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[发明专利]一种取向生长的铁掺杂氮化钛铁磁性薄膜的制备方法-CN201110295307.5无效
发明人：王晓姹 -专利权人：天津理工大学
申请日： 2011-09-28 - 公布日： 2012-02-22 - 主分类号： H01F41/18 文献下载
摘要：一种取向生长的铁掺杂氮化钛铁磁性薄膜的制备方法，采用超高真空三靶共沉积磁控溅射镀膜机制备，本步骤如下：1)在镀膜机对向的靶头上安装一对Ti靶，在Ti靶的表面固定Fe片；2）将玻璃基底安装在对向靶连线的中垂线上；3）对溅射室抽真空；4）向真空室通入Ar和N2的混合气体；5）开启溅射电源，在一对Ti靶上施加电流和电压；6）打开挡板溅射镀膜；7）镀膜结束后停止溅射，继续抽真空，关闭真空系统，冷却后充入氮气，即可制得的目标产品本发明的优点是：该薄膜材料同时具备室温铁磁性和半导体两种属性，在电子学器件上具有潜在的应用价值；该制备方法工艺简单、易于实施，靶材使用率高、生产成本低，适于大规模推广应用。
一种取向生长掺杂氮化铁磁性薄膜制备方法

[发明专利]一种钛铝合金靶材的机加工方法及其产品和用途-CN202010230821.X在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;钱百峰 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-03-27 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： B23B5/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种钛铝合金靶材的机加工方法及其产品和用途，所述机加工方法采用的刀具为CCGX09T304AL‑H10，车削液采用体积浓度为5‑10％的乳化液的水溶液，其能明显减少刀片与钛铝合金原材料之间的摩擦，从而降低产品表面温度，进而达到钛铝合金靶材表面粗糙度要求，其所得钛铝合金靶材的表面Ra可达0.4μm以下，且机加工过程能保持较高的加工效率。
一种铝合金加工方法及其产品用途

[发明专利]一种空间质子深层充电地面模拟装置及方法-CN202210261927.5有效
发明人：蔡明辉;夏清;杨涛;许亮亮;李宏伟;贾鑫禹;韩建伟 -专利权人：中国科学院国家空间科学中心
申请日： 2022-03-17 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： B64G7/00 文献下载
摘要：本发明公开一种空间质子深层充电地面模拟装置及方法，包括机架，机架上设有真空靶室，真空靶室一侧设有质子回旋加速器，质子回旋加速器输出端连接有束流输运线的一端，束流输运线另一端与真空靶室入口端相对应；真空靶室包括固定连接在机架顶部的真空靶室主体，真空靶室主体侧壁设有钛膜窗，束流输运线远离质子回旋加速器的一端与钛膜窗相对应，束流输运线与钛膜窗之间预留有间隔，真空靶室主体侧壁设有测试接头，真空靶室主体内设有静电电位计探头，真空靶室主体底面设有位移平台，真空靶室主体底部连通有抽真空组件。
一种空间质子深层充电地面模拟装置方法

[发明专利]一种从钽铬钛靶材废料回收分离钽、铬、钛的方法-CN202110263470.7在审
发明人：行卫东;朱刘 -专利权人：广东先导稀材股份有限公司
申请日： 2021-03-11 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： C22B7/00 文献下载
摘要：本发明提出了一种从钽铬钛靶材废料回收分离钽铬钛的方法，属于资源回收技术领域。本发明首先破碎球磨钽铬钛靶材废料，然后进行氯化预处理，再开展氯化反应。分段冷凝氯化反应产物，从而分离钽、铬和钛。本发明的工艺流程短，分离效率高，钽和钛的回收率达到95%以上。
一种钽铬钛靶材废料回收分离方法

