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[发明专利]激光退火设备的光束检测装置及方法-CN202011643342.7有效
发明人：王瑜;侯煜;岳嵩;王然;张紫辰 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： G01J1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种激光退火设备的光束检测装置，包括：激光发生器，用于产生能沿退火加工路径进行移动的激光束；光斑形貌检测仪，设置在所述激光束的光路上，所述激光束照射在所述光斑形貌检测仪上形成光斑，以使所述光斑形貌检测仪对所述光斑进行检测；三维运动平台，设置在工件台下方，所述三维运动平台与所述光斑形貌检测仪连接；所述三维运动平台能带动所述光斑形貌检测仪上升至晶圆加工时所处的第一平面，并带动所述光斑形貌检测仪在所述第一平面内沿所述退火加工路径与所述激光束同步运动本发明能够准确的测量激光退火加工过程，从而准确的获得光斑参数。
激光退火设备光束检测装置方法

[发明专利]一种光斑形貌测量装置、测量方法及激光退火设备-CN202110641502.2在审
发明人：刘晓;黄元昊;刘洋;魏礼俊;刘志宇 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-06-09 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种光斑形貌测量装置、测量方法及激光退火设备。其中包括：工件台和光斑形貌测量单元；光斑形貌测量单元用于将硅片上的光斑在第一方向上分割为多个能量分布区，其中，第一方向为硅片所在平面中的任一方向；还用于按照能量分布区在光斑中的位置，依次以不同的采集时间采集不同能量分布区中的辐射能量，其中，距离光斑的边缘越近的能量分布区所对应的采集时间越长；还用于根据不同能量分布区中的辐射能量，拼接形成光斑的能量分布图，获得光斑的形貌。本发明实施例能够解决现有激光光斑测量技术对于光斑边缘区域的测量容易失真的问题，保证激光光斑采集的准确性，提高光斑形貌的检测精度，避免失真情况的发生。
一种光斑形貌测量装置测量方法激光退火设备

[发明专利]一种激光扫描封装系统及方法-CN201710781330.2有效
发明人：李水艳;朱锋 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-09-01 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： C03B23/203 文献下载
摘要：本发明提供了一种激光扫描封装系统及方法，包括用于提供入射激光的光源模块、微反射镜阵列以及控制模块，所述控制模块通过调整所述微反射镜阵列，进而对所述入射激光进行光斑调制，所述光斑调制包括对所述入射激光进行光斑形貌调制及光斑能量分布调制，因此可根据所需封装区域的形貌以及尺寸实时进行光斑形貌调制及光斑能量分布调制，达到了光斑形貌匹配封装区域以及封装区域能量均匀分布的目的，提高了激光扫描玻璃封装的工艺适用性，通过设置反射镜组调节所述调制光斑的反射方向进而达到激光扫描封装区域的目的
一种激光扫描封装系统方法

[发明专利]适用于高反光元件三维形貌测量中的畸变光斑校正方法-CN202310584903.8在审
发明人：陈梅云;黄心阳;杜敏杰;张静瑜;陈勃睿 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G06T5/00 文献下载
摘要：本发明涉及精密光学检测工程技术领域，更具体地说，它涉及一种适用于高反光元件三维形貌测量中的畸变光斑校正方法，其技术方案要点是：使用复光束角度传感器扫描金属圆柱状元件并采集多光斑图像数据集，由于元件金属材质的高反光特性与粗糙度等因素会造成多光斑图像产生非线性畸变，影响三维形貌重建的精度，因此设计畸变光斑校正网络对图像进行校正以获得理想光斑图像。通过霍夫圆检测算法精确提取图像中光斑的中心坐标，对处理后的图像进行分割，提取出多张子光斑图像并实现亚像素级别光斑中心坐标提取，坐标定位精度可以达到0.02pixel，提高了后续元件三维形貌重建的精度。本发明的优点抗干扰能力强，计算速度快，可实现亚像素级别的光斑中心提取。
适用于反光元件三维形貌测量中的畸变光斑校正方法

