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[实用新型]处理焦炉煤气脱硫产低纯硫磺及副盐废液的装置-CN201822210127.2有效
发明人：张素利;王嵩林;刘元德;白玮;赵虎 -专利权人：中冶焦耐（大连）工程技术有限公司
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2019-10-18 - 主分类号： C01B17/80 文献下载
摘要：本实用新型涉及处理焦炉煤气脱硫产低纯硫磺及副盐废液的装置，包括原料预处理单元、焚烧单元、余热回收单元、净化单元、干燥单元、转化单元、吸收单元、尾气洗净单元，所述的原料预处理单元、焚烧单元、余热回收单元、净化单元、干燥单元、转化单元、吸收单元和尾气洗净单元按照工艺流程依次设置。本实用新型的有益效果是：与现有技术相比本实用新型焚烧单元采用富氧燃烧技术，有效降低工艺气量和提高工艺气中SO₂浓度，节省建设投资及运行成本，保证二转二吸技术的自热平衡；转化单元和吸收单元采用二转二吸技术，将SO₂转化率从97.5％提高到99.9％以上，显著提高硫的回收率，大幅降低吸收工序后尾气中SO₂含量，提高工艺环保水平。
本实用新型吸收单元原料预处理单元焦炉煤气脱硫余热回收单元尾气焚烧干燥单元净化单元硫磺废液副盐洗净转化富氧燃烧环保水平依次设置运行成本工艺流程工艺气热平衡气量回收率吸收保证投资建设

[发明专利]一种刻蚀腔室清洁系统、清洁方法及半导体刻蚀设备-CN202110507244.9在审
发明人：李相龙;周娜;李俊杰;李琳;王佳 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司
申请日： 2021-05-10 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种刻蚀腔室清洁系统、清洁方法及半导体刻蚀设备，属于集成电路制造技术领域，解决了现有刻蚀腔室环境稳定性差导致的刻蚀工艺漂移的问题。本发明的刻蚀腔室清洁系统，包括用户操作单元、晶圆工艺采集单元和刻蚀腔室清洁单元，晶圆工艺采集单元与刻蚀设备连接，用于收集晶圆刻蚀过程中的工艺参数；用户操作单元能够根据晶圆工艺采集单元收集的数据，设定刻蚀腔室清洁参数；刻蚀腔室清洁单元与刻蚀设备连接，用于控制刻蚀设备执行腔室刻蚀清洁过程。本申请能够有效去除刻蚀腔室内部的颗粒物，维持刻蚀腔室的环境一致性，保证晶圆的刻蚀速率及刻蚀均匀性等工艺参数的稳定性，避免刻蚀工艺的漂移，有效提高了晶圆良率。
一种刻蚀清洁系统方法半导体设备

[发明专利]一种基于PDM系统牵引逆变器BOM的结构处理方法和系统-CN202211612993.9在审
发明人：焉文海;尚冰;汪盼盼;林俊 -专利权人：中车大连电力牵引研发中心有限公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G06F16/11 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于PDM系统牵引逆变器BOM的结构处理方法和系统，包括：PDM数据模块，用于生成牵引逆变器的初级工艺BOM文件；数据库模块，用于存储与初级工艺BOM文件相关联的数据；易语言处理模块，包括：层级分配处理单元、数量数据处理单元、同类项数据处理单元和数据库数据处理单元；四个处理单元可以对上述两个模块生成的数据进行重排与整合；工艺定额模块，用于将经过四项处理后的初级工艺BOM文件转换成牵引逆变器的工艺定额本发明通过易语言处理模块中的四个处理单元，对初级工艺BOM文件进行信息重排和整合，使输出的牵引逆变器工艺定额BOM文件具有更高的整体性和灵活性。
一种基于 pdm 系统牵引逆变器 bom 结构处理方法