[发明专利]一种耐强碱洗净的镀膜及镀膜方法-CN202310155188.6在审
发明人：郭芳伟 -专利权人：徐州联超光电科技有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提出了一种耐强碱洗净的镀膜，包括玻璃基板，所述玻璃基板上依次设有二氧化硅镀层、五氧化三钛、二氧化硅镀层、五氧化三钛、二氧化硅镀层、五氧化三钛、二氧化硅、镧系材料镀层、二氧化硅、镧系材料镀层，其镀膜方法包括：S1:提供玻璃基材；S2：将镀膜溅射机抽真空至5.00*10‑3PA；S3：材料预融，在腔体内固定三组阴极靶材，取固体五氧化三钛通过设置设备电流强度为440MA预融加热至液体，取固体粉末形态的镧系材料配合二氧化钛靶和五氧化二钽
一种强碱洗净镀膜方法

[发明专利]一种钛铝锆氮化物镀膜硬质合金钻头的制备方法-CN201710259902.0在审
发明人：张钧;于亚男;田红花;王晓阳;孙丽婷;杨芙;贾征 -专利权人：沈阳大学
申请日： 2017-04-20 - 公布日： 2017-09-29 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：一种钛铝锆氮化物镀膜硬质合金钻头的制备方法，涉及一种合金钻头的制备方法，本发明采用多弧离子镀技术制备钛铝锆氮化物镀膜硬质合金钻头的方法依次包括1）沉积技术的确定；2）靶材及电弧源数量的确定；3）硬质合金钻头的选择与前处理该方法采用多弧离子镀技术制备钛铝锆氮化物镀膜硬质合金钻头的方法，确定了2个钛铝合金靶和2个钛锆合金靶作为阴极弧源靶；确定了一整套专门的镀膜沉积工艺，使制备的钛铝锆氮化物镀膜硬质合金钻头与未镀膜的硬质合金钻头相比
一种钛铝锆氮化物镀膜硬质合金钻头制备方法

[实用新型]一种用于超硬材料真空溅射镀钛装置-CN202121296983.X有效
发明人：薛永飞;王巧娈;刘云飞;李军督;刘侠红 -专利权人：郑州中南杰特超硬材料有限公司
申请日： 2021-06-10 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于超硬材料真空溅射镀钛装置。所述用于超硬材料真空溅射镀钛装置包括：真空桶，所述真空桶上设置有镀钛组件、真空机构和四个固定机构；所述镀钛机构包括旋转内桶、阴极靶材、阴极电线和旋转机构，所述旋转内桶设置在真空桶内，所述阴极靶材固定安装在真空桶的一侧内壁上，所述阴极靶材的一侧延伸至旋转内桶内，所述阴极电线固定安装阴极靶材的一侧，所述阴极电线的一端延伸至真空桶外。本实用新型提供的用于超硬材料真空溅射镀钛装置性能稳定，操作控制方便，溅射率高，磨料温度低等优点，并且磨料镀层均匀，钛层与磨料结合力强的优点。
一种用于材料真空溅射装置

[发明专利]一种钛铌合金靶材及其制备方法与应用-CN202310951307.9在审
发明人：姚力军;潘杰;廖培君;黄东长;张怡忠 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种钛铌合金靶材及其制备方法与应用，所述钛铌合金靶材的制备方法包括如下步骤：(1)混合钛粉与铌粉，得到混合粉；(2)步骤(1)所得混合粉依次经压实处理、真空热压烧结处理以及机加工处理，得到所述钛铌合金靶材本发明通过将真空热压烧结处理过程分为多级加压、升温及保温保压阶段，制得的钛铌合金靶材的致密度与纯度高，且内部组织结构优异，能够满足作为溅射靶材的高性能要求。
一种合金及其制备方法应用

