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[实用新型]一种圆形钛靶材组件-CN202120680457.7有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;徐蔓 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-04-02 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种圆形钛靶材组件，包括相互连接的圆形钛靶材与圆形背板，所述圆形背板的背面包括冷却水道，所述冷却水道包括环形水道，所述圆形背板与所述环形水道的圆心重合；其中，所述圆形钛靶材的直径为300本实用新型所述圆形钛靶材组件中的圆形背板的背面，在对应圆形钛靶材磁控溅射程度较大的中部环形区域的环形水道进行了加宽处理，增大冷却水的储量，提高圆形背板的冷却效果，避免圆形钛靶材发生开裂问题。
一种圆形钛靶材组件

[发明专利]溅射用钛靶-CN201910337427.3有效
发明人：塚本志郎;牧野修仁;福岛笃志;八木和人;日野英治 -专利权人：捷客斯金属株式会社
申请日： 2012-04-27 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种溅射用钛靶，其为高纯度钛靶，其特征在于，含有0.5～5质量ppm的S作为添加成分，除了添加成分和气体成分以外，靶的纯度为99.995质量％以上。本发明的课题在于提供一种即使在高功率溅射(高速溅射)时也不会产生龟裂或破裂、能够使溅射特性稳定的高品质的溅射用钛靶。
溅射用钛靶

[发明专利]溅射用钛靶-CN201280052810.0在审
发明人：塚本志郎;牧野修仁;福岛笃志;八木和人;日野英治 -专利权人：吉坤日矿日石金属株式会社
申请日： 2012-04-27 - 公布日： 2014-06-25 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种溅射用钛靶，其为高纯度钛靶，其特征在于，含有0.5～5质量ppm的S作为添加成分，除了添加成分和气体成分以外，靶的纯度为99.995质量％以上。本发明的课题在于提供一种即使在高功率溅射(高速溅射)时也不会产生龟裂或破裂、能够使溅射特性稳定的高品质的溅射用钛靶。
溅射用钛靶

[实用新型]一种钛旋转靶-CN201821065048.0有效
发明人：张晓辉;丁拉会 -专利权人：宝鸡市杰特瑞金属材料有限公司
申请日： 2018-07-06 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种钛旋转靶，包括第一铜辅助部、钛靶主体、第二铜辅助部，所述第一铜辅助部、钛靶主体、第二铜辅助部顺次连接形成管状结构，所述第一铜辅助部和第二铜辅助部为对称结构，所述第一铜辅助部为台阶状结构，包括第一直径段、第二直径段、第三直径段，所述第一直径段、第二直径段、第三直径段顺次连接为一体结构，所述第一直径段外侧设置有外螺纹，所述第三直径段外侧设置有外螺纹，所述钛靶主体采用高纯钛材料制成，所述钛靶主体为T字形结构，其两侧端部设置有内螺纹，所述钛靶主体两侧端部设置的内螺纹和第三直径段外侧设置的外螺纹配合连接，装配简单，使用方便，降低了成本。
直径段辅助部钛靶外侧设置外螺纹顺次连接钛旋转靶内螺纹本实用新型台阶状结构对称结构管状结构两侧端部配合连接一体结构主体两侧高纯钛装配

[发明专利]类金刚石薄膜镀膜方法-CN200410091839.7有效
发明人：颜士杰 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2004-12-24 - 公布日： 2006-07-05 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明是一种类金刚石薄膜镀膜方法，其包括以下步骤：提供一底材；将该底材清洗后放入真空腔内；将真空腔抽真空，然后通入氩气，对底材进行等离子清洗；以钛为靶材，于底材表面镀一钛金属层；向真空腔内通入氩气与氮气，以钛为靶材，于钛金属层表面镀一氮化钛层；以石墨与钛为靶材，于氮化钛层镀一含钛的类金刚石薄膜，其中溅射开始时于靶材上施加较小偏压，然后溅射过程中逐渐提高溅射靶材的偏压。
金刚石薄膜镀膜方法