[发明专利]适用于高精度形貌测量的深度学习畸变光斑中心提取方法-CN202110111535.6有效
发明人：陈梅云;陈锦标;庞水玲;苏毅航;林健;吴衡;王晗 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2021-01-27 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： G06T7/11 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于高精度形貌测量的深度学习畸变光斑中心提取方法，包括以下步骤：S1、通过复光束角度传感器采集多光斑图像，进行光斑判别；S2、对经过光斑判别后的多光斑图像进行光斑分割；S3、进行基于DSCNet的光斑校正，使畸变光斑的能量分布近似于高斯光斑；S4、进行高斯拟合法中心提取。本发明能够校正畸变光斑，提高畸变光斑中心的提取精度，自适应能力强，提高复光束角度传感器的测量精度。通过本发明，复光束角度传感器能够准确地测量大曲率工件的三维形貌，能在工业上得到广泛应用。
适用于高精度形貌测量深度学习畸变光斑中心提取方法

[实用新型]一种激光退火设备自动检焦装置-CN202223372710.6有效
发明人：姜仔达;袁果 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： C21D1/26 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种激光退火设备自动检焦装置，包括一种激光退火设备自动检焦装置，包括激光系统、衬底、与所述激光系统配合用于放置所述衬底的片台、用于检测所述激光系统的光斑的形貌仪、测距感应器、图像采集及控制系统；所述激光系统与所述片台之间的距离可调节，所述激光系统与所述形貌仪之间的距离可调节，所述测距感应器用于测量激光系统的激光镜头到所述形貌仪、所述片台或所述衬底的距离；所述激光系统、测距感应器、形貌仪、片台均与图像采集及控制系统信号连接基于本实用新型的技术方案，通过采集激光光路照射到形貌仪的光斑，通过在高度调整及测距感应器的反馈调节确定最小光斑位置并保存为样本光斑，实现焦距的自动检测；通过与样本光斑的对比，实现工艺的稳定性监控，并针对不同片厚产品实现自动调节焦点
一种激光退火设备自动装置

[发明专利]一种抑制激光光斑杂讯提升稳定性的三维形貌扫描系统-CN201610946431.6有效
发明人：蔡政廷;翁義龙 -专利权人：致茂电子股份有限公司
申请日： 2016-10-26 - 公布日： 2019-07-26 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种抑制激光光斑杂讯提升稳定性的三维形貌扫描系统，包含线光源、旋转镜与影像撷取装置。线光源提供线光束。旋转镜将线光束反射至待测面，以于待测面上形成照射区域。旋转镜旋转使得照射区域摆动，且不同时刻的照射区域互相重叠，借此达到模糊光斑的效果。影像撷取装置用以撷取待测面上的照射区域的影像计算出立体形貌。三维形貌扫描系统因线光束于待测面上形成的照射区域会随着时间摆动，且不同时刻的照射区域互相重叠，因此即使线光束会在待测面上形成光斑，光斑亦会因摆动的照射区域而模糊化。
一种抑制激光光斑杂讯提升稳定性三维形貌扫描系统

[发明专利]用于光斑图像的显示元件-CN202180006681.0有效
发明人： S.海勒;K.H.谢尔勒;M.霍弗;R.德默尔 -专利权人：捷德货币技术有限责任公司
申请日： 2021-01-21 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B42D25/324 文献下载
摘要：显示元件设计用于在通过光源照明时产生由多个光斑组成的光斑图像，光斑对于观察者显现为悬浮在面区域的上方或者下方，所述光斑以其表观悬浮高度的连续变化遵循预设的、相对于面区域凸出和/或凹入的表面形貌。光斑图像的每个光斑配置有多个光学元件，所述光学元件共同形成菲涅尔结构，在照明显示元件时，菲涅尔结构的光学元件共同作用，以便产生配属于它们的光斑。菲涅尔结构的光学元件的斜度分别这样相互协调适配，使得它们连续地改变菲涅尔结构的焦距并且由此使得所产生的光斑对于观察者看上去遵循预设的表面形貌。
用于光斑图像显示元件