[发明专利]一种钛铝钼合金靶材及其制备方法-CN202010194057.5在审
发明人：姜海;唐培新;吕晓明;姜慧;王瑞刚;许凤志 -专利权人：河北宏靶科技有限公司
申请日： 2020-03-19 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种钛铝钼合金靶材及其制备方法，其制备方法包括：将钛粉、铝粉和钼粉在真空或高纯氩气保护下混合；将混合后的混合粉末通过冷等静压压制，获得钛铝钼合金坯料；将所述钛铝钼合金坯料进行整形处理，使所述钛铝钼合金坯料的形状为预设形状；将整形处理后的所述钛铝钼合金坯料装入包套中，进行脱气处理；将经脱气处理的包套封焊后，通过热等静压烧结获得合金锭坯；将压制后的所述合金锭坯依次进行机加工和清洗，获得钛铝钼合金靶材。本发明制得的钛铝钼合金靶材具有致密度高、无气孔和偏析，组织均匀，晶粒细小，规格尺寸多等优点。
一种钛铝钼合金及其制备方法

[发明专利]掺铝钛氧化锌靶材的制备方法-CN201510764421.6在审
发明人：马兰;王丽;邹梦;王鑫林;汪丛珍;刘小敏;唐开梅;蔡丹;蒋璧如;杜燕;江钰 -专利权人：攀枝花学院
申请日： 2015-11-11 - 公布日： 2016-01-27 - 主分类号： C04B35/453 文献下载
摘要：本发明属于透明导电膜的制备领域，具体涉及掺铝钛氧化锌靶材及其制备方法。本发明要解决的技术问题是现有工艺制备的坯体易开裂，大尺寸平板坯体收缩过程易卷曲，常用单体具有毒性，等。本发明解决上述技术问题的方案是提供一种掺铝钛氧化锌靶材的制备方法，包括以下步骤：a、将氧化铝、二氧化钛和氧化锌均匀分散到水中，混合球磨得到浆料；b、将MAM和PEGDMA分散到浆料中；c、向上述浆料中再加入催化剂和引发剂，然后用无水乙醇除泡；d、将除泡的浆料注入无孔模具，干燥得到掺铝钛氧化锌靶材坯体；e、将掺铝钛氧化锌靶材坯体烧结得到掺铝钛氧化锌靶材。
掺铝钛氧化锌制备方法

[发明专利]一种负压环境下脉冲激光溅射沉积制备黑色二氧化钛粉末的方法-CN201611052072.6有效
发明人：魏强;卢红;黄欢欢;张立宪 -专利权人：天津大学
申请日： 2016-11-24 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种负压环境下脉冲激光溅射沉积制备黑色二氧化钛粉末的方法，步骤是：首先，将白色二氧化钛粉末压片，得到压强为140～200Mpa的靶材；然后，将靶材置于真空罐，抽真空使真空罐内压力达到1×10^‑6‑1×10⁴Pa；调节脉冲激光器的入射激光束与靶材之间的角度为10～45°，激光器的基片基底与靶材的距离为15～50mm；开启脉冲激光器，调节激光脉宽、激光能量、激光波长和频率，激光聚焦辐照真空罐中的靶材，处理一定时间，在基片上得到黑色二氧化钛薄膜，将黑色二氧化钛薄膜上的黑色二氧化钛刮下即得到黑色二氧化钛粉末。
黑色二氧化钛靶材负压环境溅射沉积脉冲激光激光器真空罐薄膜制备白色二氧化钛压强反应时间短脉冲激光器入射激光束原材料费用粉末压片罐内压力激光波长激光聚焦激光脉宽激光能量开启脉冲制备过程辐照抽真空基底

[发明专利]La-Ti合金靶及其制备方法-CN202110982084.3有效
发明人：周煌;郭利平;刘维;马小波;黄美松;文康;刘华;赵瑞山 -专利权人：湖南稀土金属材料研究院有限责任公司
申请日： 2021-08-25 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了La‑Ti合金靶及其制备方法，包括以下步骤：将La‑Mg合金铸锭与金属钛置于熔炼设备内进行熔炼，熔炼温度为1700～2200℃，保温时间为1～40min，使La‑Mg合金铸锭中所有的镁完全挥发，制得La‑Ti合金靶；其中La‑Ti合金靶中镧的重量百分比为20％～60％，金属钛的重量百分比为40％～80％，La‑Mg合金铸锭中镁的重量百分比为La‑Ti合金靶中镧与钛总质量的5～50％。本发明制备得到的La‑Ti合金靶成分均匀、氧含量低；该方法提高了生产效率，降低了生产成本；解决了传统熔炼方法得到的合金靶容易出现分层的现象。
la ti 合金及其制备方法

