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[发明专利]一种光学测量系统-CN202210552294.3在审
发明人：谢婉露;吴晓斌;沙鹏飞;韩晓泉;王魁波;李慧;罗艳;谭芳蕊;马赫 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-05-20 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G01N21/59 文献下载
摘要：本公开涉及一种光学测量系统，包括：光源腔室，用于产生并处理光束，辐射出极紫外单色光；光学测量腔室，用于测量待测光学器件的性能参数；插板阀，用于分隔所述光源腔室和所述光学测量腔室。所述光学测量腔室内具有测量光学器件性能参数的调节及探测部件以及归一化能量测试装置。
一种光学测量系统

[发明专利]光学元件曲率检测方法、装置、设备及可读存储介质-CN202310383716.3在审
发明人：潘亮;植才晶;邓卫国;潘澍明;罗航 -专利权人：安徽光智科技有限公司
申请日： 2023-04-06 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01B5/20 文献下载
摘要：本申请提供一种光学元件曲率检测方法、装置、设备及可读存储介质，当需要对较小规格的光学元件进行测试时，本申请提供的光学元件测量装置结构简单，安装便捷，操作简单，且工艺较精细，可以应用于规格较小的光学元件的测量，其工艺设计可以满足高精密球径仪测量环平行度标准,可以有效提高小规格产品的测量精度。进一步地，本申请实施例提供的检测方法操作简单，采用本申请实施例提供的光学元件测量装置可以有效提高待检测的产品的测量效率和测量精度。
光学元件曲率检测方法装置设备可读存储介质

[发明专利]多点测量配件、多点测量装置与多点测量系统-CN201610059222.X有效
发明人：曲昌盛;黎育腾;李业文;范植训;钟隆斌;陈治诚;钟双兆 -专利权人：台医光电科技股份有限公司
申请日： 2016-01-28 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： G01N21/41 文献下载
摘要：本发明涉及一种多点测量配件、多点测量装置、多点测量系统及其相关应用。多点测量配件包括多个反射式光学传感模组；一通信模组，与所述多个反射式光学传感模组电性连结；以及一外壳，容置所述多个反射式光学传感模组及所述通信模组；其中，所述外壳包括多个透明开口，且所述多个反射式光学传感模组相应设置于所述多个透明开口中多点测量装置包括前述多点测量模组、通信模组及外壳。多点测量系统则包括前述多点测量配件、微处理器、存储器、电源供应器以及外壳。藉由前述多点测量配件，获取一有限区域内的光学信息与电信息。
多点测量配件装置系统

[实用新型]一种集成视场、调制传递函数和对中测量的镜头检测设备-CN201921869767.2有效
发明人：卢道泼;严小超 -专利权人：信利光电股份有限公司
申请日： 2019-11-01 - 公布日： 2020-07-21 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种集成视场、调制传递函数和对中测量的镜头检测设备，包括设置于待测光学镜头光轴外的多个MTF测量装置、设置于待测光学镜头光轴上的测试光源，所述测试光源设置于待测光学镜头背向所述多个MTF测量装置的一端；所述多个MTF测量装置设置于待测光学镜头的像场中的多个位置处以测量调制传递函数；所述多个MTF测量装置可沿待测光学镜头的像场中心向外辐射方向做圆弧移动。该镜头检测设备集成了视场、调制传递函数和对中测量功能，具有测量项目多、测量速度快的优势。
一种集成视场调制传递函数测量镜头检测设备

[发明专利]光学系统、特别是微光刻投射曝光设备中的光学系统-CN201080053976.5有效
发明人： A.霍夫;D.纽格鲍尔;R.弗赖曼 -专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
申请日： 2010-09-08 - 公布日： 2012-08-22 - 主分类号： G01M11/00 文献下载
摘要：本发明关于一种光学系统，尤其是在微光刻投射曝光设备中的系统，其包含第一光学组件（110，210，910）、第二光学组件（120，220，920）、以及用于确定第一光学组件和第二光学组件在六个自由度上的相对位置的测量布置，其中测量布置用于确定第一光学组件及第二光学组件在六个不同长度测量区段（131-136;231-236）的相对位置，其中所述长度测量区段（131-136;231-236）直接延伸于第一光学组件（110，210，910）及第二光学组件之间（120，220，920）。
光学系统特别是微光投射曝光设备中的

