则返回步骤1；否则，返回步骤4。
pvd 设备工艺控制方法装置

[发明专利]工艺文件生成方法、工艺控制系统、控制装置和存储介质-CN201810907584.9在审
发明人：杨斌 -专利权人：君泰创新（北京）科技有限公司
申请日： 2018-08-10 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本申请公开了一种工艺文件生成方法、工艺控制系统、控制装置、存储介质，包括：非基准工艺设备的控制装置获取一基准工艺设备的基准工艺文件，基准工艺文件包括基准工艺设备的配置参数；非基准工艺设备的控制装置根据非基准工艺设备的工艺配置和基准工艺文件中的配置参数确定非基准工艺设备的配置参数，生成非基准工艺设备的工艺文件，非基准工艺设备的工艺配置包括非基准工艺设备的配置参数与基准工艺设备的配置参数之间的差异信息，非基准工艺设备的工艺文件包括非基准工艺设备的配置参数。本申请通过各工艺设备与基准工艺设备的配置参数的差异信息来自动生成所述非基准工艺设备的工艺文件，提高了各工艺设备生成工艺文件的效率及可靠性。
工艺设备非基准工艺文件配置参数控制装置工艺控制系统差异信息存储介质工艺配置自动生成申请

[发明专利]缝制设备工艺参数调整系统及方法-CN202010078644.8在审
发明人：潘建国;卢明安;徐仙国;王昊旭 -专利权人：浙江杰克智能缝制科技有限公司
申请日： 2020-02-03 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本发明提供一种缝制设备工艺参数调整系统及方法；所述系统包括控制器和智能终端；控制器用于采集缝制设备在不同工艺下的工艺参数，将不同工艺下的工艺参数发送至智能终端；及接收智能终端发送来的目标工艺的工艺参数，并根据目标工艺的工艺参数控制缝制设备；智能终端用于接收并存储控制器发送来的不同工艺下的工艺参数，并在缝制设备的工艺发生变化时，将目标工艺的工艺参数发送至控制器；本发明能够实现在缝制设备需要切换工艺时，使得控制器快速便捷地从智能终端上获取对应目标工艺的工艺参数，从而缩短了更换工艺时调整工艺参数的时间，进而提高了缝制设备的生产效率。
缝制设备工艺参数调整系统方法

[发明专利]生产设备的控制方法、装置、系统、设备及介质-CN202110200922.7在审
发明人：黎焕诚 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-02-23 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本申请涉及一种生产设备的控制方法、装置、系统、设备及介质，所述方法包括：接收工艺配方上传指令，响应于所述工艺配方上传指令并生成第一控制指令，以控制生产设备上传第一工艺配方数据；接收所述第一工艺配方数据，并对所述第一工艺配方数据进行解析，以生成对应的预设格式的第一工艺配方文件；在对所述第一工艺配方数据进行解析期间，生成第二控制指令，以控制生产设备上传第二工艺配方数据；接收所述第二工艺配方数据，并对所述第二工艺配方数据进行解析，以生成对应的预设格式的第二工艺配方文件。本申请有效地减少了对设备批量化控制过程中因多设备依次执行控制指令导致设备闲置的时间，提高了设备的产能及自动化生产线的生产效率。
生产设备控制方法装置系统介质

[发明专利]水质检测方法、系统、计算机设备及存储介质-CN202210046204.3在审
发明人：曾昊;黄晨;程放 -专利权人：武汉科迪智能环境股份有限公司
申请日： 2022-01-17 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： G01N33/18 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种水质检测方法、系统、计算机设备及存储介质，该方法先获取目标工艺段和N个检测点，控制移动设备运动至第i个检测点且控制第i个工艺段设备开启，并获取检测设备在第i个检测点采集的当前工艺数据，在当前工艺数据符合预设工艺条件的情况下，停止当前检测点的工艺段设备的联动控制，继续进行下一个检测点的水质检测及相应的工艺段设备的开启和关闭，直至获取第N个检测点的当前工艺数据，实现了检测设备与工艺段设备的联动控制，同时实现了对前后两个工艺段设备的联动控制，使得水处理和水质检测同步完成，并且，通过导轨控制检测设备移动，大大减少了检测设备的投入，减少了成本消耗。
水质检测方法系统计算机设备存储介质

[发明专利]多晶硅栅极关键尺寸的先进控制方法-CN201610510996.X在审
发明人：聂钰节;唐在峰;吴智勇;任昱;吕煜坤 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2016-06-30 - 公布日： 2016-10-12 - 主分类号： H01L23/544 文献下载
摘要：本发明提供了一种多晶硅栅极关键尺寸的先进控制方法，用于在多晶硅栅极薄膜结构进行工艺时对半导体设备进行工艺控制，包括：提供测试半导体图形控片，所述测试半导体图形控片用于模拟测试半导体设备的工艺参数；在所述半导体设备中对所述测试半导体图形控片进行测试半导体工艺；基于所述测试半导体工艺获得所述半导体设备的当前工艺参数；将所述当前工艺参数更新至先进工艺过程控制系统；所述先进工艺过程控制系统基于所述当前工艺参数控制所述半导体设备对多晶硅栅极薄膜结构进行工艺。本发明能够在半导体设备的工艺参数发生漂移的情况下，控制半导体工艺的稳定性，解决了不同批次间以及设备腔体维护保养前后的半导体工艺的稳定性问题。
多晶栅极关键尺寸先进控制方法

