“层厚度”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果2864216个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]膜层厚度的量测方法-CN202211296390.2在审
发明人：江琦;张宇;王少威;苏育生 -专利权人：常州承芯半导体有限公司
申请日： 2022-10-21 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：一种膜层厚度的量测方法，包括：提供基底；在所述基底上形成参照层；在所述参照层上形成待量测层，所述待量测层与所述参照层的材料不同，所述待量测层具有相对的第一面和第二面，第二面与参照层接触；采用干蚀刻机台对所述待量测层进行蚀刻处理，并获取所述干蚀刻机台对待量测层的蚀刻时间；获取所述干蚀刻机台对所述待量测层的蚀刻速率；根据所述蚀刻时间和所述蚀刻速率，获取所述待量测层的膜层厚度。通过获取所述干蚀刻机台对所述待量测层的蚀刻速率和蚀刻时间，即可获取所述待量测层的膜层厚度，对所述待量测层的膜层厚度没有限制，因此能够有效增大膜层量测的适用范围。另外不需要专门的膜层厚度量测机台，进而能够有效降低膜层量测的成本。
厚度方法

[发明专利]测量磊晶层厚度的方法-CN02146939.3有效
发明人：林庆福;曾华洲;杨镫祺 -专利权人：联华电子股份有限公司
申请日： 2002-10-25 - 公布日： 2003-12-03 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明揭示了一种测量磊晶层厚度的方法。此方法使用一非单晶层于磊晶层形成于底材上之前先形成于底材上，因此磊晶层形成于非单晶层上的部份成为多晶。测量多晶层与非单晶层的厚度以及多晶层加上非单晶层的总厚度与磊晶层的厚度差可得到磊晶层的厚度。磊晶层的厚度等于多晶层加上非单晶层的总厚度减去多晶层加上非单晶层的总厚度与磊晶层的厚度差。此方法在当欲测量的磊晶层的掺杂浓度低于或等于底材的掺杂浓度时特别有用。
测量磊晶层厚度方法

[发明专利]具有不同厚度的堆叠金属层-CN201510966635.1有效
发明人：廖忠志 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2015-12-21 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： H01L23/522 文献下载
摘要：本发明提供具有不同厚度的堆叠金属层。更具体的，本发明涉及一种半导体芯片，其包含多个堆叠导电层。所述多个堆叠导电层包含第一导电层、第二导电层，以及第三导电层。所述第一导电层安置于所述第二导电层的第一侧上。所述第三导电层安置于所述第二导电层的第二侧上。所述第二导电层具有比所述第一导电层和所述第三导电层的厚度厚的厚度。
具有不同厚度堆叠金属

[发明专利]栅氧化层厚度实时监控方法-CN201610088975.3有效
发明人：张召;王智;苏俊铭;倪立华 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2016-02-17 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，公开了一栅氧化层厚度实时监控方法，在栅氧化层制备完成并测量其物理厚度D₁后，定义第一自然氧化层厚度D_OX1和第二自然氧化层厚度D_OX2，监控栅氧化层的实时厚度D＝D₁+D_OX1+D_OX2。该方法综合考虑栅氧化层制备完成后、到多晶硅栅沉积工艺开始前的等待时间Q‑Time，以及多晶硅栅沉积工艺中沉积区域氧气浓度O₂‑Density对栅氧化层自然氧化速度的影响，实现对栅氧化层实际厚度的精确监控与现有技术相比，能够根据工艺进度、工艺条件以及工艺时间，精确监控栅氧化层的实时厚度，与传统的栅氧化层物理厚度实际测量相比，更为细致和精确，避免物理厚度监控与最终实际电性厚度不符而失去监控意义，从而提高工艺质量
氧化厚度实时监控方法

[发明专利]路基结构层厚度检测装置-CN202110523868.X有效
发明人：王运华;王彪岗;王海英;李军生;王苗;李晶;孙亚朋;郑薇雯;哈锋 -专利权人：王运华
申请日： 2021-05-13 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： G01B5/06 文献下载
摘要：本发明涉及到一路基结构层厚度检测装置，属于道路施工检测的技术领域，解决了现有的测厚方法会多次破坏路面，造成不好的后患的问题，本发明包括一机架，所述的机架上连接有一支撑板，所述的支撑板上安装有一组滚珠丝杠和滑轨，所述的滚珠丝杠在驱动装置的驱动下带动一行进小车行进作业，通过行进小车的行进将路面的厚度变化反应至测量装置上，本发明可跟随压路机，对刚完成铺设碾压的路面快速进行厚度检测，方便了监理人员检验道路的碾压情况，且采用阶段式的厚度数据采集方式，能准确得测算出相应路段的各个位置处的厚度及其厚度变化情况，并可对结构层下方路基的不同倾斜角度的路面进行厚度检测，适应范围广，实用性强。
路基结构厚度检测装置

