专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]降低集成电路RC延迟的方法-CN201410403716.6在审
  • 雷通;桑宁波 - 上海华力微电子有限公司
  • 2014-08-15 - 2014-11-05 - H01L21/768
  • 本发明提供了一种降低集成电路RC延迟的方法,包括:在多孔低介电常数材料中形成铜互连结构,并且在对铜互连结构进行化学机械研磨平坦化处理;在形成铜互连结构的多孔低介电常数材料表面生长铜扩散介质阻挡层;通过光刻和刻蚀工艺将铜互连结构之外的区域的铜扩散介质阻挡层去除,保留铜互连结构上的铜扩散介质阻挡层;再次进行低介电常数材料的生长,从而在保留的铜扩散介质阻挡层和多孔低介电常数材料上形成上部多孔低介电常数材料层;对上部多孔低介电常数材料层进行表面平坦化处理。
  • 降低集成电路rc延迟方法

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