[发明专利]光学关键尺寸数据库的建立方法、光学测量结构及其方法-CN202310196512.9在审
发明人：郝建新;张拥华;李荷莉 -专利权人：广州粤芯半导体技术有限公司
申请日： 2023-03-03 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本申请涉及一种光学关键尺寸数据库的建立方法、光学测量结构及其方法和系统。所述光学关键尺寸数据库建立方法包括：提供基准测量结构；基准测量结构上具有基准测量单元，包括：由形貌参数不同的至少两个基准子图形依序排列构成的基准组合图形。对基准测量单元进行光学关键尺寸测量，获取基准测量单元的混合光谱信息。获取基准测量单元中每个基准子图形对应的独立光谱信息和形貌参数，并根据独立光谱信息和形貌参数之间的对应关系确定第一相关函数。根据第一相关函数和第二相关函数，建立光学关键尺寸数据库。在光学测量中应用该数据库能够提高测量效率。
光学关键尺寸数据库建立方法测量结构及其

[实用新型]光学材料色散高精度测量装置-CN201420131316.X有效
发明人：周佺佺 -专利权人：成都光明光电股份有限公司
申请日： 2014-03-21 - 公布日： 2014-08-27 - 主分类号： G01N21/43 文献下载
摘要：本实用新型提供一种成本低、结构简单的对光学材料的色散进行高精度测量的装置。光学材料色散高精度测量装置，沿光路依次包括测角仪、透射式光学角规、平面反射镜和测微自准望远镜。本实用新型建立一套由测微自准望远镜和透射式光学角规构成的装置，利用透射式光学角规和测微自准望远镜测量光学材料的色散角以及一般精度的测角仪测量光学材料的顶角和偏向角，然后通过计算得到光学材料的色散值，避免使用高精度大型精密测角仪，从而实现低成本高精度测量光学材料的色散的目的。
光学材料色散高精度测量装置

[实用新型]一种同轴度光学检测装置-CN201220673302.1有效
发明人：程晋明;钱伟新;祁双喜;李泽仁;刘冬兵;王婉丽;彭其先 -专利权人：中国工程物理研究院流体物理研究所
申请日： 2012-12-10 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： G01B11/27 文献下载
摘要：本实用新型涉及同轴度检测领域，尤其是一种同轴度光学检测装置。本实用新型所要解决的技术问题是：为了克服现有的圆杆同轴度采用接触式测量和测量精度较低的缺点，本实用新型提供一种基于非接触测量的高精度同轴度光学检测装置，该装置可以实现非接触测量，且测量精度较高。一种同轴度光学检测装置包括第一光学检测装置、第二光学检测装置、处理器，所述第一光学检测装置、第二光学检测装置分别检测基准圆杆与相向圆杆数字图像信号，所述第一光学检测装置、第二光学检测装置输出信号发送至处理器
一种同轴光学检测装置

[发明专利]一种反射率综合测量方法-CN201010608932.6有效
发明人：李斌成;曲哲超;韩艳玲 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2010-12-17 - 公布日： 2011-08-31 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种反射率综合测量方法，步骤为：连续入射激光束被分束为参考光束和探测光束，参考光束被聚焦到光电探测器直接探测，探测光束注入光学谐振腔。在测量反射率大于99％的光学元件时采用光腔衰荡技术，分别测量初始光学谐振腔输出信号的衰荡时间τ0和加入待测光学元件后的测试光学谐振腔输出信号的衰荡时间τ1，计算得到待测光学元件反射率R。在R值小于99％时采用分光光度技术测量待测光学元件反射率。移走输出腔镜，从测试镜反射的探测光被聚焦到光电探测器探测，同时记录探测光束和参考光束光强信号比值，通过定标进而得待测光学元件反射率R。该反射率测量装置可测量任意反射率光学元件，而且可对大口径光学元件反射率分布实现高分辨二维成像。
一种反射率综合测量方法

[发明专利]X射线分析装置-CN200710142498.5有效
发明人：佐佐木明登;栗林文;森川惠一;西邦夫;大原孝夫;加藤寿之;辻优司 -专利权人：株式会社理学
申请日： 2007-08-27 - 公布日： 2008-03-05 - 主分类号： H05G1/58 文献下载
摘要：提供一种X射线分析装置，通过将测量种类的选择和光学部件的交换作业建立关联且用绘图将应当交换的光学部件的信息显示在画面上，而使测量准备作业变得容易。按照与X射线分析装置的测量准备作业关联的方式，在选择画面中，从多个测量种类中选择操作员所希望的测量种类，即可根据其测量种类，将应安装的光学部件及应卸下的光学部件的信息利用绘图显示在显示装置的画面上。操作员观察该作业指示，执行从X射线分析装置的光学系统卸下光学部件或者安装光学部件的作业。在利用绘图进行显示的情形中含有：图示应交换的光学部件(16、18)在光学系统上的位置；利用绘图记号(69)显示安装作业和卸下作业的区别；和显示光学部件的识别标记(70、72)。
射线分析装置