[发明专利]抗UV层厚度快速检测装置-CN201010274906.4无效
发明人：陈旌;陆琪;戚文涛 -专利权人：常州丰盛光电科技股份有限公司
申请日： 2010-09-08 - 公布日： 2011-01-26 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种检测装置，特别是一种检测透明板材表面的抗UV层的厚度的抗UV层厚度快速检测装置，它包括显微镜、紫外光源和样切片，样切片位于显微镜的物镜下方，紫外光源对样切片照射。运用PC或PMMA等透明基材与抗UV层对紫外光的波长吸收后发出不同颜色光的原理，在紫外光源的照射下，通过显微镜可以清楚地观测样切片的抗UV层的厚度，从而可以快速测量PC或PMMA等透明基材表面的抗UV层的厚度解决了现有的检测方法对透明基材表面的抗UV层厚度进行检测时，检测时间长，不能及时发现产品质量问题的技术问题。它能方便快捷地测量PC或PMMA等透明板材表面复合的抗UV层的厚度，及时掌控产品质量情况。
uv 厚度快速检测装置

[发明专利]纺机棉层厚度测定仪-CN200510094110.X无效
发明人：徐志明 -专利权人：徐志明
申请日： 2005-08-30 - 公布日： 2007-03-07 - 主分类号： D01G15/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种梳棉机用棉层厚度检测装置，在梳棉机给棉罗拉旁设置有检测点，检测点与天平尺之间设置有多根(大于3根)检测弹簧，全方位检测天平尺所受力的大小和位移的大小，天平尺与检测传感器相连；检测点的下端设置有天平刀检测点上给棉罗拉的反方向设置有重锤，给棉罗拉加压，同时保持平衡，减少弹簧的疲劳；本发明是最先进的纺机梳棉机厚度测定仪之一。
纺机厚度测定

[发明专利]就地确定膜层厚度的方法-CN03123484.4无效
发明人：乌尔里克·巴斯特;罗曼·拜尔;拉尔夫·赖歇 -专利权人：西门子公司
申请日： 2003-05-09 - 公布日： 2003-11-19 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：根据现有技术，在镀膜处理期间确定膜层厚度花费很大。其中，为了检查膜层厚度，必须切割参考样本并由此破坏参考样本。只有当参考样本具有所期望的膜层厚度时，才能采用与参考样本一起镀膜的元件。按照本发明的一种用于确定膜层厚度的方法允许在镀膜处理期间就地确定膜层厚度，其中，采用了一个传感器，该传感器通过镀膜过程以典型方式按获得各膜层的厚度改变所测量的电特性。
就地确定厚度方法

[实用新型]抗UV层厚度快速检测装置-CN201020520400.2有效
发明人：陈旌;陆琪;戚文涛 -专利权人：常州丰盛光电科技股份有限公司
申请日： 2010-09-08 - 公布日： 2011-04-06 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种检测装置，特别是一种检测透明板材表面的抗UV层的厚度的抗UV层厚度快速检测装置，它包括显微镜、紫外光源和样切片，样切片位于显微镜的物镜下方，紫外光源对样切片照射。运用PC或PMMA等透明基材与抗UV层对紫外光的波长吸收后发出不同颜色光的原理，在紫外光源的照射下，通过显微镜可以清楚地观测样切片的抗UV层的厚度，从而可以快速测量PC或PMMA等透明基材表面的抗UV层的厚度解决了现有的检测方法对透明基材表面的抗UV层厚度进行检测时，检测时间长，不能及时发现产品质量问题的技术问题。它能方便快捷地测量PC或PMMA等透明板材表面复合的抗UV层的厚度，及时掌控产品质量情况。
uv 厚度快速检测装置

[实用新型]涂胶层厚度均匀的涂胶设备-CN201720929015.5有效
发明人：张仪 -专利权人：四川省新康意新材料科技有限公司
申请日： 2017-07-28 - 公布日： 2018-03-27 - 主分类号： B05C1/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了涂胶层厚度均匀的涂胶设备，包括用于传输涂胶工件的滚轮传送带，滚轮传送带的正上方设置有与滚轮传送带平行的固定板，固定板的下方设置有多个下端开口的圆柱筒，所有圆柱筒均位于滚轮传送带的长中心轴在固定板下板面上的正投影线上固定板的上方设置有装有涂胶胶浆的容器，所述容器的下方设置有与圆柱筒一一对应连通的出胶管，滚轮传送带的两个滚轮上均设置有固定连接固定板的伸缩柱，每个滚轮的两侧均设置有伸缩柱，滚轮传送带的上方还设置有刮平涂胶工件上胶层的刮刀本实用新型采用圆柱筒的形式，在刮刀刮平胶浆前，胶浆就能够均匀分布在工件上，胶浆的厚度均匀。
涂胶厚度均匀设备