[发明专利]复合型钛酸锂薄膜及其制备方法与应用-CN201910408044.0在审
发明人：俞兆喆;魏堃;程燕;杨道国;徐华蕊;蔡苗;朱归胜;颜东亮 -专利权人：桂林电子科技大学
申请日： 2019-05-15 - 公布日： 2019-08-27 - 主分类号： H01M4/36 文献下载
摘要：本发明提供了一种复合型钛酸锂薄膜及其制备方法与应用。所述复合型钛酸锂薄膜的制备方法包括的步骤有：将钛酸锂靶材和能量密度贡献主体元素靶材在惰性气氛下进行共溅射处理，在基体上生长复合型钛酸锂薄膜。本发明复合型钛酸锂薄膜的制备方法将钛酸锂靶材和能量密度贡献主体元素靶材直接采用共溅射法沉积形成。使得生长的复合型钛酸锂薄膜具有丰富的通道结构，且结构稳定，可以提供高的锂离子传输速率，提供了良好的循环可逆性，保持了较高的比容量；同时有效阻止电解液与纳米级能量密度贡献主体元素的直接接触，可以减少和阻止电解液与能量密度贡献主体之间的不可逆副反应
钛酸锂薄膜密度贡献靶材制备主体元素电解液共溅射钛酸锂固体电解质膜循环可逆性锂离子传输结构稳定通道结构生长比容量不可逆副反应纳米级沉积应用

[发明专利]一种实现渐变色的离子溅射镀膜方法及装置-CN201910841454.4在审
发明人：冯伟;吴海平;杜晓颖;杜国才 -专利权人：深圳市长兴荣五金制品有限公司
申请日： 2019-09-06 - 公布日： 2019-11-01 - 主分类号： C23C14/46 文献下载
摘要：镀膜时间为3h‑6h，膜厚为0.8μm‑2.0μm，溅射环境包括靶电流为15A‑25A，偏压为80V‑120V，占空比为30％‑70％。该装置包括真空室，真空室上安装有驱动机构，真空室内安装有第一极靶、第二极靶、转架，驱动机构和转架连接，第一极靶位于转架的外圈，第二极靶位于转架的内圈，且第一极靶和第二极靶相互对称设置，第一极靶为钛靶，第二极靶为铬靶
转架第一极渐变色真空室镀覆镀膜离子溅射驱动机构对称设置离子清洗室内安装表面层抽真空打底层占空比中间层铬靶挂杆辉光溅射膜厚内圈钛靶清洗室内生产

[发明专利]一种可见光活性的碳掺杂纳米二氧化钛薄膜的制备方法-CN200710042334.5无效
发明人：崔晓莉;朱蕾;沈杰;杨锡良;章壮健 -专利权人：复旦大学
申请日： 2007-06-21 - 公布日： 2007-11-14 - 主分类号： B01J21/06 文献下载
摘要：本发明属于纳米二氧化钛光催化与光电化学技术领域，具体为一种可见光活性的碳掺杂二氧化钛薄膜的制备方法。该方法采用反应磁控溅射镀膜系统，其步骤包括制备碳钛镶嵌靶；将工作室抽至10^－3Pa以下的真空，再依次通过适当比例的氧气和氩气，控制溅射电流为0.5～1A，溅射时间为0.5～3小时，即制得碳掺杂二氧化钛薄膜。
一种可见光活性掺杂纳米氧化薄膜制备方法

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