[发明专利]电子束熔丝增材制造过程的零件形貌三维重建方法及装置-CN201910840601.6有效
发明人：都东;常树鹤;张昊宇;王力;常保华;彭国栋;魏昂昂 -专利权人：清华大学
申请日： 2019-09-06 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： B23K15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种电子束熔丝增材制造过程的零件形貌三维重建方法及装置，其中，方法包括以下步骤：控制待沉积增材工件根据设定轨迹运动至目标位置；在采样时刻t，采集当前电子束光斑图像和工作台的XY位置信息，对初始图像进行图像处理，获得光斑位置信息；根据光斑位置信息的电子束光斑的重心的坐标信息获得工件的当前高度；根据XY位置信息和当前高度识别当前位置下的工件形貌，并将待沉积增材工件移动至下一目标位置，直至所有待检测区域的目标位置重建完成，得到零件形貌三维重建结果。该方法可以根据工艺要求，通过电子束光斑位置信息，实现对电子束熔丝增材制造中的零件三维重建，无需额外的激光测距仪。
电子束熔丝增材制造过程零件形貌三维重建方法装置

[发明专利]可改变激光焦点位置光斑大小及形貌的激光扫描装置与扫描方法-CN202011614625.9在审
发明人：刘捷;王克鸿;彭勇;邢飞;徐国建;唱丽丽 -专利权人：南京理工大学;南京中科煜宸激光技术有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本发明提供一种可改变激光焦点位置光斑大小及形貌的激光扫描装置与扫描方法，包括：激光源、准直透镜组、扩束透镜组、微透镜阵列，具有N*N阵列式排布的微透镜光学单元，用于对扩束后的光束进行匀化处理，形成均匀的光强分布输出，将光斑能量变为平顶分布；扫描振镜系统；以及场镜系统；其中，准直透镜组安装在可沿着光轴方向前后移动的移动平台上，通过移动平台的前后移动改变激光焦点位置的光斑大小；激光焦点处于扩束透镜组及微透镜阵列的入射焦点正中央位置本发明的激光扫描装置与扫描方法，提供稳定且激光焦点位置光斑大小及形貌可调的光斑输出，激光光斑的能量分布从传统的高斯分布变为均匀的平顶分布，实现光强的均匀化处理。
改变激光焦点位置光斑大小形貌扫描装置方法

[实用新型]可改变激光焦点位置光斑大小及形貌的激光扫描装置-CN202023284695.0有效
发明人：刘捷;王克鸿;彭勇;邢飞;徐国建;唱丽丽 -专利权人：南京理工大学;南京中科煜宸激光技术有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本发明提供一种可改变激光焦点位置光斑大小及形貌的激光扫描装置，包括：激光源、准直透镜组、扩束透镜组、微透镜阵列，具有N*N阵列式排布的微透镜光学单元，用于对扩束后的光束进行匀化处理，形成均匀的光强分布输出，将光斑能量变为平顶分布；扫描振镜系统；以及场镜系统；其中，准直透镜组安装在可沿着光轴方向前后移动的移动平台上，通过移动平台的前后移动改变激光焦点位置的光斑大小；激光焦点处于扩束透镜组及微透镜阵列的入射焦点正中央位置本发明的激光扫描装置与扫描方法，提供稳定且激光焦点位置光斑大小及形貌可调的光斑输出，激光光斑的能量分布从传统的高斯分布变为均匀的平顶分布，实现光强的均匀化处理。
改变激光焦点位置光斑大小形貌扫描装置