[发明专利]一种钛靶材及其制备方法-CN202111129840.4在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;章丽娜 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-09-26 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供一种钛靶材及其制备方法，所述制备方法包括：钛靶坯依次经第一锻伸、第一热处理、压制、第二热处理、第一校平、第三热处理、第二校平和退火；所述第一锻伸的预热温度为460～480℃。所述制备方法针对钛靶材选用460～480℃的第一锻伸预热温度，从而使钛靶材内部的晶粒足够细化且均匀，提高了产品的质量和性能。
一种钛靶材及其制备方法

[发明专利]一种钛靶材清洁的方法-CN202210472434.6在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;边逸军;王锦 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-04-29 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种钛靶材清洁的方法，所述方法包括以下步骤：钛靶材依次经过刷洗、二次清洁和三次清洁，再进行干燥，得到洁净的钛靶材；所述钛靶材具有特殊的侧面滚花结构，所述方法采用刷洗、超声酸洗、冲洗和干燥，并优选酸种类和配比
一种钛靶材清洁方法

[发明专利]一种钛铝合金靶材的制备方法-CN202011432732.X有效
发明人：蔡新志;童培云;朱刘;冉成义;王慧康 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2020-12-10 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： C22C14/00 文献下载
摘要：本发明揭示了一种钛铝合金靶材的制备方法，包括：称量钛原料和铝原料，将钛原料分为第一钛原料和第二钛原料，将铝原料分为第一铝原料和第二铝原料；将第一钛原料和第一铝原料置于水冷铜坩埚内熔炼得到第一熔体；将第一熔体冷却得到第一铸锭；将第一铸锭置于水冷铜坩埚底部，并加入第二钛原料和第二铝原料进行熔炼得到第二熔体；将第二熔体进行冷却得到第二铸锭；将第二铸锭加热至完全熔化后精炼，快速浇铸得到靶坯；将靶坯依次进行装包套、脱气、热等静压处理，最后烧结得到烧结体；将烧结体取出包套后进行机加工得到钛铝合金靶材。本发明采用分步熔炼的方式，能解决现有技术制备钛铝合金靶材中存在大量的缩孔和疏松等缺陷等技术问题。
一种铝合金制备方法

[发明专利]一种钛铝合金靶材及其制备方法-CN201911425902.9有效
发明人：吴健;黄显峰;雷雨;周志宏;杨永添 -专利权人：广州市尤特新材料有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种钛铝合金靶材及制备方法。所述钛铝合金靶材包括以下重量百分比的组分：钇0.3‑2wt％、钛40～85wt％和铝余量。本发明采用冷喷涂工艺制备钛铝合金靶材，工艺简单，操作方便，合金成分范围宽，适合大规模工业生产，所制得的钛铝合金靶材纯度≥99.9％，相对密度≥95％，尺寸不受限制，厚度可达到3～12mm，长度可达到4000mm
一种铝合金及其制备方法

[发明专利]一种金属离子掺杂二氧化钛靶材的制备方法以及由此获得的靶材-CN201110156926.6有效
发明人：冀国俊;史志铭;金永军 -专利权人：内蒙古工业大学
申请日： 2011-06-01 - 公布日： 2012-01-18 - 主分类号： C04B35/46 文献下载
摘要：本发明涉及一种金属离子掺杂二氧化钛靶材的制备方法以及由此获得的靶材，该靶材是通过溶液反应先制得金属离子掺杂的二氧化钛粉体，再将其压制和烧结来制备，其制备过程工艺简单，易于实现一种或多种金属离子的均匀掺杂，离子的掺杂量能够精确控制，并在制备过程中金属离子能够进入二氧化钛晶格中，发生化学键合，所制得的靶材中二氧化钛的平均晶粒度为200纳米以下，靶材致密度高，这种靶材可以用于磁控溅射法制备金属离子掺杂的二氧化钛纳米薄膜
一种金属离子掺杂氧化钛靶材制备方法以及由此获得

[发明专利]钛靶材的加工方法-CN200910151153.5有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;鲍伟江;刘庆 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2009-07-27 - 公布日： 2009-12-30 - 主分类号： C22F1/18 文献下载
摘要：一种钛靶材的加工方法，包括：通过三次精度渐增的机械加工对钛工件进行处理，其中，在三次机械加工过程中用全周夹具固定钛工件，并且至少在第一次机械加工和第二次机械加工之间对钛工件进行应力释放。通过所述钛靶材的加工方法获得的钛靶材具有较好的表面纹路一致性，以及较低的表面粗糙度。
钛靶材加工方法