[发明专利]一种汽车环境风洞工艺设备控制系统-CN202011613418.1有效
发明人：程益恒;康永泰;李跃;石运军;刘继月 -专利权人：中国航天空气动力技术研究院
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： G01M9/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种汽车环境风洞工艺设备控制系统，该系统包括：计算机设备、控制子系统以及汽车环境风洞中多个工艺设备子系统，其中，计算机设备，用于接收控制子系统发送的每个工艺设备子系统的运行数据，根据运行数据以及预设的试验流程确定每个工艺设备子系统的目标配置参数信息；控制子系统，用于接收目标配置参数信息以及每个工艺设备子系统发送的运行数据，将运行数据发送给计算机设备以及根据目标配置参数信息以及预设控制策略生成控制指令；每个工艺设备子系统，用于接收控制指令，并根据控制指令自动控制其运行本申请解决了现有技术中工艺设备控制系统的自动化程度较差，控制的效率较低的技术问题。
一种汽车环境风洞工艺设备控制系统

[实用新型]织机控制系统-CN201821152232.9有效
发明人：罗金海;田柱安;李锡波;王允 -专利权人：广东溢达纺织有限公司
申请日： 2018-07-19 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种织机控制系统。上述系统包括识别装置和计算机设备；识别装置与计算机设备连接，计算机设备分别与织机和数据库设备连接；识别装置用于识别工艺单标签的工艺单标识，向计算机设备输入工艺单标识；计算机设备用于向数据库设备发送工艺单标识，接收数据库设备返回的工艺单标识对应的工艺参数，向织机发送织机控制文件，织机控制文件为控制织机按照工艺参数生产待织织布的文件。上述系统，通过识别装置、计算机设备、织机和数据库设备及其连接关系，可以通过向织机发送织机控制文件，可以控制织机生产待织织布，通过织机控制文件控制织机进行织布生产，避免因人为失误输入错误的工艺参数，减少不良品的产生
织机计算机设备数据库设备识别装置织机控制单标识织布织机控制系统发送本实用新型连接关系人为失误生产效率文件控制不良品生产标签返回

[发明专利]一种中草药提取液浓缩智能化控制系统-CN201780005105.8在审
发明人：罗鹏远;陈志昊 -专利权人：深圳市中瑞远博软件信息有限公司
申请日： 2017-09-01 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：一种中草药提取液浓缩智能化控制系统，能够实现中草药提取液的浓缩处理生产过程的自动化控制，保证浓缩生产过程中工艺参数的稳定性。系统包括：主站服务器、设备PLC控制模块、工艺参数检测模块以及操作控制终端；主站服务器用于接收工艺参数检测模块获得的实时工艺参数并将实时工艺参数与基准工艺参数进行比较，通过设备PLC控制模块接收现场参数及发送动作指令，指挥设备按照工艺要求进行动作；工艺参数检测模块用于通过设置在设备上的检测器件获得浓缩处理过程中的实时工艺参数；操作控制终端用于根据中草药提取液的性质设置基准工艺参数以及对应的设备PLC控制指令。
中草药提取液工艺参数检测实时工艺参数智能化控制系统操作控制终端主站服务器浓缩指令浓缩处理过程自动化控制发送动作工艺要求模块获得浓缩处理浓缩生产生产过程通过设备现场参数指挥设备检测保证

[发明专利]工艺控制方法、装置及工业控制系统-CN202210304203.4有效
发明人：冀鸣;刘伟基;林秀刚;张军;陈文俊;易洪波;郭一鸣;赵刚;易卓越 -专利权人：佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本申请涉及一种工艺控制方法、装置及工业控制系统，所述方法包括：接收设定数据交换格式的工艺流程文件；其中，所述工艺流程文件包括以结构化的数据格式描述的工艺流程的各个工序的执行内容；按工艺流程顺序对所述工艺流程文件进行遍历解析，获取工艺流程的各个工序以及工序包含的阶段；其中，所述阶段包括执行指令集合；依次读取各个工序的各个阶段的执行指令，通过设定通讯协议将所述执行指令发送至对应的控制设备进行执行，以控制工艺设备相应的设备部件；其中，所述控制设备分别连接至少一个设备部件。该技术方案，实现了对工艺过程全自动执行，可以形成完整的全自动流程控制输入，极大提升了工艺设备的控制效率。
工艺控制方法装置工业控制系统

