专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]射频电源系统-CN202123390838.0有效
  • 乐卫平;张桂东 - 深圳市恒运昌真空技术有限公司
  • 2021-12-29 - 2022-06-17 - H03H7/38
  • 所述系统包括:所述射频电源系统包括射频电源、阻抗匹配网络、阻抗调节网络和负载阻抗,所述阻抗匹配网络分别与所述射频电源、所述阻抗调节网络、所述负载阻抗电性连接,所述阻抗调节网络还与所述负载阻抗电性连接,所述阻抗调节网络用于根据阻抗匹配网络与负载阻抗之间的入射信号和反射信号,生成至少一个控制电压;所述阻抗匹配网络用于根据所述控制电压调节阻抗,得到调节后的匹配阻抗;其中,所述匹配阻抗与所述负载阻抗之和等于所述射频电源的电源阻抗。采用本系统能够通过控制电压来调节阻抗匹配网络的阻抗,无需通过伺服步进电机来改变阻抗匹配网络的阻抗,缩短了阻抗匹配的流程,从而提高阻抗匹配的速度。
  • 射频电源系统
  • [发明专利]射频自动阻抗匹配方法及射频自动阻抗匹配器-CN200810056157.0有效
  • 武晔 - 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
  • 2008-01-14 - 2009-07-22 - H05H1/46
  • 本发明实施例公开了一种射频自动阻抗匹配方法,控制器获取匹配网络中当前各可变阻抗元件的阻抗以及匹配网络的输入阻抗;按照预先确定的等离子体腔室的等效阻抗、匹配网络的输入阻抗以及各可变阻抗元件的阻抗之间的建模关系,计算等离子体腔室的等效阻抗;然后,用获取到的射频发生器的输出阻抗作为阻抗匹配时匹配网络的输入阻抗,按照所述建模关系,计算阻抗匹配时各可变阻抗元件的阻抗;根据阻抗匹配时各可变阻抗元件的阻抗与当前各可变阻抗元件的阻抗的差值计算调整量,根据各调整量调整当前各可变阻抗元件的阻抗。本发明实施例同时公开了一种射频自动阻抗匹配器。应用本发明实施例所述方法和设备,能够快速完成阻抗匹配。
  • 射频自动阻抗匹配方法阻抗配器
  • [发明专利]阻抗匹配网络调节方法-CN202111640705.6在审
  • 乐卫平;张桂东 - 深圳市恒运昌真空技术有限公司
  • 2021-12-29 - 2022-05-13 - H03H7/38
  • 本申请涉及一种阻抗匹配网络调节方法。所述方法包括:所述阻抗调节网络根据阻抗匹配网络与负载阻抗之间的入射信号和反射信号,生成至少一个控制电压,并将所述控制电压发送至所述阻抗匹配网络,其中,所述入射信号为所述阻抗匹配网络传递至所述负载阻抗的信号,所述反射信号为所述负载阻抗返回至所述阻抗匹配网络的信号;所述阻抗匹配网络根据所述控制电压调节阻抗,得到调节后的匹配阻抗;其中,所述匹配阻抗与所述负载阻抗之和等于所述射频电源的电源阻抗。采用本方法能够通过控制电压来调节阻抗匹配网络的阻抗,无需通过伺服步进电机来改变阻抗匹配网络的阻抗,缩短了阻抗匹配的流程,从而提高阻抗匹配的速度。
  • 阻抗匹配网络调节方法
  • [发明专利]阻抗匹配电路的阻抗匹配方法-CN202111681685.7在审
  • 请求不公布姓名 - 上海微创惟美医疗科技(集团)有限公司
  • 2021-12-29 - 2023-07-11 - H03H7/38
  • 本发明提供了一种阻抗匹配电路的阻抗匹配方法,控制模块将可调阻抗匹配模块的阻抗调整为初始值,阻抗检测模块进行阻抗检测,将阻抗检测模块的检测结果与初始值的差值作为负载的阻抗,根据预定的系统阻抗及负载的阻抗即可计算得到可调阻抗匹配模块的需求阻抗,控制模块将可调阻抗匹配模块的阻抗调整到需求阻抗,使得射频输出模块与负载之间的阻抗匹配,即使负载的阻抗改变了,也可以重新调整可调阻抗匹配模块的阻抗,能够有效降低射频反射功率,保持射频能量最大化,同时保障了电路的寿命和安全性
  • 阻抗匹配电路方法
  • [实用新型]差分阻抗阻抗条结构-CN201620011817.3有效
  • 刘文敏;王红飞;陈蓓;程柳军 - 广州兴森快捷电路科技有限公司;深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司;广州市兴森电子有限公司
  • 2016-01-01 - 2016-08-17 - H05K1/02
  • 差分阻抗阻抗条结构,包括第一阻抗层、第二阻抗层、第三阻抗层、两个第一过孔和两个第二过孔。该第一阻抗层上设有两个信号孔、两个地孔和两个第一差分阻抗条,每个第一差分阻抗条均包括多个相互串联的第一阻抗线;第二阻抗层设于第一阻抗层下方,该第二阻抗层上设有两个第二差分阻抗条,每个第二差分阻抗条均包括多个相互串联的第二阻抗线;两个第一过孔均位于第一阻抗层和第二阻抗层之间;第三阻抗层设于第二阻抗层下方,该第三阻抗层上设有两个第三差分阻抗条,每个第三差分阻抗条均包括多个相互串联的第三阻抗线;两个第二过孔均位于第二阻抗层和第三阻抗层之间本实用新型既可以降低阻抗条空间占有率,又可以提高阻抗测量效率。
  • 阻抗结构