[发明专利]一种钨钛靶材的绑定方法-CN202210245381.4在审
发明人：余芳;文崇斌;童培云 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2022-03-13 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明属于半导体靶材制备技术领域，公开了一种钨钛靶材的绑定方法。所述绑定方法包括如下步骤：将钨钛靶坯加热至300～320℃保温，然后超声涂覆SnAgCu焊料层，得到金属化的靶坯；将背板加热至300～320℃保温，然后超声涂覆SnAgCu焊料层，得到金属化的背板；将熔化后的SnAgCu焊料涂覆于金属化的背板表面，并在焊料中均匀放置直径为0.1～0.5mm的铜丝；再将金属化的靶坯盖向处理后的背板进行挤压，放置压重物定位固定，降温，即得到绑定好的钨钛靶材。本发明方法可解决钨钛靶材绑定不良的问题，绑定率大于99％。
一种钨钛靶材绑定方法

[发明专利]一种铜靶材和铝合金背板的扩散焊接方法及制得的铜靶材组件-CN202010139403.X在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;章丽娜 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-03-03 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种铜靶材和铝合金背板的扩散焊接方法及制得的铜靶材组件，所述扩散焊接方法包括如下步骤：(1)在铜靶材焊接面上镀钛膜，再将镀有钛膜的铜靶材和铝合金背板进行装配处理，然后整体放入包套内；(2)将步骤(1)得到的包套封口后进行脱气处理；(3)将步骤(2)脱气后的包套进行热等静压焊接，然后去除所述包套，完成所述铜靶材和铝合金背板的扩散焊接。所述扩散焊接方法通过钛膜的良好扩散性，有助于提高铜靶材和铝合金背板之间的焊接结合度；此外，将钛膜镀在铜靶材焊接面上，可以提高钛膜的均匀性，有助于增强焊接结合度，既可以使操作简单化，又能节省原料成本。采用所述方法制得的铜靶材组件，焊接结合度在99％以上。
一种铜靶材铝合金背板扩散焊接方法组件

[发明专利]一种旋转靶材的绑定方法-CN201911025924.6在审
发明人：陈标;郭朋;刘所心;段宇龙 -专利权人：广西晶联光电材料有限责任公司
申请日： 2019-10-25 - 公布日： 2020-02-18 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及一种旋转靶材的绑定方法，该方法是先将靶材和钛管进行粗化处理，再对靶材和钛管分别进行金属化处理，然后在靶材和钛管上均匀的涂覆一层助焊剂；将靶材和钛管组装好，启动加热装置，将铟槽中铟液氧化膜去除，开启铟管道阀门，使铟液缓慢的从底部充满整个焊缝至铟池，然后开始对靶材进行分段冷却；最终冷却至室温，完成整根靶材的绑定过程。本发明采用整根靶材绑定的方式，可以简单高效地完成多节靶材的绑定工作，其优点为：无需高温组装，对组装时间未有严格的控制，自动化水平比较高；对工人劳动强度和员工操作的熟练程度要求不高，焊合率和焊合质量很好。
一种旋转绑定方法

[发明专利]一种钛铝铬合金靶及其制备方法-CN202011594213.3在审
发明人：汤振雷;吕宏;谢元锋;李屹民;张超 -专利权人：有研工程技术研究院有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： C22C27/06 文献下载
摘要：本发明公开了钛铝铬合金靶及其制备方法，该合金靶由钛铝铬三种元素成分，按原子百分比含量分别为钛5～50％，铝5‑50％，铬50～90％，属于高铬钛铝铬三元合金靶材。其制备方法为采用钛铝铬三种纯金属元素粉末，冷等静压成型后，脱气，真空热压烧结，最后机加工达到所需要的的尺寸。本发明制备的高铬钛铝铬合金靶具有致密度高，组织和成分均匀，晶粒细小等优点，制备流程短，成本低，质量稳定，适合规模生产，适用于工模具镀膜和装饰镀膜。
一种钛铝铬合金及其制备方法