[实用新型]镜片膜层厚度在线检测设备-CN201320661916.2有效
发明人：朱爱军 -专利权人：淮安市岽盛光电仪器有限公司
申请日： 2013-10-25 - 公布日： 2014-04-16 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镜片膜层厚度在线检测设备，包括由横梁和立柱连接而成的门形支架，横梁的两端安装有链轮，其中一个链轮的输入端安装有电机，链轮上挂载有传动链，传动链上安装有链板，链板上安装有膜层厚度测量仪本实用新型的镜片膜层厚度在线检测设备具有检验速度快、效率高等优点。
镜片厚度在线检测设备

[实用新型]钢筋保护层厚度确保装置-CN201320399852.3有效
发明人：盛余祥;刘鹏;安平;安丰鹤;荣淑芬;徐典辉;郜启印 -专利权人：安平
申请日： 2013-07-07 - 公布日： 2013-12-18 - 主分类号： E04C5/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种钢筋保护层厚度确保装置，包括垫块基体和紧固套，所述垫块基体是六面体结构，所述垫块基体至少一个面上设有弧形凹槽，所述垫块基体上设有穿槽，所述紧固套包括卡条，该卡条上均匀设有多个卡槽，所述卡条的尾端设有卡扣，所述卡条的前端穿过垫块基体上的穿槽，借助卡槽与卡条尾端的卡扣相连接，本实用新型使用时，垫块基体位于钢筋和模板之间，既能固定钢筋位置，同时还能确保混凝土保护层的厚度，很好的防止钢筋外露被腐蚀，另外，由于紧固套的使用
钢筋保护层厚度确保装置

[实用新型]钢包熔渣层厚度测量装置-CN201220516451.7有效
发明人：张冠锋;王博;马琳;杨州;刘美;刘洪银;刘超;孙会朝 -专利权人：莱芜钢铁集团有限公司
申请日： 2012-09-29 - 公布日： 2013-04-24 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：一种钢包熔渣层厚度测量装置，属于钢铁冶金技术领域，包括一个带有固定夹头的杆部，所述杆部通过固定夹头夹持一段钢棒，所述的钢棒的长度为30cm-50cm，半径以0.5-1cm。本实用新型提供的钢包熔渣层厚度测量装置结构简单，采用生产过程中产生的废物制备，废物利用，节省宝贵资源，制备方法成本低。采用该钢包熔渣层厚度测量装置测量钢包内熔渣层的厚度，方法简单可行，测试结果准确，耗能低，钢水中不会掺杂铝，测量程序结束后该钢包熔渣层厚度测量装置还可重复利用，降低生产成本。
钢包熔渣层厚度测量装置

[实用新型]大厚度氧化层场板结构-CN201020613969.3有效
发明人：沈华 -专利权人：嘉兴斯达半导体有限公司
申请日： 2010-11-10 - 公布日： 2011-11-02 - 主分类号： H01L29/40 文献下载
摘要：一种大厚度氧化层场板结构，它包括硅基板、嵌入硅基板的大厚度场氧化层、大厚度场氧化层与器件有源区间的掺杂保护环，以及淀积在大厚度场氧化层上的高掺杂多晶硅或金属场板；所述的场氧化层为二氧化硅层，氧化层厚度介于1微米和60微米之间，从器件有源区向外的轴向延伸长度在40微米到700微米之间；它具有能有效缓解表面介质层的应力开裂，提高器件可靠性等特点。
厚度氧化板结

[实用新型]保护层厚度测试装置-CN201821729166.7有效
发明人：余加坤 -专利权人：上海钧测检测技术服务有限公司
申请日： 2018-10-23 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： G01B5/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了建筑保护层测量技术领域的一种保护层厚度测试装置，包括支撑板，支撑板顶部左侧固定连接有第一轴承，第一轴承的内环固定连接有转动杆，转动杆底端贯穿支撑板的通孔活动连接有螺纹杆，螺纹杆与第二轴承内环螺纹连接支撑板顶部右侧通过滑孔滑动连接有第一刻度尺，第一刻度尺底部设有限位装置，限位装置包括三角插块、弹簧、横杆和拉环，横杆两端分别固定连接有三角插块和拉环，横杆上套有弹簧，第一刻度尺内滑动连接有第二刻度尺，本实用现象可准确测量保护层厚度
保护层螺纹杆支撑板顶部厚度测试滑动连接平衡板支撑板横杆弹簧插块拉环轴承测量技术领域本实用新型活动连接有建筑保护层转动杆底端横杆两端均匀固定螺纹连接限位装置橡胶凸块轴承固定轴承内环准确测量刻度尺转动杆钻头滑孔内环上套通孔贯穿