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[发明专利]电子背散射衍射仪-CN201710596460.9有效
发明人：刘胜;李辉;陈黎玮;申胜男 -专利权人：武汉大学
申请日： 2017-07-20 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： G01N23/20058 文献下载
摘要：本发明涉及电子衍射仪，一种可实现缺陷自动调控的电子衍射仪，包括真空样品室，真空样品室内设置有样品台，还包括电子枪、缺陷调控光路以及处理单元，电子枪的电子脉冲聚焦后采用65‑70度的入射角射至样品台的样品上本发明的衍射仪可对样品进行晶体结构分析，还能够进行晶粒尺寸测量等方面的研究分析，且在保证高空间分辨率基础上，将衍射仪的时间分辨率提升至飞秒量级，保证检测信号信噪比的同时实现飞秒电子脉冲数量和能量可控，实现边监测
电子散射衍射

[发明专利]一种氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样的制备方法-CN201410290678.8有效
发明人：周莹;王虎;吴伟;曾毅;徐建;刘紫微 -专利权人：上海市计量测试技术研究院;中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2014-06-26 - 公布日： 2014-10-08 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样的制备方法。a、对氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样进行表面处理，b、将氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样固定在氩离子束研磨仪的样品台上，调节氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样的中心，c、抽真空至1×10^-5～1×10^-3Pa，先后三次调整且每次调整样品台的倾斜角度为60°～85°再对氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样进行氩离子束研磨，d、将氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样倾斜角度回复到0°，对氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样进行喷镀处理。本发明具有具有无剪切应力残留，无磨料污染，无划痕，试样损伤小等特点，菊池带具有较高的清晰度，电子衍射花样的标定率在95%以上。
一种氧化锆热障涂层电子散射衍射试样制备方法

[发明专利]一种电子背散射衍射分析用低碳钢样品的制备方法-CN201510864371.9在审
发明人：刘学伟;周丽萍;赵楠 -专利权人：上海梅山钢铁股份有限公司
申请日： 2015-12-01 - 公布日： 2017-06-09 - 主分类号： G01N1/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种电子背散射衍射分析用低碳钢样品的制备方法，主要解决现有电子背散射衍射分析用低碳钢样品的标定率低、样品重现性差的技术问题。一种电子背散射衍射分析用低碳钢样品的制备方法，包括以下步骤1）裁取低碳钢钢板制成镶嵌样；2）对镶嵌样进行机械研磨；3）对镶嵌样进行机械抛光；4）对镶嵌样进行震动抛光；5）将经震动抛光后的镶嵌样以待观察面为基准切割一片厚度为按上述方法得到电子背散射衍射分析用样品放入电子背散射衍射设备中进行观察分析。本发明方法操作简单、适应性广，样品重复性好。
一种电子散射衍射分析低碳钢样品制备方法

[发明专利]一种基于电子背散射衍射花样的晶面衍射衬度的成像方法-CN202210203357.4在审
发明人：王墉哲;曾毅;张积梅;林初城 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2022-03-02 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： G01N23/203 文献下载
摘要：本发明提供一种基于电子背散射衍射花样的晶面衍射衬度的成像方法，包括如下步骤：将待检样品表面抛光后置于扫描电镜的样品台上，样品台倾转60°‑70°，并设置电子背散射衍射分析的最佳工作距离；在经抛光的待检样品表面采集电子背散射衍射花样信号；将采集得到的衍射花样逐一导入至Matlab程序中，通过傅里叶变换、高斯低通滤波、反傅里叶变化降噪；通过霍夫变换识别菊池带中心线；逐一提取、线性叠加每一条衍射花样中心线所对应衍射花样中图像像素点，即晶面所对应的衍射花样上像素点灰度值；依据任意晶面可收集一组衍射花样上像素点灰度值，依据电子背散射衍射采集面分布图像x\y坐标，输出该晶面衍射衬度图像。
一种基于电子散射衍射花样成像方法

[发明专利]双模逐层测量系统-CN201710596413.4有效
发明人：刘胜;李辉;张国庆;申胜男 -专利权人：武汉大学
申请日： 2017-07-20 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： G01N23/20058 文献下载
摘要：本发明涉及电子衍射仪，提供一种双模逐层测量系统，包括真空样品室，真空样品室内设置有样品台，还包括电子脉冲控制单元、缺陷调控光路以及处理单元，缺陷调控光路上设置有激光脉冲能量调节装置以及激光脉冲扫描装置，处理单元包括用于接收电子背散射花样的第一接收组件、用于接收衍射图像的第二接收组件以及分析接收后衍射图像与电子背散射花样以控制激光脉冲能量调节装置与激光脉冲扫描装置的控制中心。本发明的测量系统可对微纳制造过程原位实时无损测量，实现边生长、边检测，且通过对衍射图像以及背散射花样处理获得样品表面缺陷信息，并根据此信息反馈调节飞秒激光脉冲能量及扫描位置，进行缺陷的修复，实现边检测、
双模测量系统