[实用新型]一种回流焊工艺模块结构-CN202122580264.7有效
发明人：刘正伟;陈酉冰;钱燕娟 -专利权人：江苏雷博微电子设备有限公司
申请日： 2021-10-26 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： B23K3/00 文献下载
摘要：本实用新型一种回流焊工艺模块结构，包括下加热盘体、上加热盘体、装载单元、冷板单元、旋转传片单元、上密封腔体、下密封腔体等结构。装载单元及旋转传片单元负责将晶圆从FOUP中传递到下加热盘体中，进行回流工艺时上密封腔体下降，与下密封腔体形成密封的真空腔体，控制下加热盘体与上加热盘体温度，同时向腔体内填充含有甲酸的氮气，完成晶圆的回流工艺后，冷板单元用于冷却工艺结束后的晶圆。本实用新型适用于晶圆封装制程中的回流焊工艺，与传统的回流焊设备相比，具有工艺简单，产能高，单片的工艺成本低等特点。
一种回流焊工模块结构

[发明专利]大方坯连铸生产过程工艺模拟与复现系统-CN200910011836.0无效
发明人：祭程;朱苗勇;李东辉 -专利权人：东北大学
申请日： 2009-06-03 - 公布日： 2009-10-21 - 主分类号： B22D11/16 文献下载
摘要：大方坯连铸生产过程工艺模拟与复现系统，属于冶金连铸的生产过程模拟领域，该系统由面向对象显示模块、数据库存储模块和模拟计算模块三个功能模块构成：其中，面向对象显示模块包括输入单元和输出单元，其中输入单元用于系统数据的设定和数据初始化，输入单元中设定的数据存入数据库；输出单元用于系统的计算结果显示；模拟计算模块，包括数据接收单元、动态小单元跟踪单元和工艺模型判断单元。本发明模拟与复现系统的可以方便对实际生产工艺流程的诊断和研究分析，本发明提出的系统可以实现对现场生产过程的工艺复现功能，从而为工艺诊断和铸坯质量问题研究提供了定量数据支持。
大方坯连铸生产过程工艺模拟复现系统

[实用新型]一种工艺边挖槽的PCB拼板-CN202221865174.0有效
发明人：王世超;陈长荣;贾涛 -专利权人：山东中维世纪科技股份有限公司
申请日： 2022-07-20 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： H05K1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种工艺边挖槽的PCB拼板，涉及PCB拼板技术领域。本实用新型包括排布在其上的若干个视频监控主板单元板，所述单元板包括安装在其上的CPU主芯片、DDR芯片和EMMC芯片，单元板板型为L型；L型单元板两两倒扣排布，各单元板之间留有空隙，且在紧贴单元板的左右两边设置有工艺边，工艺边与单元板通过V‑CUT方式进行连接，EMMC芯片安装在单元板靠近板边的位置，在每个单元板紧挨EMMC芯片的工艺边上开设宽1mm，长度为18.684mm的槽。本实用新型通过在PCB拼板的工艺边上挖槽解决V‑CUT分板造成周边芯片焊接受损的问题。
一种工艺边挖槽 pcb 拼板

[发明专利]有机热载体在线气提清除裂解轻组分的工艺及装置-CN201610720374.X在审
发明人：耿臣;徐海;李发海;孙业辉;吕东岳;朱文 -专利权人：山东恒利热载体工程技术有限公司
申请日： 2016-08-25 - 公布日： 2016-11-23 - 主分类号： B01D3/06 文献下载
摘要：有机热载体在线气提清除裂解轻组分的工艺及装置，属于导热油净化工艺及设备领域。其特征在于：包括工作舱、进液单元、进液分配单元、真空清除单元和出液单元，工作舱上方设置进液单元，工作舱的下方设置出液单元；进液单元连接进液分配单元；进液分配单元下方设置两组以上的真空清除单元；真空清除单元连接出液单元；进液单元和出液单元分别连接有机热载体循环管路。根据GB23971标准，有机热载体闪点≤100℃，初馏点≤系统内工艺温度时，就达到报废标准，即造成了用户巨大的经济损失，也浪费了重要的石油资源。本工艺可实现资源循环利用，该处理方式可节省95%以上资源及≥80%换油资金。
有机热载体在线清除裂解组分工艺装置

