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[发明专利]一种稀土增强钛合金材料的制备方法-CN201510936046.9在审
发明人：毛培 -专利权人：毛培
申请日： 2015-12-15 - 公布日： 2016-04-06 - 主分类号： C22C14/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种稀土增强钛合金材料的制备方法，包括粉体制备、激光3D打印、真空退火和电化学抛光步骤。通过钛合金粉末原料的元素成分选择，明显改善钛合金的抗拉强度、延伸率和断面收缩率；采用球磨-烧结-再球磨的方式获得成分均匀、粒度较好的3D打印原料；将3D打印技术与真空退火相结合，改善打印后的钛合金性能；并利用电化学抛光解决了
一种稀土增强钛合金材料制备方法

[发明专利]一种稀土掺杂钛合金材料-CN201510936055.8在审
发明人：毛培 -专利权人：毛培
申请日： 2015-12-15 - 公布日： 2016-04-13 - 主分类号： C22C14/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种稀土掺杂钛合金材料，该钛合金材料的制备方法包括粉体制备、激光3D打印、真空退火和电化学抛光步骤。通过钛合金粉末原料的元素成分选择，明显改善钛合金的抗拉强度、延伸率和断面收缩率；采用球磨-烧结-再球磨的方式获得成分均匀、粒度较好的3D打印原料；将3D打印技术与真空退火相结合，改善打印后的钛合金性能；并利用电化学抛光解决了
一种稀土掺杂钛合金材料

[发明专利]一种Ce、Nd增强钛合金材料-CN201510936053.9在审
发明人：毛培 -专利权人：毛培
申请日： 2015-12-15 - 公布日： 2016-04-20 - 主分类号： C22C14/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种Ce、Nd增强钛合金材料，该材料的制备方法包括粉体制备、激光3D打印、真空退火和电化学抛光步骤。通过钛合金粉末原料的元素成分选择，明显改善钛合金的抗拉强度、延伸率和断面收缩率；采用球磨-烧结-再球磨的方式获得成分均匀、粒度较好的3D打印原料；将3D打印技术与真空退火相结合，改善打印后的钛合金性能；并利用电化学抛光解决了
一种 ce nd 增强钛合金材料

[发明专利]一种流道式流体动压电化学复合抛光装置及方法-CN202210482929.7有效
发明人：卢安舸;刘俊;马秋成;马羚智;周鹏;童俊;王雨腾 -专利权人：湘潭大学
申请日： 2022-05-05 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： C25F3/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种流道式流体动压电化学复合抛光装置及方法，包括抛光组件、电解液循环装置、直流电源，所述抛光组件包含一动压流道，所述动压流道由楔形入口区、矩形动压区和楔形出口区组成，所述阴极位于矩形动压区上方，所述工件安装在矩形动压区下方，两者之间具有一定间距；所述阴极与直流电源负极相连，所述工件与直流电源正极相连；抛光时，电解液进入动压流道，在矩形动压区形成动压流场，同时，工件被加工表面发生电化学反应；电解液中的磨粒在动压流道内速度场和压力场的作用下，对工件表面的电化学反应层材料进行去除，实现复合抛光。本发明兼具流体动压抛光和电化学抛光的优点，可实现高效加工并可获得光滑无损伤抛光表面。
一种流道式流体压电化学复合抛光装置方法

[发明专利]采用电化学工艺制作GaAs MMIC背面通孔的方法-CN201610451557.6有效
发明人：郑贵忠;张杨;彭娜;王青;杨翠柏 -专利权人：中山德华芯片技术有限公司
申请日： 2016-06-20 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：本发明公开了一种采用电化学工艺制作GaAs MMIC背面通孔的方法，该方法采用MOCVD在半绝缘的GaAs衬底上生长GaAs/AlGaAs MMIC异质外延结构；通过台面隔离、正面电极制作、欧姆接触(肖特基势垒制作)、电镀等工艺完成器件的正面工艺；采用高腐蚀速率的化学腐蚀液将背面GaAs减薄，通过电化学抛光形成较光滑的背面；经背面光刻并蒸发金属Ni作为刻蚀阻挡层，采用RIE‑ICP刻蚀形成背面通孔。再次采用电化学抛光处理被刻蚀表面，使通孔内壁光滑，采用磁控溅射和电镀方法淀积金属Au，完成背面通孔制作。
采用电化学工艺制作 gaas mmic 背面方法

