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[实用新型]绿色环保可降解复合结构飞碟靶-CN200520061254.0无效
发明人：陈露丝 -专利权人：陈露丝
申请日： 2005-07-07 - 公布日： 2006-08-02 - 主分类号： F41J9/08 文献下载
摘要：一种绿色环保可降解复合结构飞碟靶，其特征在于：由上靶坯层和通过树脂凝固层粘合的下靶坯层组成。利用树脂凝固后在上、下靶坯间形成能提高飞碟靶整体强度加强层。若上靶坯层或下靶坯层的内侧面设有蜘蛛网状槽，则可使飞碟靶体上形成多道应力集中线，其成型过程中浸入蜘蛛网状槽内的树脂凝固后形成可提高强度的加强筋，其不但更有利于复合飞碟靶整体强度的增加，且有利于飞碟靶击中后的粉碎率，更利于飞碟靶碎料自然环境中的受潮降解。
绿色环保降解复合结构飞碟

[发明专利]一种石墨靶材的焊接方法-CN202310285763.4在审
发明人：姚力军;潘杰;杨慧珍;廖培君;周友平 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-03-22 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种石墨靶材的焊接方法，所述焊接方法包括如下步骤：(1)石墨靶坯的焊接面热压形成浸润层；(2)对背板焊接面以及浸润层进行浸润处理，然后将石墨靶坯与背板进行钎焊焊接，得到石墨靶材。本发明提供的焊接方法能够避免石墨靶坯在焊接过程中开裂，而且使石墨靶坯与背板具有良好的焊接结合率，有效避免了焊接缺陷，提高了焊接一次合格率，降低了石墨靶坯与背板的脱焊风险，提高了生产效率。
一种石墨焊接方法

[发明专利]一种高效透氧的ITO靶材摆放-烧结方法-CN201810653336.6在审
发明人：余永强;马立云;那嘉;周传水;向光;王友乐;张玲莉;柯尚文;李隽;康明锋;范家伟;董永亮 -专利权人：广东凯盛光伏技术研究院有限公司
申请日： 2018-06-22 - 公布日： 2018-09-14 - 主分类号： C04B35/457 文献下载
摘要：本发明公开了一种高效透氧的ITO靶材摆放‑烧结方法，步骤如下：1)将ITO粉末成型，得到ITO靶坯，再对ITO靶坯进行干燥；2)将垫片放置在承烧板上，再在垫片上放置一层直径0.5～1mm的瓷球，再将ITO靶坯放置在瓷球上；3)将步骤2)设置好ITO靶坯的承烧板放进烧结炉进行烧结，再进行打磨，得到ITO靶材。本发明可以大大提高ITO靶坯烧结时的透氧率，增加了ITO靶材烧结后的密度，提高了ITO靶材的质量，且烧结后ITO靶材底面不会产生垫片印，不会污染靶材，减少了后加工过程中因磨削而造成的靶材消耗。
烧结垫片承烧板靶材瓷球摆放烧结炉透氧率底面磨削成型打磨消耗污染

[发明专利]铝钪合金靶坯及其制备方法及应用-CN201711308051.0在审
发明人：程银兵;庄志杰;顾宗慧;庄猛 -专利权人：基迈克材料科技（苏州）有限公司
申请日： 2017-12-11 - 公布日： 2018-03-27 - 主分类号： C22C1/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种铝钪合金靶坯及其制备方法及应用。其中，铝钪合金靶坯包括16‑50重量份的钪，50‑84重量份的铝，铝钪合金靶坯的含氧量小于等于160ppm。上述铝钪合金靶坯具有钪含量高、含氧量低，进而使得制备的靶坯不会发生异常放电或粒子溅疤，能够保证后期高品质成膜。
合金及其制备方法应用

[发明专利]一种钨合金颗粒散裂靶材料-CN201811654310.X在审
发明人：庞立龙;王志光;孙建荣;崔明焕;台鹏飞 -专利权人：中国科学院近代物理研究所
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： G21G4/02 文献下载
摘要：本公开提供了一种钨合金颗粒散裂靶材料，所述钨合金为钨镍铁合金，钨镍铁合金颗粒呈球状。钨合金颗粒散裂靶材料具有高的中子产额、高的耐磨性、高的抗辐照性、耐力学冲击和热冲击的疲劳性、优秀的热学和磁学性能、加工制备成本低等，其综合性能优异。
钨合金靶材料钨镍铁合金耐磨性辐照磁学性能综合性能疲劳性热冲击热学制备耐力加工