[发明专利]流量控制方法及装置、反应腔室-CN201810015300.5有效
发明人：陈路路 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-01-08 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本发明提供了一种流量控制方法及装置、反应腔室，其通过向其中一个工艺腔室的第二控制单元发送工艺使能信号，并使第二控制单元根据工艺使能信号，与第一控制单元联网，以能够通过第二控制单元将目标流量值发送至第一控制单元，从而实现自动控制第一控制单元将公共流路向至少一个进行工艺的工艺腔室中通入的公共流体的流量调节至目标流量值，而无需人工配置，进而提高了控制精确性。
流量控制方法装置反应

[发明专利]一种模块化复合材料成型设备及使用方法-CN202010584116.X在审
发明人：辛朝波 -专利权人：廊坊市飞泽复合材料科技有限公司
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： B29C70/46 文献下载
摘要：本申请提供一种模块化复合材料成型设备及使用方法，包括至少一个压机单元、至少一个功能单元及至少一个工艺单元；压机单元包括压机本体、模具及集成控制单元；模具设置在压机本体上并与压机本体相连接；功能单元通过第一硬件接口与压机本体及模具相连接，通过第一控制接口与集成控制单元相连接；工艺单元通过第二硬件接口与压机本体及模具相连接，通过第二控制接口与集成控制单元相连接；每个功能单元和每个工艺单元分别集成在各自相应的可移动转移平台上。本申请能够适应复合材料生产的多元化发展，满足不同场合、不同规模的复合材料成型工艺的要求，且不同工艺成型设备之间能够低成本、快速化转换。
一种模块化复合材料成型设备使用方法

[发明专利]FinFET工艺标准单元库版图结构设计方法-CN201410724756.0有效
发明人：赵劼;钟汇才 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2014-12-02 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：一种FinFET工艺标准单元库版图结构设计方法，包括：步骤1，根据工艺仿真得到鳍片间距的容许值；步骤2，根据工艺设计规则定义金属层的布线间距，得到标准单元库中单元的高度的参考指标；步骤3，结合布线间距确定单元的版图结构的中线位置信息；步骤4，通过中线位置信息、工艺设计规则和鳍片间距的容许值，定义版图结构中单元的有源区宽度的容许值；步骤5，利用仿真迭代设计标准单元库中单元的有源区宽度，使得单元的时序参数达到最优。依照本发明的设计方法，根据工艺仿真的Fin间距容许值和标准单元库反相器性能要求，迭代设计出标准单元库单元版图结构中Fin间距的最优值，有效地提高FinFET自动化设计效率以及精度。
finfet 工艺标准单元版图结构设计方法

[实用新型]一种模块化复合材料成型设备-CN202021186012.5有效
发明人：辛朝波 -专利权人：廊坊市飞泽复合材料科技有限公司
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： B29C70/46 文献下载
摘要：本申请提供一种模块化复合材料成型设备，包括至少一个压机单元、至少一个功能单元及至少一个工艺单元；压机单元包括压机本体、模具及集成控制单元；模具设置在压机本体上并与压机本体相连接；功能单元通过第一硬件接口与压机本体及模具相连接，通过第一控制接口与集成控制单元相连接；工艺单元通过第二硬件接口与压机本体及模具相连接，通过第二控制接口与集成控制单元相连接；每个功能单元和每个工艺单元分别集成在各自相应的可移动转移平台上。本申请能够适应复合材料生产的多元化发展，满足不同场合、不同规模的复合材料成型工艺的要求，且不同工艺成型设备之间能够低成本、快速化转换。
一种模块化复合材料成型设备