[发明专利]镀锌板表面镀层电子背散射衍射样品制备方法-CN201711150682.4有效
发明人：王志奋;万菲;周元贵;张彦文;邓照军 -专利权人：武汉钢铁有限公司
申请日： 2017-11-18 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： G01N23/20008 文献下载
摘要：本发明涉及镀锌板表面镀层的样品制备领域，公开了一种镀锌板表面镀层电子背散射衍射样品制备方法，包括如下步骤：试样预处理、双束系统样品室调节、切割区域设置和离子束切割。本发明镀锌板表面镀层电子背散射衍射样品制备方法利用聚焦离子束准确的微区加工功能，准确控制镀锌层的切割厚度，避免镀锌层受到腐蚀和应力影响，大幅度提高了镀锌板表面镀层电子背散射衍射样品的制备成功率。
镀锌板表面镀层电子散射衍射样品制备方法

[发明专利]一种提高塑性金属电子背散射衍射样品表面质量的方法-CN201911309430.0有效
发明人：陈玲;侯嘉鹏;徐爱民;王强;袁衢龙;张哲峰;盛叶弘 -专利权人：浙江华电器材检测研究所有限公司;中国科学院金属研究所
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G01N23/20008 文献下载
摘要：本发明涉及一种提高塑性金属电子背散射衍射样品表面质量的方法，所述方法包括以下步骤：样品制备、打磨、机械抛光、电解抛光、离子刻蚀；本发明的优点：由于打磨处理能消除样品表面制样的残留痕迹；机械抛光处理能进一步消除表面砂纸打磨残留划痕；电解抛光和离子刻蚀处理均可以去除样品表面的应力层，从而提高电子背散射衍射表征质量，提高了样品表面质量，降低表面应力层，提高样品可解率，从而获得更高质量的电子背散射衍射结果。
一种提高塑性金属电子散射衍射样品表面质量方法

[发明专利]电子背散射衍射确定未知晶体布拉菲点阵的方法-CN200810237624.X无效
发明人：韩明 -专利权人：山东理工大学
申请日： 2008-11-25 - 公布日： 2009-04-22 - 主分类号： G01N23/207 文献下载
摘要：本发明提供一种电子背散射衍射确定未知晶体布拉菲点阵的方法，其特征在于包括以下步骤：1)获得电子背散射衍射谱，并测量衍射谱中的晶体衍射信息；2)获得晶体的二维倒易面；3)由二维倒易面重构三维倒易初基胞；4该方法仅使用扫描电子显微镜和电子背散射衍射附件即可实现块状晶体未知点阵的分析，同时标定电子背散射衍射谱中菊池带和菊池极的指数。
电子散射衍射确定未知晶体布拉菲点阵方法

[发明专利]一种双相不锈钢晶粒组织显示方法-CN201210186110.2无效
发明人：张寿禄;赵泳仙;李国平;李建春;彭忠义 -专利权人：山西太钢不锈钢股份有限公司
申请日： 2012-06-07 - 公布日： 2012-10-10 - 主分类号： G01N23/203 文献下载
摘要：一种双相不锈钢晶粒组织显示方法，包括机械抛光、电解抛光、电子背散射衍射仪扫描晶体取向测量、晶粒组织显示四个工序，即加工试样并对试样进行机械抛光和电解抛光，然后进行试样选定区域的面扫描晶体取向测量，同时进行铁素体和奥氏体两相的相鉴别，最后对电子背散射衍射采集的晶体取向数据进行计算机数据分析，将不同的取向用不同的颜色显示。
一种不锈钢晶粒组织显示方法