[发明专利]用于确定头戴式显示设备的光学性能的方法-CN201711037868.9有效
发明人： M·佩卢克斯;L·博卢恩;L·茹阿尔 -专利权人：依视路国际公司
申请日： 2017-10-30 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： G02B27/01 文献下载
摘要：本公开涉及用于确定头戴式显示设备的光学性能的方法，提供了用于确定与配戴者相适配的头戴式显示设备的光学性能参数的方法，该方法至少包括：头戴式显示设备提供步骤，在该步骤过程中，提供与配戴者相适配的头戴式显示设备；光学测量设备提供步骤，在该步骤过程中，提供光学测量设备，光学测量设备至少包括入射光瞳以及接收透过入射光瞳的光的传感器；定位步骤，在该步骤过程中，将光学测量设备和头戴式显示设备定位成使得在配戴者戴着头戴式显示设备时，光学测量设备的入射光瞳的位置与配戴者的瞳孔的位置相对应；光学性能参数确定步骤，在该步骤过程中，基于光学测量设备所测得的数据来确定头戴式透视显示设备的至少一个光学性能参数。
用于确定头戴式显示设备光学性能方法

[发明专利]身体脂肪测量装置和操作该装置的方法-CN200710147833.0有效
发明人：黄寅德;申健洙;金法敏 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2007-08-30 - 公布日： 2008-03-05 - 主分类号： A61B5/00 文献下载
摘要：提供一种使用包括光学检测器和至少两个光源单元的身体脂肪测量装置来测量身体脂肪的方法，该方法包括：通过光学检测器来检测从生物组织散射的光学信号，并测量第一光学信号强度和第二光学信号强度；利用第一光源单元和第二光源单元之间的距离以及第一光学信号强度和第二光学信号强度之差来计算第一光学信号强度和第二光学信号强度的斜率，所述第一光学信号强度对应于第一光源单元，第二光学信号强度对应于第二光源单元；从计算出的斜率来测量生物组织的身体脂肪厚度。
身体脂肪测量装置操作方法

[发明专利]一种基于ZEMAX仿真的激光追踪测量光学系统能量分析方法-CN201810138009.7有效
发明人：陈洪芳;汤亮;石照耀;孙衍强;宋辉旭 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2018-02-10 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于ZEMAX仿真的激光追踪测量光学系统能量分析方法，用于分析光学系统中各个光学元件对激光追踪测量系统所得能量的影响，在ZEMAX中分别对整个系统中所需要的每个光学元件进行仿真模型的建立，根据激光追踪测量的光学系统原理，进行顺序调整，多重结构参数的设置，以及各个光学元件之间的结构设计，建立激光追踪测量光学系统的仿真模型，得到能量结果。根据光学元件不同的应用条件和环境，分别进行相应的参数的设定，得到光学元件参数对光学系统能量的影响。利用仿真结果对光学系统进行系统优化和可靠性评估。
一种基于 zemax 仿真激光追踪测量光学系统能量分析方法

[发明专利]一种用于光学元件反射率/透过率测量的综合测量装置-CN201610973144.4在审
发明人：李斌成;崔浩;王静 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2016-11-04 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于光学元件反射率/透过率测量的综合测量装置，其中：激光光源分束成两束激光，一束激光耦合进入到稳定的光学谐振腔，采用光腔衰荡技术测量高反射光学元件(反射率大于99％)的反射率或高透射光学元件(透过率大于99％)的透过率；另一束激光进入分光光度法测量光路，利用比率法测量反射/透射光学元件(反射率/透过率小于99％)的反射率/透过率。本发明方法能测量反射/透射光学元件任意的反射率/透过率，并对高反射率/透过率测量的测量精度比传统分光光度技术高至少2个数量级。
一种用于光学元件反射率透过测量综合装置

[发明专利]钟表部件的测量设备-CN202110680013.8在审
发明人：马蒂厄·安斯蒂斯;罗恩·吕蒂;克里斯蒂安·穆然;奥利维尔·佩里恩雅克特;伊夫·萨尔瓦德 -专利权人：劳力士有限公司
申请日： 2021-06-18 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种钟表部件的测量设备，其包括测量单元、至少两个光学系统以及驱动单元。测量单元包括填充有液体并且具有平坦且平行的表面的测量通道。每个光学系统都包括：发光器，其适用于发出预定波长的光，从而照亮在所述测量区中存在于测量通道中并且在测量通道中被位移的钟表部件；以及光学传感器，其与发光器关联，以用于接收发光器发出的至少一部分光。光学系统在不同的相应波长下操作。驱动单元驱动光学系统并且处理从光学系统获得的数字数据。其被构造为对钟表部件的至少一种测量值进行计算。
钟表部件测量设备