[发明专利]具双频偏压源及单频等离子体产生源的蚀刻腔室-CN03818747.7无效
发明人：陈·津渊;法兰克·F·赫许丹瑞;卓根·V·波德兰斯尼克 -专利权人：应用材料有限公司
申请日： 2003-08-07 - 公布日： 2005-09-28 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种在晶片制造工艺中选择性控制腔室等离子体的方法及装置。此方法包括将制造工艺气体供应于腔室中的待处理晶片上方，并提供高频射频电力至等离子体产生单元，点燃该制造工艺气体形成等离子体。之后，将调变射频电力讯号耦接偏压单元，并依据特定制造工艺处方进行该晶片的制造工艺。此装置包括一个偏压单元及一个等离子体产生单元，其中偏压单元系设置于腔室中，适于承载晶片；等离子体产生单元系设置于偏压单元及晶片上。第一电源系与等离子体产生单元耦接，第二电源系与偏压单元耦接，第三电源系与偏压单元耦接，并且第二和第三系提供调变讯号给偏压单元。
双频偏压等离子体生源蚀刻

[发明专利]外延设备-CN201810058600.1在审
发明人：李国强;林宗贤;吴龙江 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-01-22 - 公布日： 2018-07-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种外延设备，包括：工艺腔室；位于工艺腔室中的基台，所述基台用于固定晶圆并带动所述晶圆旋转；位置检测单元，所述位置检测单元用于检测基台上的放置的晶圆是否发生偏移，并获得晶圆在基台上的偏移位置；位于基台一侧的气体供应单元，所述气体供应单元用于向工艺腔室中供应工艺气体，以在晶圆的表面形成膜层，在位置检测单元检测到基台上的晶圆存在偏移，在形成膜层时，当晶圆的偏移位置旋转到面向气体供应单元的一侧时，气体供应单元增大向工艺腔室中供应工艺气体的量
晶圆气体供应单元工艺腔室位置检测单元外延设备偏移基台供应工艺气体偏移位置膜层表面形成膜层表面形成厚度均匀检测

[发明专利]一种航空零部件自动化无氰镀镉装置系统及其工艺-CN202011123160.7在审
发明人：阚艳;孙涛;张泽齐;皮志超;李柱祥 -专利权人：上海航翼高新技术发展研究院有限公司
申请日： 2020-10-20 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： C25D19/00 文献下载
摘要：本发明涉及航空零部件加工制造技术领域，具体为一种航空零部件自动化无氰镀镉装置系统及其工艺，所述系统包括：现场采集单元、程序控制单元和工艺管理单元；所述现场采集单元用于接收控制指令，并控制所述负载组件完成作业；所述程序控制单元设置有多组，用于下发控制指令到所述负载组件进行作业，并采集所述负载组件的作业数据；所述工艺管理单元用于编制负载组件的工艺参数，存储和处理所述程序控制单元采集的作业数据。该无氰镀镉方法包括：预前处理、无氰镀镉和后处理，本发明自动化程度高，能对无氰镀镉工艺流程进行监控和管理，提高生产质量和生产效率，且工艺流程简单连贯。
一种航空零部件自动化无氰镀镉装置系统及其工艺

[发明专利]一种碱液浓度在线检测装置-CN202211057366.3在审
发明人：王宏叶;赵长森;牛强;钱荧辉 -专利权人：鄂尔多斯市瀚博科技有限公司;内蒙古鄂尔多斯电力冶金集团股份有限公司;鄂尔多斯市西金矿冶有限责任公司
申请日： 2022-08-30 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： B01D1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种碱液浓度在线检测装置，属于碱液浓缩技术领域，包括浓缩工艺单元和初始端，浓缩工艺单元包括加热器、蒸发罐、降温装置、第二化工泵、浓度检测仪、调节阀和控制器，初始端包括加热器、蒸发罐、自循环化工泵和第一化工泵，浓缩工艺单元与初始单元之间串联连接，所述浓缩工艺单元中的降温装置与浓度检测仪连接，浓度检测仪与控制器电连接，控制器与调节阀电连接，控制器控制调节阀开度大小，从而达到精准控制蒸汽用量的作用。每一级浓缩工艺单元中的蒸发罐与上一级浓缩工艺单元中的调节阀通过管道连接，从而将蒸发罐中的蒸汽通过所述调节阀输入上一级浓缩工艺单元的加热器中，从而达到节省蒸汽、节省能源的效果。
一种浓度在线检测装置

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