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- [发明专利]一种基片搬运装置-CN202211603986.2在审
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俞韶兵
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上海众鸿半导体设备有限公司
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2022-12-13
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2023-03-21
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H01L21/683
- 本发明属于半导体加工设备技术领域，具体涉及一种基片搬运装置，包括搬运臂和吸附部，本发明在搬运臂的吸附面上设置有至少两组真空吸盘；各真空吸盘基于不同的吸附角度和/或不同的吸附位置吸附半导体基片；由于各真空吸盘的吸附角度或吸附高度不同，当基片形成翘曲时总会有至少一组真空吸盘达到对半导体基片的有效吸附压力，进而搬运臂能够有效吸附半导体基片，能够将发生翘曲的半导体基片正常搬运至工位上，降低半导体设备吸附失败无法正常传送半导体基片而带来的故障率
- 一种搬运装置
- [发明专利]按键板-CN201210178193.0无效
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菊地梢
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保力马科技株式会社
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2012-05-23
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2012-11-28
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H01H13/02
- 一种按键板，具备基片(12)和键顶(13)，键顶从基片的表面突出。键顶(13)由芯部(14)和盖部(15)构成，芯部(14)形成在基片(12)的表面，抑制基片(12)翘曲，盖部(15)形成在芯部(14)的表面(14a)，比芯部(14)硬质。通过这种结构，能够抑制基片(12)在键顶(13)成形后翘曲的同时，键顶(13)的耐药品性有所提高。
- 按键
- [发明专利]一种大翘曲基片承载装置-CN202211036012.0在审
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高英
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北京徕曼科技有限公司
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2022-08-27
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2022-11-11
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H01L21/683
- 本发明公开了一种大翘曲基片承载装置，包括转接座,所述转接座上端设有吸附处理结构；所述吸附处理结构包括：升降板、升降机构、多个顶杆、固定支架、升降支架、多个顶块、多个软质吸盘、软质胶圈、抽气组件、多个弹簧以及承载处理组件；所述升降板活动套装于所述转接座外壁处，多个所述升降机构分别安装于所述升降板下端两侧，本发明涉及基片检测设备技术领域,本案采用的吸附处理结构，通过升降软质吸盘和软质胶圈的配合以及真空气道的配合，能够将待测物吸附在支撑台的表面，吸平翘曲的基片(晶圆)，满足高精度检测的需求，吸平后的基片的整个待测表面位于一个水平面上，满足检测所需要的晶圆平整状态。
- 一种大翘曲基片承载装置
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