[发明专利]金刚石电子背散射衍射分析样品的制备方法-CN201810963084.7在审
发明人：郭建超;蔚翠;冯志红;刘艳青;房玉龙;何泽召;刘庆彬;周闯杰;高学栋 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2018-08-22 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： G01N23/20008 文献下载
摘要：本发明适用于半导体技术领域，提供了一种金刚石电子背散射衍射分析样品的制备方法，该方法包括：将金刚石样品进行抛光处理；将抛光处理后的金刚石样品进行氢等离子体处理。本发明通过对金刚石样品抛光处理，使金刚石样品表面平整，通过对金刚石样品进行氢等离子体处理，能够降低金刚石表面残余应力，并能形成稳定的导电性氢终端，从而制备出表面平整、残余应力低、导电性良好的金刚石电子背散射衍射分析样品，能够满足电子背散射衍射分析的需求。
金刚石样品电子背散射衍射分析样品抛光处理金刚石制备氢等离子体处理导电性表面平整残余应力半导体技术领域金刚石表面氢终端分析

[发明专利]定向切割晶体任意晶面的简便方法-CN200910254586.3有效
发明人：介万奇;傅莉;罗林;王新鹏;王涛 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2009-12-29 - 公布日： 2010-06-16 - 主分类号： B28D1/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种定向切割晶体任意晶面的简便方法，属于晶体材料切割加工技术领域，所述方法首先切割出任意平面作为参考面，再利用电子背散射衍射技术确定参考面的纵向、横向、法向指数，然后计算所需任意晶面与参考面的夹角由于利用电子背散射衍射技术，将电子背散射衍射仪和传统的晶体材料切割装置结合起来，所以可将任意晶系的晶体定向切割出任意晶面，即使所需晶面为高指数衍射面或消光面，尤其适用于参考面取向未知、晶向偏离较大的晶体
定向切割晶体任意简便方法

[发明专利]一种柱状晶氧化锆涂层的电子背散射衍射样品及其制备方法-CN201810578288.9在审
发明人：叶云;刘敏;况敏;黄健;朱晖朝;黄仁忠;陈焕涛;邓子谦 -专利权人：广东省新材料研究所
申请日： 2018-06-06 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： G01N23/203 文献下载
摘要：本发明涉及一种柱状晶氧化锆涂层的电子背散射衍射样品及其制备方法，属于材料领域。上述制备方法简单、快捷、可靠，可有效保证样品平整不碎裂、与基体结合度高、导电且能有效消除应变层，从而实现较高的电子背散射衍射标定率。制备而得的柱状晶氧化锆涂层的电子背散射衍射样品平整不碎裂、与基体结合度高、导电且无表面应变层。
电子背散射衍射制备氧化锆涂层柱状晶表面应变层碎裂结合度导电镶样平整镶嵌材料领域导电层导电膜应变层标定喷涂去除碳膜保证

[发明专利]用于透射-电子背散射衍射的工具及衍射图像成像方法-CN201710084967.6有效
发明人：陈忠伟;田博文;谢斌;李昊波;韩一帆;张念;褚陆嘉 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2017-02-17 - 公布日： 2019-05-03 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于透射‑电子背散射衍射的工具及衍射图像成像方法，通过在传统的样品台基础上加了一个透射电镜样品安装夹，并固定其衍射角度(70°)，对材料进行透射‑电子背散射衍射图像成像。透射电镜样品不仅可以在透射电镜上分析，还可以用在EBSD上利用背散射电子，同时，样品台倾角的精准确定固定了样品的位置，更容易安装，是更多的电子束轰击目标区域，减少了其它部分的影响，同时还可以清晰的获得花样与材料的对应关系
用于透射电子散射衍射工具图像成像方法

[发明专利]一种基于EBSD数据快速分析材料各向异性因子分布的方法-CN202211300511.6在审
发明人：孙孟;刘雪晴;蒋卫斌;王先平;方前锋 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院;安徽工业技术创新研究院六安院
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： G01N23/203 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于EBSD数据快速分析材料各向异性因子分布的方法，S1：利用电子背散射衍射仪采集样品待分析区域的背散射衍射花样并提取获得原始衍射花样数据；S2：将所述原始衍射花样数据通过预设模型基于取向预设过程进行处理
一种基于 ebsd 数据快速分析材料各向异性因子分布方法

[发明专利]用于确定金属合金的回复状态的方法-CN201310089751.0有效
发明人： R.拉哈文;S.蒂瓦里;S.K.米什拉 -专利权人：通用汽车环球科技运作有限责任公司
申请日： 2013-03-20 - 公布日： 2013-09-25 - 主分类号： G01N23/203 文献下载
摘要：在一个示例中，利用所述金属合金的电子背散射衍射（EBSD）数据来确定所述金属合金的结晶晶粒取向的波动。电子背散射衍射机器的处理器利用局部取向偏差量化器将所述金属合金的结晶晶粒取向的波动与所述金属合金的塑性应变回复相关。本发明还公开了其他方法示例。
用于确定金属合金回复状态方法

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