[发明专利]一种基于DCS系统工艺设备运行工况一键切换方法-CN202111661216.9在审
发明人：马程耀;王琪;朱高斌;汪安平;祁勋;孟安军;浦绍俭;袁屹昆;何朝均;乔峰 -专利权人：江苏核电有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明属于DCS控制技术领域，具体涉及一种基于DCS系统工艺设备运行工况一键切换方法，包括：步骤1、预先设置工艺设备运行工况；步骤2、工艺设备正常运行工况控制逻辑组态；步骤3、工艺设备非正常运行工况控制逻辑组态；步骤4、控制逻辑组态下载及与计算机画面关联；步骤5、工艺设备运行工况一键切换实施。本发明能够有效提高工作效率，提高控制逻辑的安全性、准确性，保证工艺系统的安全稳定运行。
一种基于 dcs 系统工艺设备运行工况切换方法

[发明专利]机械设备的控制学习方法及其具备学习功能的服务器系统-CN201811642219.6在审
发明人：张冶;李松洋;王杰高 -专利权人：南京埃斯顿机器人工程有限公司
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： B25J9/16 文献下载
摘要：机械设备的控制学习方法及其具备学习功能的服务器系统，对机械设备设置学习服务器、机械控制部、驱动部、示教系统和传感器，在机械控制部中构造学习分析部，在机械设备学习过程中，对动作的工艺信息及学习修正量进行分段整理分析，整合工艺价值数据，并将整理后的工艺价值数据保存至学习服务器中。本发明通过记录机械设备的工艺价值信息，对新的加工工艺进行分析，并根据分析结果从学习服务器获取学习修正量，无需再使用传感器对加工工艺进行重新学习，本发明机械设备学习控制针对加工工艺进行的优化控制，包括机械设备的动作控制和工艺过程控制
机械设备学习服务器服务器系统机械控制价值数据学习功能学习修正量传感器工艺过程控制动作控制工艺信息价值信息示教系统学习过程学习控制优化控制分析再使用整合分段驱动保存记录

[发明专利]半导体工艺机台的自由控制方法与装置-CN202210532140.8有效
发明人：阮正华;黄寒铁 -专利权人：江苏邑文微电子科技有限公司;无锡邑文电子科技有限公司
申请日： 2022-05-17 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本申请提供一种半导体工艺机台的自由控制方法和装置，其中方法包括：基于目标半导体工艺机台的工艺流程节点确定目标半导体工艺机台对应的多个工艺流程模块以及各工艺流程模块对应的加工设备，获取目标工艺流程模块对应的目标加工设备的候选接口定义，基于候选接口定义与目标工艺流程模块的功能匹配结果确定目标接口定义，基于目标加工设备的厂商和型号获取目标加工设备的操作文档，基于目标加工设备对应的目标接口定义和操作文档生成目标加工设备的驱动程序，基于目标加工设备的驱动程序生成目标半导体工艺机台的控制程序，并基于控制程序对目标半导体工艺机台进行自由控制，能够缩短半导体工艺机台控制软件的研发和维护周期，降低成本。
半导体工艺机台自由控制方法装置

[实用新型]焊接系统-CN201720795932.9有效
发明人：平俊杰;甘杰家;向水平;陈根余;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2017-07-03 - 公布日： 2018-06-01 - 主分类号： B23K26/21 文献下载
摘要：上述的焊接系统用于对产品进行焊接，焊接系统包括工艺控制设备、激光器、远程控制设备以及气体控制装置；激光器与工艺控制设备连接，激光器用于产生激光束；远程控制设备与工艺控制设备连接；气体控制装置与远程控制设备连接，气体控制装置用于输出焊接辅助气体，以对产品的焊接处进行保护。上述的焊接系统，激光器用于对产品进行焊接，且在产品焊接的同时气体控制装置控制焊接辅助气体的输出量；由于工艺控制设备分别与激光器和远程控制设备连接，使焊接系统的工艺控制设备能够对激光器和气体控制装置进行集成控制
焊接系统激光器工艺控制设备气体控制装置远程控制设备焊接辅助气体本实用新型有效地减少产品焊接焊接效率集成控制焊接处激光束输出量停机输出保证

[发明专利]半导体设备工艺控制方法和半导体设备工艺控制装置-CN201210019265.7有效
发明人：陆涛 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2012-01-19 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体设备工艺控制方法和半导体设备工艺控制装置。该方法包括：识别传输至当前腔室中的加工件；从预先设置的与加工件对应的加工件操作参数中读取当前腔室对应的操作参数，加工件操作参数包括加工件在每个腔室对应的操作参数；根据当前腔室对应的操作参数，对加工件进行工艺处理本发明提供的技术方案中，通过为每个加工件设置与该加工件对应的加工件操作参数，使半导体设备实现了针对每个加工件执行不同的工艺处理流程，当需要对某一加工件执行某一工艺处理时仅需根据读取出的操作参数执行相应的工艺处理即可，无需停止正常的工艺操作流程，从而减少了生产时间，提高了生产效率和产品产量。
半导体设备工艺控制方法装置

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条