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[发明专利]一种钛基管状合金靶材及其制备方法-CN202211739102.6在审
发明人：张凤戈;魏铁峰;岳万祥;张欠男;张学华;孟晓亭 -专利权人：苏州六九新材料科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种钛基管状合金靶材及其制备方法，与常规装粉生产管靶工艺相比，本发明通过先对粉体模压成型，然后冷等静压致密化，最后热等静压烧结，解决了Ti基粉末热等静压后收缩大、易弯曲、难加工的问题。最终所得的钛基管状合金靶材相对密度≥99％，晶粒尺寸均匀，平均晶粒尺寸30～200μm。
一种管状合金及其制备方法

[发明专利]一种具有防辐射、隔热的多功能特性面料的磁控溅射法镀膜工艺-CN202211111167.6在审
发明人：范伟 -专利权人：南通天诺纺织整理有限公司
申请日： 2022-09-13 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： D06M11/83 文献下载
摘要：，使本底真空达到4×10‑3～3×10‑4Pa，向溅射室注入纯度为99.95％的氩气，使工作气压达到1.5Pa；设定靶基距为12cm，溅射电流为：银靶1A，钛靶6A，采用磁控溅射技术，将金属靶材依次溅射到面料上，在面料上形成一层纳米金属膜。
一种具有防辐射隔热多功能特性面料磁控溅射镀膜工艺

[发明专利]一种金属钛铝氮化物复合硬质膜的制备方法-CN201610555544.3有效
发明人：张钧;王宇;戴步实;赵微;张正贵;刘世民;丁龙先 -专利权人：沈阳大学
申请日： 2016-07-15 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：一种金属钛铝氮化物复合硬质膜的制备方法，涉及一种金属镀膜方法，所述方法包括以下过程：沉积技术的确定、弧源靶材的确定、弧源个数的确定、待镀膜金属基体的选择与前处理、预烘烤工艺的确定、预轰击清洗工艺的确定、钛铝合金过渡层的制备工艺的确定、沉积时间的确定、与沉积时间对应的反应气体分压的控制、与沉积时间对应的弧源靶弧电流的确定、与沉积时间对应的基体负偏压的确定、镀膜室温度的控制、工件架旋转镀膜；该方法保证了膜层成分从金属基体到膜层表面的准线性连续变化
一种金属氮化物复合质膜制备方法

[发明专利]高介电系数栅电介质材料铝酸钛薄膜及其制备方法-CN200610038030.7无效
发明人：刘治国;石磊 -专利权人：南京大学
申请日： 2006-01-25 - 公布日： 2006-11-15 - 主分类号： H01L29/51 文献下载
摘要：本发明公开了一种高介电系数栅电介质材料铝酸钛薄膜及其制备方法，该薄膜的化学式为(TiO₂)_x(Al₂O₃)_1－x，其中x的取值范围为0.1≤x≤0.3，其制备方法是启动脉冲激光器(1)，使脉冲激光束通过聚焦透镜(9)将激光束聚焦在TAO陶瓷靶材(8)上，用脉冲激光剥离TAO陶瓷靶材(8)，产生的激光离子体沉积在硅衬底材料上而制得铝酸钛薄膜，物理厚度为5nm的该非晶态薄膜，具有较高的热力学稳定性，其介电常数为17.8，等效氧化物厚度为1.25nm，漏电流为2.76×10^－4A/cm²，界面层仅为
高介电系数电介质材料铝酸钛薄膜及其制备方法

[发明专利]靶材热处理方法-CN200910135279.3有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;周友平;刘庆 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2009-05-12 - 公布日： 2010-02-17 - 主分类号： C22F1/18 文献下载
摘要：本发明提供一种靶材热处理方法，包括：提供靶材，所述靶材为钛或者钛合金；加热能包覆所述靶材的沙子，对所述靶材进行热处理。与现有技术相比，本发明透过沙浴的加热方式，确保靶材均匀受热，实现其组织结构的均匀性，满足溅射要求。
热处理方法

[发明专利]一种氧化钛铌靶材的生产方法-CN201911021094.X在审
发明人：姚远;马超宁;郭朋 -专利权人：洛阳晶联光电材料有限责任公司
申请日： 2019-10-25 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： C04B35/46 文献下载
摘要：本发明涉及一种氧化钛铌靶材的生产方法，包括以下步骤：⑴以氧化钛和氧化铌的混合粉体为原料，⑵在水中加入聚丙烯酸类分散剂，在配置过程中，始终用高速分散机对浆料进行分散，根据固含量要求加入⑴中粉体，再于纳米砂磨机中进行研磨，研磨后浆料的固含量为80‑90%，再于真空脱泡机中进行脱泡处理；⑶浆料于模具中进行浇注脱水成型，脱模后的胚体经干燥后得到素胚；⑷素胚再经过脱脂处理和烧结就得到致密化的氧化钛铌靶材。本发明制备的氧化钛铌浆料粘度较低、固含量较高、分散性较好，具有较优的流动性，适合制备大尺寸、高密度的氧化钛铌靶材。
氧化钛固含量浆料铌靶研磨素胚制备聚丙烯酸类分散剂高速分散机真空脱泡机混合粉体浆料粘度配置过程脱泡处理脱水成型脱脂处理烧结分散性砂磨机氧化铌致密化浇注粉体胚体水中脱模模具生产

