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[发明专利]利用固体介质换热的热管式太阳能集热器-CN201310347811.4有效
发明人：吴健 -专利权人：吴健
申请日： 2013-08-09 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： F24J2/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用固体介质换热的热管式太阳能集热器，包括太阳能联集箱、边框、太阳能集热管、换热盘管和高导热石墨换热层；所述边框设置于太阳能联集箱的四周，所述太阳能集热管包括蒸发段和冷凝段，所述蒸发段设置于太阳能联集箱之外且固定在边框上，所述冷凝段设置于太阳能联集箱的内部，换热盘管设置于太阳能联集箱内，太阳能集热管的冷凝段设置于换热盘管的空隙部位，高导热石墨换热层包裹设置于太阳能集热管的冷凝段外。集热效率高、传热速度快、耐高温抗空晒、耐低温抗冷冻，克服了太阳能集热管对外传热表面积小能量相对集中易沉积水垢影响换热效果和全玻璃材质易发生粉碎性炸管而漏水的缺点。
利用固体介质热管太阳能集热器

[发明专利]一种高通量物理气相沉积方法用于钙钛矿电池中氧化物功能层的大面积制备-CN202011269860.7在审
发明人：刘生忠;孙友名;冯江山;曹越先;段连杰;王辉;杜敏永;王立坤;王开 -专利权人：中国科学院大连化学物理研究所
申请日： 2020-11-13 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明提供一种高通量物理气相沉积方法用于钙钛矿电池中氧化物功能层的大面积制备方法。所述的高通量是指单位时间内产量输出很高；所述的物理气相沉积方法包括电子束蒸发系统、磁控溅射系统、脉冲激光沉积系统、电阻式热蒸发系统等；所述的氧化物是指各种金属氧化物，例如三氧化钨、五氧化二铌、二氧化锡、
一种通量物理沉积方法用于钙钛矿电池氧化物功能大面积制备

[发明专利]基于NiO空穴传输层的甲胺铅碘基太阳能电池制备方法-CN201510865011.0有效
发明人：巩海波;姚朋岗;张永兴;许赞扬;樊帆 -专利权人：青海中兴新能源有限公司
申请日： 2015-12-01 - 公布日： 2018-12-04 - 主分类号： H01L51/42 文献下载
摘要：并用研钵充分研磨，将两者均匀混合；将混合粉末加入压片磨具中并加压得到靶材胚体；将胚体放入马弗炉，在空气中于1000摄氏度烧结4小时，自然冷却至室温后得到NiO靶材；将NiO靶材和清洗后的导电玻璃衬底固定在真空沉积腔内，抽真空至10^‑4帕；通入氩气和氧气的混合气体；用248nm的气体激光器轰击NiO靶材，使NiO气化并沉积在导电玻璃衬底上；将沉积了NiO导电层的衬底转移到手套箱中，并在其上生长甲胺铅碘基光吸收层和n型电子传输层；将以上样品表面用掩膜版覆盖，转移到热蒸发设备中蒸发金属电极。
靶材碘基甲胺太阳能电池制备空穴传输层导电玻璃衬底胚体沉积蒸发金属电极气体激光器热蒸发设备氩气衬底转移光吸收层混合粉末混合气体压片磨具样品表面真空沉积烧结研磨抽真空导电层马弗炉手套箱掩膜版放入气化腔内研钵轰击加压氧气清洗并用生长覆盖

[发明专利]一种红外焦平面探测器的铟柱及其制备方法-CN202010329369.2有效
发明人：齐志强;潘德彬;孙昊骋;胡文良 -专利权人：华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所）
申请日： 2020-04-23 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种红外焦平面探测器的铟柱的制备方法及用该方法制备的铟柱，本发明方法首先在芯片表面旋涂薄光刻胶，对准像元或读出单元电极中心开展一次套刻，制备圆形打底金属沉积孔，通过电子束蒸发蒸镀复合金属膜，采用湿法剥离方式获得打底金属图形阵列；然后，旋涂中等厚度光刻胶，对准打底金属图形中心开展二次套刻，制备方形铟柱沉积孔，再通过真空热蒸发沉积铟膜，采用湿法剥离工艺获得铟柱；最后采用回流炉在甲酸氛围下缩球，获得大高宽比铟柱阵列。
一种红外平面探测器及其制备方法

[发明专利]高真空三室三掩模库薄膜沉积系统-CN201310000754.2无效
发明人：吕正红;张晋;王登科;刘春;周红章;孙影 -专利权人：云南大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2013-01-05 - 公布日： 2013-04-24 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种高效率制备薄膜器件的高真空三室三掩模库薄膜沉积系统，该系统由氧化物生长室、金属生长室、有机物生长室、手套箱、基片架和掩模库组件、电动传送杆组件、传递小车组件、热蒸发水冷电极、有机源蒸发炉、膜厚测试及电控系统组成，其特征在于：所述的氧化物生长室、金属生长室、有机物生长室顶部均安装有基片架和掩模库组件，一个掩模库可放5个基片架，每个基片架可放9块基片，因此，在原位真空条件下可实现一次对126片基片进行多层膜沉积至器件封装，大幅度提高多层膜材料及器件制作效率，同时降低薄膜沉积系统的建造成本。
真空三室三掩模库薄膜沉积系统