[发明专利]一种钨铜合金复合材料及其制备方法-CN202111135334.6在审
发明人：韩蕊蕊;张保红;刘俊海;张建伟;杨玉娟;梁立红;李达 -专利权人：安泰天龙钨钼科技有限公司;安泰科技股份有限公司
申请日： 2021-09-27 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： C22C1/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种钨铜合金复合材料的制备方法，该方法包括如下步骤:将一定质量比例的镍粉加入钨粉中混匀；将混匀后的钨粉和镍粉在冷等静压机中压制成型，得到预设厚度的压坯；将压坯预烧结得到钨骨架的烧结坯；将铜熔渗至钨骨架的烧结坯中，得到钨铜合金复合材料。通过该方法制备的钨铜合金复合材料中钨的重量百分比为80％‑90％、其余为铜。本发明在混粉过程中加入适量的镍粉；同时在压制过程中控制压坯厚度，在烧结过程中控制高温保温时间，通过这些工艺步骤的改进能够有效改善渗铜润湿性，使钨铜合金复合材料更加致密均匀，从而使钨铜合金复合材料的晶粒尺寸满足热沉与封装材料要求
一种铜合金复合材料及其制备方法

[发明专利]一种钨合金内部质量缺陷的消除方法-CN202010720821.8有效
发明人：赵永华;刘方舟;白磊;潘王虎;张磊;高洋;彭媛 -专利权人：西安华山钨制品有限公司
申请日： 2020-07-24 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： B22F1/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种钨合金内部质量缺陷的消除方法，该方法包括以下步骤：一、将铁粉或铜粉与钨粉、镍粉和钴粉混合得到混合粉末；二、将混合粉末压制成压坯并进行修整；三、将经修整后的压坯烧结得到黏结块；四、将黏结块放置于内部有质量缺陷的钨合金基体料的顶端，经烧结得到钨合金烧结坯；五、将钨合金烧结坯进行内部质量超声波探伤检测；六、将检测合格的钨合金烧结坯进行真空热处理或淬火处理，得到内部质量缺陷消除的钨合金。本发明通过将低熔点合金黏结块熔融后通过固相扩散和液相扩散流动至钨合金基体料内部疏松、裂纹等质量缺陷处进行缺陷消除，解决了钨合金制品在液相烧结过程中芯部出现疏松和裂纹等内部质量问题，避免了资源的浪费。
一种合金内部质量缺陷消除方法

[发明专利]靶坯及其加工方法-CN201710159600.6在审
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;李力平 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2017-03-17 - 公布日： 2018-10-09 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种靶坯及其加工方法，加工方法包括：提供靶坯，靶坯具有溅射面以及与溅射面相对的焊接面；对焊接面进行机械加工，在焊接面上形成平面螺纹，平面螺纹的牙型为三角形。本发明对靶坯的焊接面进行机械加工，在焊接面上形成平面螺纹且平面螺纹的牙型为三角形；一方面，通过平面螺纹，可以增加焊接面的粗糙度、均匀度以及附着力，另一方面，平面螺纹的牙型为三角形，在将靶坯与背板进行焊接时，可以使平面螺纹嵌入至背板内；因此结合以上两个方面，在将靶坯与背板进行焊接以形成靶材组件时，使靶坯和背板之间的焊接强度得到提高，有效防止靶坯和背板之间发生焊接不良或脱焊的问题，从而提高所形成靶材组件的性能
平面螺纹焊接背板焊接面牙型靶材组件机械加工溅射面附着力加工焊接不良粗糙度均匀度对靶脱焊嵌入

[发明专利]一种钨锭及其制备方法-CN202111307789.1有效
发明人：孙元;周亦冑 -专利权人：中国科学院金属研究所
申请日： 2021-11-05 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： B22F3/10 文献下载
摘要：本发明是关于一种钨锭及其制备方法，涉及高纯金属制备技术领域，主要采用的技术方案为：一种钨锭的制备方法，其包括如下步骤：将制坯原料制成钨锭生坯；其中，制坯原料包括至少两种粒度级的钨粉；在还原性气氛下，对钨锭生坯进行低温烧结处理，然后，在惰性气体气氛下冷却，得到低温烧结处理后的钨锭坯；其中，低温烧结处理的温度为500‑700℃；在还原性气氛下，对低温烧结处理后的钨锭坯进行高温烧结处理，然后，在惰性气体气氛下冷却，得到钨锭；其中本发明主要用于制备一种纯度高于99.999％、且致密性优异的钨锭，以满足高纯钨锭的要求。
一种及其制备方法