[发明专利]一种铝钛合金靶材的表面加工方法-CN202310197740.8在审
发明人：姚力军;潘杰;梁泽民;王学泽 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-03-03 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： B23B1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种钛铝合金靶材的表面加工方法，所述表面加工方法包括：使用刀具对钛铝合金靶材的待加工面进行车削处理；车削处理过程中使用的车削液为乳化液的水溶液，乳化液的水溶液的体积浓度为11‑15wt％；所述刀具的型号为本发明提供的表面加工方法通过车削液与刀具的配合，能够延长刀具的使用寿命，且能够将钛铝合金靶材的表面粗糙度降低至0.3μm以下。
一种钛合金表面加工方法

[发明专利]溅射靶及其制备方法-CN97192593.3无效
发明人： J·E·M·范德尔斯特雷藤 -专利权人：比夫巴·范德斯特拉登E
申请日： 1997-01-03 - 公布日： 1999-03-24 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种制备溅射靶的方法,该靶含有亚化学计量二氧化钛TiOx,其中x小于2,电导率小于0.5ohm.cm,还可以与二氧化铌混合,该方法包括在缺氧和不含含氧化合物的气氛中,在靶基底上以等离子喷涂二氧化钛TiO2,还可以是喷涂与氧化铌的混合物,在防止亚化学计量的二氧化钛与氧结合的条件下,经冷却固化的TiOx即被涂覆到靶基底上。
溅射及其制备方法

[发明专利]一种钛硅合金靶材的低成本制备方法-CN201910568170.2有效
发明人：毛建伟;吕维洁;韩远飞;黄光法 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2019-06-27 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种钛硅合金靶材的低成本制备方法，包括以下步骤：A、混料：将海绵钛与结晶硅按比例均匀混合；B、电极压制：将混合好的原料压制成电极棒，再将电极棒进行加热；C、一次自耗熔炼：在保护性气氛下，将加热后的电极棒焊接，然后进行第一次真空自耗熔炼，得到钛硅合金一次锭；D、焊接：将钛硅合金一次锭的两端平头后，利用真空电子束焊接技术将钛硅合金一次锭组合后焊接，得电极料；E、二次自耗熔炼：将电极料进行第二次真空自耗熔炼，得到钛硅合金二次锭；F、将钛硅合金二次锭进行加工即得最终的钛硅靶材。本发明提供的方法制备的钛硅合金靶材具有组织致密、均匀细小，原材料出品率高，成本低，适于工程化规模生产。
一种合金低成本制备方法

[发明专利]一种二氧化钛薄膜的微波等离子体制备方法-CN201010011405.7无效
发明人：于庆先;孙四通 -专利权人：青岛科技大学
申请日： 2010-01-05 - 公布日： 2010-07-14 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种二氧化钛薄膜的微波等离子体制备方法，该方法包括二氧化钛薄膜的制备步骤和停机的步骤，所述制备方法是在真空状态下完成的；微波从微波系统中出来，经过石英微波窗口到达镀膜室。将交流电加在两个弧形钛靶上，使两级的气体Ar电离成等离子气团，微波将这些等离子输运到两弧形钛靶上，Ar等离子体对钛靶金属表面离子轰击，溅射出的金属粒子被微波辐照而电离并形成等离子气团，并输运到衬底上。同时，通入氧气，氧气在微波辐照下形成等离子体，衬底加了负偏压，带负偏压的衬底使钛离子、氧离子消电离而共淀积成膜。
一种氧化薄膜微波等离子体制备方法

[实用新型]一种有抑弧功能辅助工装-CN201922414976.4有效
发明人：张石亮;张继凡;杨凯 -专利权人：安徽立光电子材料股份有限公司
申请日： 2019-12-29 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种有抑弧功能辅助工装，包括工装本体，工装本体的左右两侧安装有钼棒，作为辅助阳极吸附二次电子，钼棒与零线连接，工装还包括底部的底座和驱动装置，驱动装置包括驱动电机、传送带和转轴，转轴安装在底座上，靶材中间设置有钛管，钛管与转轴连接，从而驱动靶材的转动；底座上设置有进水管和水槽，水槽的侧面上设置有进水管，进水管与钛管密封连接，水槽的进水端与水泵连接；钛管上端与出水管密封连接，钛管的顶端连接轴承，轴承安装在工装本体上，钛管的顶端与出水管道密封连接。本实用新型具有结构简单、提高镀膜层的均匀性、抑制异常弧光放电、便于靶材安装等优点。
一种有抑弧功能辅助工装