[发明专利]一种基于红外衍射光斑和双目视觉的浑水三维点云测量方法-CN202210829794.7在审
发明人：邵新星;童子祥;谷柳凝;侯士通;胡晓函;吴刚;何小元 -专利权人：东南大学
申请日： 2022-07-13 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于红外衍射光斑和双目视觉的浑水三维点云测量方法，该方法包括如下步骤：（1）搭建基于红外衍射光斑和双目视觉的水下光学三维形貌测量系统；（2）构建水下红外相机成像模型，对水下红外相机系统的折射参数进行标定，校正因为介质折射率不同导致的偏差；（3）在被测物体表面投射红外衍射光斑，作为被测物表面的形貌信息载体；（4）相机采集图像，基于浑水图像退化模型对采集的图像做图像增强处理；（5）通过计算得到某阶段物体表面局部光学三维形貌点云数据，移动光学测量装置得到各阶段物体表面局部光学三维形貌点云数据。
一种基于红外衍射光斑双目视觉浑水三维测量方法

[发明专利]激光干涉仪反射镜形貌测量方法和光刻装置-CN201710210551.4有效
发明人：黄阳;韩春燕;王献英 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2017-03-31 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种激光干涉仪反射镜形貌测量方法和光刻装置，测量方法包括：使基底上产生至少两个光斑，记录此时所有光斑的垂向高度；将工件台在水平面上在同一个方向上移动若干次，每次移动时，使得其中一个光斑移动至另一个光斑在移动前所在的位置，将另一个光斑在移动前所在的垂向高度减去一个光斑在移动后所在的垂向高度得到的差值即为长条镜上相应的点的高度变化，若干个长条镜上的点的高度变化组成了长条镜的镜面在该方向上形貌变化。本发明去掉了用于校准的标准干涉仪，方便在装配好的光刻机上使用；设置了间距并不一定相等的至少两个光斑，既提高了测量精度又不会大幅度增加FLS的光斑个数；减少了基底测量区域，使校准花费的时间更短。
光斑垂向激光干涉仪移动高度变化光刻装置形貌测量校准反射镜测量光斑移动基底测量形貌变化镜面干涉仪工件台上移动光刻基底减去相等装配记录

[发明专利]一种阵列探测法激光光斑图像的复原显示方法-CN201811465657.X有效
发明人：谢贤忱;杨鹏翎;陈绍武;赵海川;王振宝;王飞;张磊;武俊杰 -专利权人：西北核技术研究所
申请日： 2018-12-03 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： G06T5/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种阵列探测法激光光斑图像的复原显示方法，利用频域滤波方法将混叠的高频成分滤除，保留的低频成分包含了长曝光积分光斑的大部分信息，重构阵列采样所丢失的数据，进而将光斑形貌近似恢复出来。与现有的线性插值法相比，可以降低复原光斑的误差，对探测点的布放位置不敏感，从而更为准确地复原光斑图像。
一种阵列探测激光光斑图像复原显示方法

[发明专利]一种基于小斑点磁流变抛光的小型曲面类零件亚表面损伤检测方法-CN202310932931.4在审
发明人：陈明君;秦彪;刘赫男;吴春亚;程健 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-07-27 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：包括如下过程：对小型曲面零件进行单点抛光，对小型曲面零件进行刻蚀；获取刻蚀后小型曲面零件抛光斑点的三维形貌轮廓，截取其二维轮廓得到抛光斑点截面轮廓，所述抛光斑点截面轮廓包括磨削区域和抛光区域；使用显微镜对刻蚀后抛光斑点的微观表面形貌进行观测，测量抛光斑点处亚表面裂纹消失处距离抛光交界线的水平距离D；重构被去除材料拟合轮廓曲线，计算抛光斑点截面轮廓上裂纹消失处距离被去除材料拟合轮廓曲线的最短距离，得到亚表面损伤深度结果。
一种基于斑点流变抛光小型曲面零件表面损伤检测方法

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