[发明专利]一种降低钨靶材组件变形的焊接方法-CN202111198380.0有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;廖培君;沈学峰 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-10-14 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： B23K31/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种降低钨靶材组件变形的焊接方法，所述焊接方法包括：将第一板、第二板、钨靶材、中间层和背板依次组装得到预组件，将所述预组件置于包套中进行热等静压焊接；所述第一板的厚度为20‑40mm。本发明提供的焊接方法，通过对焊接组件的重新设计，引入特定的板层，显著降低了钨靶材组件焊接后靶材表面出现裂纹的风险，显著提升了靶材焊接的成品率。同时也改善了靶材的变形量。
一种降低钨靶材组件变形焊接方法

[发明专利]一种钨钛合金管靶的制备方法-CN202111357850.3在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;姚明月 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-11-16 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种钨钛合金管靶的制备方法，所述制备方法将钨钛混合粉末与不锈钢内管依次进行脱气处理、热等静压处理，无需在脱气处理之前进行冷等静压处理，得到以所述不锈钢内管为背管的钨钛合金管靶，不仅可以提高半导体用钨钛管靶的致密度和组织结构均匀性
一种钛合金制备方法

[发明专利]一种钨合金焊接工艺-CN201910307600.5在审
发明人：陈义 -专利权人：深圳市富力达工业有限公司
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2019-10-15 - 主分类号： B23K9/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种钨合金焊接工艺，步骤包括：提供两块待焊接的钨合金靶材，以及提供用于焊接所述两块钨合金靶材的焊丝，所述焊丝选择1.2mm直径的Cusi3材料焊丝；于焊机上安装槽轮、导丝管、导电嘴以及焊丝；给焊机通电并提供氩气；调试焊机，将电流调至额定值，将氩气调至设定的流速；启动焊机，使焊丝以点焊方式焊接两块钨合金靶材。本发明焊接钨合金成品率较高，且成品导电性能强。
焊丝焊接钨合金靶材焊机钨合金焊接工艺氩气导电性能点焊方式安装槽成品率导电嘴导丝管调试通电

[发明专利]钨烧结体溅射靶及其制造方法-CN201480004638.0有效
发明人：大桥一允;冈部岳夫 -专利权人：吉坤日矿日石金属株式会社
申请日： 2014-03-20 - 公布日： 2017-06-23 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种钨烧结体溅射靶，其特征在于，杂质铁为0.8重量ppm以下且余量为钨和其它不可避免的杂质，靶组织中的铁的浓度范围为平均含有浓度的±0.1重量ppm的范围内。上述钨烧结体溅射靶，其特征还在于，靶的相对密度为99％以上，平均晶粒尺寸为50μm以下，晶粒尺寸的范围为5～200μm。本发明的课题在于通过减少钨烧结体溅射靶中的铁，由此抑制该钨靶中的异常晶粒生长。
烧结溅射及其制造方法

[发明专利]钨钇方坯的制备方法-CN200810227440.5有效
发明人：李炳山;巫正瑜;张松梧;邓松林;王芦燕;徐振华 -专利权人：北京钨钼材料厂
申请日： 2008-11-25 - 公布日： 2009-04-15 - 主分类号： B22F3/16 文献下载
摘要：本发明公开一种钨钇方坯的制备方法。方法包括：a.将硝酸钇水溶液以喷雾的方式均匀散开包覆在仲钨酸铵表面，同时进行混合搅拌、加热烘干，烘干后得到钨钇包覆粉；b.对所述钨钇包覆粉进行一、二次还原、压制、预烧结、垂熔烧结后制成具有金属性能的均匀钨钇方坯该方法工艺简单，采用喷雾方式制备钨钇包覆粉，保证了方坯原料中的添加元素的均匀分布程度，可获得弥散较均匀的钨钇包覆粉，并且控制后续垂熔烧结时的工艺为升温10～30分钟，保温时间20～50分钟，保温电流为2500～4000A，使制备的钨钇方坯各点挥发均匀，在两者的配合下，制得均匀性好的钨钇方坯。
钨钇方坯制备方法

[发明专利]一种改善钨靶材焊接质量的方法-CN202111356586.1在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;边逸军;侯娟华 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-11-16 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： B23K20/02 文献下载
摘要：本发明提供一种改善钨靶材焊接质量的方法，所述方法包括：对所述钨靶材的焊接面进行精磨以及镀膜处理；对中间层的一侧进行镀膜处理；对中间层非镀膜侧以及背板的焊接面进行车削螺纹处理；将所述中间层非镀膜侧与所述钨靶材的焊接面进行装配所述方法可以解决钨靶材焊接过程中的开裂问题，提高焊接质量以及合格率。
一种改善钨靶材焊接质量方法