[发明专利]用于椭球型超导腔电化学抛光的电极及其安装方法-CN202210518708.0在审
发明人：郭浩;熊平然;谭腾;宋玉堃;初青伟;罗迪迪;何源;张生虎 -专利权人：中国科学院近代物理研究所
申请日： 2022-05-13 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： C25F3/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于椭球型超导腔电化学抛光的电极及其安装方法，包括分体式设计的如下各部件：第一抛光电极导电部件和第二抛光电极导电部件，二者均为杆状导电电极，第一抛光电极导电部件和第二抛光电极导电部件的第一端均包覆有抛光电极绝缘部件，且二者的第一端卡接连接；第三抛光电极导电部件，其为轮盘状结构，第三抛光电极导电部件套设在第一抛光电极导电部件的第一端上或第二抛光电极导电部件的第一端上，且连接处未设置抛光电极绝缘部件。该电极结构能够降低超导腔在电化学抛光过程中内表面不同位置的不均性提升抛光的均匀度。
用于椭球超导电化学抛光电极及其安装方法

[发明专利]金属镀层处理方法-CN201310330145.3有效
发明人：王坚;金一诺;王晖 -专利权人：盛美半导体设备(上海)有限公司
申请日： 2013-07-31 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明揭示了一种金属镀层处理方法，包括以下步骤：提供衬底，衬底形成有通孔；向衬底的通孔内填充金属并在衬底的表面形成金属层；以无应力电化学抛光的方式将金属层抛光至接近衬底的表面；对衬底表面的金属层进行退火工艺通常以化学机械研磨的方式去除衬底表面的金属层及通孔上方的金属凸起。本发明金属镀层处理方法通过整合无应力电化学抛光、化学机械研磨及退火工艺，突破了因金属层内应力造成衬底的翘曲和通孔上方金属凸起的技术瓶颈，提高了集成电路器件的质量。
金属镀层处理方法

[发明专利]一种管状支架的电化学抛光装置和抛光方法-CN202210658771.4有效
发明人：岳杨;丛海威 -专利权人：深圳市金瑞凯利生物科技有限公司
申请日： 2022-06-13 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： C25F3/16 文献下载
摘要：本申请涉及电化学抛光的技术领域，具体涉及一种管状支架的电化学抛光装置和抛光方法，抛光装置包括抛光槽和支撑架，所述抛光槽内盛有抛光液，所述支撑架可拆卸连接于所述抛光槽的侧壁，所述支撑架上安装有抛光组件，所述抛光组件包括连接于支撑架上的竖杆、连接在竖杆底端的竖直框架和连接在竖直框架底端的水平框架，所述竖杆、所述竖直框架与所述水平框架均为金属导体，管状支架位于所述水平框架内侧，所述水平框架与管状支架均浸没在抛光液中；通过导线将竖杆与电源的负极相接本申请具有提高管状支架抛光的均匀性的效果。
一种管状支架电化学抛光装置方法

[发明专利]一种电化学抛光装置及其使用方法、经导管介入泵的工件-CN202210868372.0有效
发明人：孙玮;赵余建;闫小珅 -专利权人：苏州心岭迈德医疗科技有限公司
申请日： 2022-07-22 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： C25F7/00 文献下载
摘要：本说明书实施例公开了一种电化学抛光装置及其使用方法、经导管介入泵的工件。电化学抛光装置包括第一固定盘、第二固定盘、内阴极和夹持装置；其中，所述内阴极的一端与所述第一固定盘连接，所述内阴极的另一端与所述第二固定盘连接；所述夹持装置包括多根阳极导丝，所述阳极导丝的一端与所述第一固定盘连接，所述阳极导丝的另一端与所述第二固定盘连接；当待抛光工件被夹持在多根所述阳极导丝之间时，所述内阴极能够从所述待抛光工件内部穿过。
一种电化学抛光装置及其使用方法导管介入工件

[发明专利]钛镍合金电化学抛光液-CN200410080080.2无效
发明人：缪卫东;米绪军;栗华矗 -专利权人：北京有色金属研究总院;有研亿金新材料股份有限公司
申请日： 2004-09-28 - 公布日： 2006-04-05 - 主分类号： C25F3/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种钛镍合金电化学抛光液配方。该电化学抛光液为无水抛光液，由多种醇类、高氯酸、添加剂组成。本配方不但可有效去除钛镍合金冷热加工过程中生成的厚氧化层、润滑剂(如石墨)层和夹杂物，有利于得到良好的抛光表面，而且具有加工效率高、实用性强、使用寿命长等特点，适用于不同成分、不同形状的钛镍合金。
镍合金电化学抛光

