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- [发明专利]测量材料层厚度的方法和装置-CN200680053923.7有效
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乔维尼·克里斯蒂尼
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S.A.朱塞佩克里斯蒂尼有限公司
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2006-11-06
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2009-04-29
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G01B15/02
- 本发明描述了一种通过微波传感器(13)测量第一材料层的厚度的方法,所述方法包括:通过微波传感器(13)获得第一材料层的至少一个频率响应;为不同温度值(Tamb,T1,T2,T3)下的第二材料样本设置(30)微波传感器(13),以获得参考数据(CD,X,Y,S);利用参考数据(CD,X,Y,S),作为第一材料电导率的函数来校准(31)微波传感器(13);通过温度传感器(14)测量(32)第一材料层的温度(Tm);根据频率响应确定(33)测量参数(F1_m,F2_m,Amin_m);以及利用测量参数(F1_m,F2_m,Amin_m)来处理(33)参考数据(CD,X,Y,S)以获得第一材料层的厚度的测量值
- 测量材料厚度方法装置
- [实用新型]一种阳光下可视的盖板镀膜-CN201520543685.4有效
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王卫国;其他发明人请求不公开姓名
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王卫国
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2015-07-26
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2015-11-18
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G02B1/115
- 本实用新型公开一种在阳光下可视的盖板镀膜,其特征在于:在白板玻璃基板上的薄膜12,从内向外依次排列的厚度为13.2纳米的TiO2层,厚度为32.2纳米的SiO2层,厚度为121.3纳米的TiO2层,厚度为37.2纳米的SiO2层,厚度为24.5纳米的TiO2层,厚度为39.4纳米的SiO2层,厚度为113纳米的TiO2层,厚度为86.4纳米的SiO2层;在蓝宝石基板上的薄膜12,从内向外依次排列厚度为15.1纳米的TiO2层,厚度为25.9纳米的SiO2层,厚度为124.9纳米的TiO2层,厚度为33.1纳米的SiO2层,厚度为27纳米的TiO2层,厚度为35.5纳米的SiO2层,厚度为114.3纳米的TiO2层,厚度为86.6纳米的SiO2层。
- 一种阳光可视盖板镀膜
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