[发明专利]一种陶瓷覆铝基板的制备方法及其制备的陶瓷覆铝基板-CN202310799689.8在审
发明人：唐冬梅;窦正旭;王斌;贺磊 -专利权人：江苏富乐华功率半导体研究院有限公司
申请日： 2023-07-03 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： C04B37/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种陶瓷覆铝基板的制备方法及其制备的陶瓷覆铝基板，涉及半导体领域，旨在解决陶瓷覆铝基板制备复杂的问题，其技术方案要点是：步骤一：采用CAPD工艺，在真空炉内将靶材和铝箔作为双阴极，在铝箔上施加偏压，挡板将靶材遮挡，接通电源后产生辉光放电，使氩气电离成等离子状态，轰击铝箔，铝箔的氧化层在氩离子轰击下发生破碎去除；将挡板移除，以钛靶作为阴极，氩离子轰击靶材溅射出的钛沉积至铝箔表面形成钛层；步骤二：将铝箔沉积钛活性金属层的一面与陶瓷表面贴合叠片
一种陶瓷覆铝基板制备方法及其

[发明专利]半导体及太阳能溅射靶材行业用钨钛合金靶材的制备方法-CN201110149666.X有效
发明人：于洋;赖亚洲;庄志刚;杨福民;郑艾龙;石涛 -专利权人：厦门虹鹭钨钼工业有限公司
申请日： 2011-06-03 - 公布日： 2011-10-12 - 主分类号： B22F3/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体及太阳能溅射靶材行业用钨钛合金靶材的制备方法，是采用了氢化钛代替传统的部分纯钛，并将钨粉、钛粉和氢化钛粉按一定的质量比置于三维混料器中，在一定的转速条件下混合得到钨钛合金粉末，而后把填充好钨钛合金粉末的模具放入真空热压烧结炉内进行烧结处理来得到真空热压烧结毛坯，在对真空热压烧结毛坯进行尺寸切割后，再把真空热压烧结毛坯置于真空退火炉内进行退火处理，最后，使用超声波清洗机清洗靶材表面，由此得到成分和密度完全符合要求的钨钛合金靶。该制备方法具有粉末混合均匀，制备过程中不易氧化，杂质含量低，制备出的钨钛合金靶密度高的特点。
半导体太阳能溅射行业钛合金制备方法

[发明专利]一种碳化钛靶材及其制备方法-CN201711188416.0有效
发明人：张凤戈;梁俊才;李建奎;张欠男;魏铁峰 -专利权人：北京安泰六九新材料科技有限公司;安泰科技股份有限公司
申请日： 2017-11-24 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种碳化钛靶材及其制备方法，该方法为：首先将纯碳化钛原料粉进行筛分处理，得到粒度均匀的粉末，之后进行配碳处理，得到成分合适的混合原料；然后均匀填充到模具中，在真空条件下进行热压烧结处理，经冷却后，脱模得到烧结坯；最后将烧结坯进行机加工得到符合尺寸和表面质量要求的所述碳化钛靶材。该方法工艺简单、成形效果较好，利于工业化大规模生产；靶材无任何粘结相成分，晶粒均匀细小，致密度可达到99％以上，纯度在99.9％以上；该靶材改善了溅射过程中的打弧放电现象，制备的膜层表面缺陷较少，涂层更为致密，可作为制备碳化钛涂层，提高涂层力学性能以及摩擦学性能，特别适用于加工铝及铝合金等软性金属材料。
靶材碳化钛制备烧结坯致密表面质量要求软性金属材料涂层力学性能摩擦学性能碳化钛涂层晶粒成形效果放电现象混合原料均匀填充粒度均匀膜层表面热压烧结筛分处理真空条件机加工原料粉粘结相铝合金打弧溅射配碳脱模模具冷却加工

[发明专利]应用中气压气流反应溅射制备二氧化钛薄膜的方法以及制备太阳能电池的方法-CN201010186538.8无效
发明人：郭射宇 -专利权人：苏州羿日新能源有限公司
申请日： 2010-05-31 - 公布日： 2010-09-22 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用中气压气流反应溅射制备二氧化钛薄膜的方法以及制备太阳能电池的方法，该二氧化钛薄膜的制备方法包括如下步骤A)将镀有透明导电膜的玻璃基片放入真空溅射镀膜设备的反应室中，对反应室抽真空；B)真空溅射镀膜设备的阴极装置具有一对相对设置的钛靶，向一对钛靶之间的靶腔中通入工作气体，并在靶腔外通入氧气，其中工作气体的溅射气压为10Pa～100Pa，经过溅射沉积，在透明导电膜层上沉积得到TiO2薄膜
应用气压气流反应溅射制备氧化薄膜方法以及太阳能电池