专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]控深盲孔加工工艺-CN201210553615.8在审
  • 刘海龙;罗斌;崔荣;韩雪川 - 深南电路有限公司
  • 2012-12-19 - 2014-06-25 - H05K3/00
  • 本发明适用于PCB板制作领域,提供了一种控深盲孔加工工艺,用于对PCB板进行钻盲孔,包括以下步骤:确定钻盲孔应达到的电路层位置;机械钻孔至邻接该指定电路的上一介质中;采用激光钻孔方式除去上述机械钻孔底部至所述指定电路间的介质通过先在PCB板上机械钻孔到指定电路的上一介质,再在上述机械钻孔中,用激光钻孔,除去指定电路上的介质,从而使盲孔刚好达到指定电路。可通过除去机械钻孔底部的介质,而不影响该介质下面的指定电路,从而使盲孔的深度刚好至指定电路,使盲孔的深度精确控制。由于不会影响指定电路,更不会影响指定电路下面的介质和电路,有效保证PCB板的质量和可靠性。
  • 控深盲孔加工工艺
  • [发明专利]提高金属连线电迁移可靠性的方法-CN201410111284.1在审
  • 赵龙;张亮;冷江华 - 上海华力微电子有限公司
  • 2014-03-24 - 2014-07-02 - H01L21/768
  • 本发明提供了一种提高金属连线电迁移可靠性的方法,包括:提供一半导体衬底,在其上沉积第一介质,采用单大马士革工艺在所述第一介质内形成第一金属;在所述第一介质上沉积第一阻挡,通过刻蚀形成凹槽,暴露出所述第一金属;形成第一金属保护填充所述凹槽;沉积第二介质,采用双大马士革工艺在所述第二介质上形成第二金属;然后形成第二金属保护以及后续的金属与金属保护。通过在每层金属上覆盖金属保护,有效改善金属表面的黏附性,尤其是铜表面的黏附性,抑制金属上表面与阻挡界面处的扩散现象,有效的提高金属连线电迁移的可靠性。
  • 提高金属连线迁移可靠性方法
  • [发明专利]金属互连线的形成方法-CN201410006930.8在审
  • 孔秋东 - 上海华虹宏力半导体制造有限公司
  • 2014-01-07 - 2014-04-16 - H01L21/768
  • 一种金属互连线的形成方法,包括:提供基底,在基底上形成有介质,在介质上形成有金属;在金属上形成抗反射,在抗反射上形成图形化的光刻胶,图形化的光刻胶定义金属互连线的位置;以图形化的光刻胶为掩模,湿法刻蚀抗反射;以图形化的光刻胶为掩模,刻蚀金属形成金属互连线和相邻两金属互连线之间的沟槽。湿法刻蚀抗反射,基本不会刻蚀图形化的光刻胶。这样,刻蚀金属过程和图形化的光刻胶的反应生成物之间保持相当的平衡,金属互连线的侧面得到良好保护,线宽与预定义线宽相符。
  • 金属互连形成方法
  • [发明专利]半导体激光芯片及其制造方法-CN201410207706.5在审
  • 胡海;何晋国 - 深圳清华大学研究院;深圳瑞波光电子有限公司
  • 2014-05-16 - 2014-07-30 - H01S5/02
  • 一种半导体激光芯片,包括一衬底,依次磊叠设于所述衬底一侧的一第一波导、一有源、一第二波导、一第一刻蚀阻挡、一第三波导,以及一欧姆接触,还包括设于第三波导和欧姆接触之间的一第二刻蚀阻挡,所述第二刻蚀完全覆盖第三波导,所述欧姆接触的长度和宽度均小于所述半导体芯片的长度和宽度。相比于现有技术,本发明的半导体激光芯片在欧姆接触下面设置了一刻蚀阻挡,将靠近半导体激光芯片腔面的部分欧姆接触蚀刻掉,同时实现P-面金属电极、欧姆接触相对于半导体激光芯片腔面的缩进,达到了有效的降低半导体激光芯片的腔面电流的效果
  • 半导体激光芯片及其制造方法
  • [发明专利]一种隔热保温材料-CN201510655771.9在审
  • 唐拥军 - 百色学院
  • 2015-10-12 - 2015-12-23 - B32B5/02
  • 本发明提供一种隔热保温材料,所述隔热保温材料包括保温、抗拉、防震、保护,保温一侧设有抗拉,抗拉另一侧设有所述防震,防震另一侧设有所述保护,所述保温由酚醛泡沫材料制成,且厚度为1-4cm,所述抗拉由编织布材料制成,且厚度为0.2-0.8cm,所述防震由铝箔材料制成,且厚度为0.2-0.4cm。本发明由聚氨酯材料制成的厚度为1-4cm保温,具有很好的保温效果,可减少能量损失;另外,采用编织布材料制成的厚度为0.5-0.8cm的抗拉,可有效提高隔热保温材料的抗拉和抗撕裂性能;再者,本发明增加铝箔材料制成的厚度为0.2-0.4cm的防震,可有效提高保温管的防震性能。
  • 一种隔热保温材料
  • [发明专利]一种改善MOS管的栅极漏电的方法-CN201210442282.1在审
  • 成鑫华;许升高;罗啸 - 上海华虹宏力半导体制造有限公司
  • 2012-11-07 - 2014-05-21 - H01L21/28
  • 本发明公开了一种改善MOS管的栅极漏电的方法,包含步骤如下:1.1.在硅衬底上形成一栅极介质;1.2.在上述的栅极介质上形成一掺杂多晶硅;1.3.在上述的掺杂多晶硅上形成一硅化钨;1.4.在上述的硅化钨上形成一低阻金属;1.5.重复1.3和1.4步骤,直至栅极金属的厚度满足器件需求;1.6.在上述组合的栅极金属上形成一栅极介质隔离层;1.7.利用光刻和各向异性的干法刻蚀形成栅极图形;1.8.栅极图形形成后进行高温热处理;1.9.制作栅极侧墙介质。该方法避免MOS管的栅极硅化钨晶粒在高温制程中剧烈增大,改善栅极的侧墙形貌,从而极大地减小栅极漏电。
  • 一种改善mos栅极漏电方法

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