  • [发明专利]一种匹配器及其匹配方法-CN200710177433.4有效
  • 武晔 - 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
  • 2007-11-15 - 2009-05-20 - H05H1/46
  • 本发明提供了一种射频阻抗匹配器,包括:第一传感器,用于检测匹配网络的输入阻抗;第二传感器,用于检测匹配网络的负载阻抗;包括当前阻抗计算单元、匹配阻抗计算单元和调整量计算单元的控制器;所述当前阻抗计算单元用于依据所述输入阻抗和负载阻抗计算得到可变阻抗元件的当前阻抗值;所述匹配阻抗计算单元用于当所述输入阻抗与射频发生器的输出阻抗不匹配时,依据所述负载阻抗和输出阻抗计算得到可变阻抗元件的匹配阻抗值;所述调整量计算单元用于依据所述可变阻抗元件的当前阻抗值和匹配阻抗值,计算得到所需的针对可变阻抗元件的调整量;执行机构,用于依据所述调整量对可变阻抗元件进行调整。
  • 一种配器及其匹配方法
  • [发明专利]一种阻抗匹配装置和等离子体处理设备-CN201610256874.2有效
  • 师帅涛 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2016-04-22 - 2020-12-08 - H01J37/32
  • 本发明提供一种阻抗匹配装置和等离子体处理设备。该阻抗匹配装置包括检测控制单元和阻抗匹配单元,检测控制单元用于检测射频电源的阻抗,并控制阻抗匹配单元对射频电源的阻抗和反应腔室内的等离子体阻抗进行匹配,阻抗匹配单元包括阻抗调整组件,检测控制单元包括直流电流源,直流电流源连接阻抗匹配单元,阻抗调整组件能根据直流电流源输出的电流调整阻抗匹配单元的阻抗,以使射频电源的阻抗和等离子体阻抗匹配。该阻抗匹配装置实现了直流电流控制下的阻抗匹配单元阻抗调整,这能使阻抗匹配单元实现较大范围的匹配阻抗调整,从而增大了阻抗匹配装置的阻抗匹配范围;同时,还能实现阻抗匹配单元的快速阻抗匹配,并降低阻抗匹配装置的匹配成本
  • 一种阻抗匹配装置等离子体处理设备
  • [发明专利]阻抗匹配器、半导体设备和阻抗匹配方法-CN201110409326.6无效
  • 成晓阳 - 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
  • 2011-12-09 - 2013-06-19 - H03H7/38
  • 本发明公开了一种阻抗匹配器、半导体设备和阻抗匹配方法。阻抗匹配器包括阻抗传感器、阻抗匹配网络、运算控制单元和执行单元,阻抗传感器包括采样模块、滤波模块和信号处理模块;采样模块用于对阻抗匹配网络的输入端进行测量得出阻抗测量信号;滤波模块用于滤除阻抗测量信号中的特定频率的干扰信号;信号处理模块用于对滤波处理后的阻抗测量信号进行运算处理生成阻抗匹配网络的输入阻抗相关信号;运算控制单元用于对输入阻抗相关信号进行运算处理生成阻抗调节数据;执行单元用于根据阻抗调节数据对阻抗匹配网络进行调节以使调节后的阻抗匹配网络的输入阻抗和射频电源的输出阻抗共轭匹配本发明使阻抗匹配器准确的实现阻抗匹配。
  • 阻抗配器半导体设备阻抗匹配方法
  • [其他]传输线路-CN202190000529.7有效
  • 水上隆达;毛塚修一;用水邦明;永井智浩 - 株式会社村田制作所
  • 2021-05-27 - 2023-07-14 - H01P3/08
  • 传输线路具有第1阻抗区间、第2阻抗区间、第3阻抗区间、阻抗变换区间以及反射区间。第2阻抗区间、反射区间、第1阻抗区间、阻抗变换区间以及第3阻抗区间沿着信号导体层依次连续地排列。第1阻抗区间的特性阻抗比第2阻抗区间的特性阻抗以及第3阻抗区间的特性阻抗低。反射区间中的每单位长度的特性阻抗的变化量大于阻抗变换区间中的每单位长度的特性阻抗的变化量。反射区间是在第1阻抗区间与第2阻抗区间之间包含在前后方向上延伸的边的区间。第1阻抗区间、第2阻抗区间以及第3阻抗区间的线宽实质上固定。
  • 传输线路
  • [发明专利]用于阻抗校准的搜索-CN201610489561.1有效
  • 三轮仁志;斯拉万蒂·阿德帕利;斯里得哈·亚达拉 - 桑迪士克科技有限责任公司
  • 2016-06-28 - 2019-12-31 - G11C29/50
  • 本发明公开了用于阻抗校准的搜索。本发明涉及一种非易失性存储器装置。非易失性存储系统包括阻抗代码校准电路。该装置具有分别耦接至校准节点的第一可变阻抗电路和第二可变阻抗电路。该装置具有控制电路,该控制电路被配置成访问用于先前的阻抗校准的先前的阻抗代码并且将先前的阻抗代码划分成主阻抗代码和剩余阻抗代码。控制电路被配置成以施加于第一可变阻抗电路的主阻抗代码开始执行对新阻抗代码的搜索,同时保持施加于第二可变阻抗电路的剩余阻抗代码。控制电路被配置成将针对第一可变阻抗电路的最终阻抗代码与剩余阻抗代码相加,以生成用于阻抗校准的新阻抗代码。
  • 用于阻抗校准搜索

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