[实用新型]一种金属支架电化学抛光用夹具及含有其的装置-CN202021030679.6有效
发明人：严永豪;陈泳;胡晓露 -专利权人：深圳市信立泰生物医疗工程有限公司
申请日： 2020-06-08 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： C25F3/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种金属支架电化学抛光用夹具及含有其的装置，该夹具设置有一承载单元，承载单元具有相对的两端上分别设置有支架进入端和止挡端，支架进入端和止挡端之间为承载段，承载段用于承载经支架进入端穿入的待抛光的金属支架应用该金属支架电化学抛光用夹具可以改善支架表面的抛光效果，提高产品的良率及生产效率。
一种金属支架电化学抛光夹具含有装置

[发明专利]镁制血管支架的电化学抛光方法-CN201510472215.8有效
发明人：赵俊刚;张无量;赵海心 -专利权人：张无量
申请日： 2015-08-04 - 公布日： 2019-02-26 - 主分类号： C25F3/18 文献下载
摘要：本发明公开一种镁制血管支架的电化学抛光方法，其先将一阳极与一阴极放置于一有机镁电解液中，该阳极为镁制血管支架；再施加一电解电压于该阳极与该阴极之间，获得一经抛光的镁制血管支架。本发明的镁制血管支架的电化学抛光方法兼具有省时、省力及适用于具有精细的镁制血管支架的优点。
金属构件电化学抛光方法

[发明专利]一种适用于钛及钛合金阳极氧化的基体前处理工艺-CN200710119681.3无效
发明人：刘建华;徐永振;易俊兰;李松梅;龙国荣;甘武奎 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2007-07-30 - 公布日： 2008-03-26 - 主分类号： C25D11/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于钛及钛合金阳极氧化的基体前处理工艺，是在无氟处理液中进行的电化学抛光处理。本发明处理液解决了现有处理液中含有剧毒、强刺激性气味物质的缺陷，采用本发明处理液对钛及钛合金基体进行抛光处理，可以避免在阳极氧化前处理过程中氢氟酸的使用，同时也避免了甲醇、醚类等有毒物质及冰醋酸的使用，不会产生对人体不利的挥发物质及强烈刺激性气味，是一种环保安全的无氟电化学抛光工艺方法。
一种适用于钛合金阳极氧化基体处理工艺

[发明专利]电化学抛光终点检测装置及方法-CN201410190424.9有效
发明人：肖东风;贾照伟;王坚;王晖 -专利权人：盛美半导体设备(上海)有限公司
申请日： 2014-05-07 - 公布日： 2019-02-19 - 主分类号： B24B49/02 文献下载
摘要：本发明揭示了一种电化学抛光终点检测装置，包括晶圆夹盘、抛光喷头、抛光喷头致动器、测量探头、测量探头致动器及控制模块。晶圆夹盘夹持晶圆，晶圆夹盘带动晶圆旋转。抛光喷头向晶圆夹盘上的晶圆表面喷射抛光液。抛光喷头致动器驱动抛光喷头在晶圆表面上方水平移动。测量探头测量抛光后晶圆表面的金属层膜厚值。测量探头致动器驱动测量探头在晶圆表面上方水平移动。控制模块根据测量探头测量的金属层膜厚值判断是否达到抛光终点。在同一时刻，抛光喷头与测量探头均在以晶圆的中心为圆心的同一半径圆上。本发明还揭示了一种电化学抛光终点检测方法。
电化学抛光终点检测装置方法

[实用新型]一种尺寸消耗小且均匀的微小腔体电化学抛光装置-CN202023181401.1有效
发明人：刘洋;董笑瑜;梁田;滕达;李立凯;吴亚琴 -专利权人：南京三乐集团有限公司
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： C25F3/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种尺寸消耗小且均匀的微小腔体电化学抛光装置，包括电解槽，电解槽内部设置有电解液，电解液内部设置有定位模具，定位模具内部设置有方槽，方槽中部垂直设置有方形通孔，方槽内部设置有工具阴极，工具阴极前侧设置有微小腔体，定位模具一侧设置有电极孔，电极孔内部设置有电极，定位模具内部贯穿设置有螺孔；该一种尺寸消耗小且均匀的微小腔体电化学抛光装置通过设置工具阴极，可以达到实现对阴阳两极之间间距进行调节，从而确保抛光尺寸精度；通过设置搅拌泵，可以达到使被抛光工件表面成膜均匀；通过设置采用脉冲电源，可以达到提升抛光效果，减少微小腔体的尺寸消耗。
一种尺寸消耗均匀微小电化学抛光装置

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