[发明专利]一种a－b取向ZnO纳米线阵列的制备方法-CN200610022670.9无效
发明人：戴丽萍;邓宏 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2006-12-27 - 公布日： 2007-09-19 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明采用化学气相沉积技术，以纯ZnO粉末为蒸发源，采用蓝宝石A1₂O₃(110)作为衬底，控制蒸发源的温度不低于ZnO粉末的热分解温度，控制衬底温度不低于750℃，真空度在200－300托，传输气体采用Ar气，气流量为35sccm，使ZnO粉末受热分解为Zn和O，再通过氩气传输，在基片上沉积生长a－b取向ZnO纳米线阵列。本发明利用现有的化学气相沉积技术，可方便地制备出具有a－b取向的ZnO纳米线阵列，所得到的a－b取向的ZnO纳米线阵列具有优良的紫外光敏感特性和快的光响应速度。
一种取向 zno 纳米阵列制备方法

[发明专利]一种准周期大面积耐高温的红外热辐射器及其制备方法-CN202111493941.X在审
发明人：刘锋;李晓温;文政绩;郝加明;许昊;石溪 -专利权人：上海师范大学
申请日： 2021-12-08 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： H01K1/08 文献下载
摘要：本发明公开一种准周期大面积耐高温的红外热辐射器及其制备方法，该辐射器由多层膜结构组成，包括衬底、金属层、介质a、介质b，介质层厚度由遗传算法优化得出，每层厚度为100‑600nm，膜系的制备方法可以采用磁控溅射、离子束溅射、电子束蒸发、热蒸发、脉冲激光沉积、原子层沉积等其中的一种或者多种组合。
一种周期大面积耐高温红外辐射器及其制备方法

[发明专利]由化学气相沉积法沉积的有机聚合物抗反射涂层-CN01805228.2无效
发明人： T·部鲁尔;D·格雷罗;R·W·萨布尼斯;M·J·斯潘塞 -专利权人：部鲁尔科学公司
申请日： 2001-02-02 - 公布日： 2003-03-19 - 主分类号： G03C1/76 文献下载
摘要：概括地说，该方法包括使抗反射化合物化学沉积(CVD)到基片表面上。在一个实施方式中，所述的化合物高度应变(如应变能至少约为10千卡/摩尔)，并包含两个经连接基团相连的环状部分。CVD法包括对抗反射化合物加热使其蒸发，然后使蒸发的化合物热解成稳定的双自由基，后者随后聚合到沉积室中的基片表面上。
化学沉积有机聚合物反射涂层

[发明专利]一种靶向超声聚焦分散纳米流体热管砂轮及其使用方法-CN202310734784.X在审
发明人：陈佳佳;刘松炎;杨勇;袁冬冬;吉蔚黄 -专利权人：南京林业大学
申请日： 2023-06-20 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B24D7/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种靶向超声聚焦分散纳米流体热管砂轮及其使用方法，包括刀柄，所述刀柄的下方设有冷凝部，所述冷凝部的下方设有绝缘部，所述绝缘部的下方设有蒸发部，所述冷凝部、所述绝缘部以及蒸发部内设有装载纳米流体的热管空腔，所述热管空腔内设有扰动所述纳米流体的聚焦分散装置，解决成型热管砂轮内部纳米流体沉积在砂轮与工件的接触区域阻碍换热的问题，将促进纳米流体作为工质在成型热管砂轮中的应用。
一种靶向超声聚焦分散纳米流体热管砂轮及其使用方法

[发明专利]操作沉积设备的方法和沉积设备-CN202011030871.X在审
发明人：乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波;斯蒂芬·班格特;德烈亚斯·勒普;哈拉尔德·沃斯特;迪特尔·哈斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-05-10 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： C23C14/12 文献下载
摘要：提供了一种操作沉积设备之方法。所述方法包括：通过从蒸发源(20)的一个或多个出口(22)导引蒸发的源材料朝向基板(10)而在基板(10)上沉积蒸发的源材料，其中部分的蒸发的源材料由屏蔽装置(30)阻挡并且附接于所述屏蔽装置，所述屏蔽装置布置在一个或多个出口根据另一方面，提供沉积设备，所述沉积设备可根据所述的方法操作。
操作沉积设备方法

[发明专利]操作沉积设备的方法和沉积设备-CN201680082636.2有效
发明人：乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波;斯蒂芬·班格特;德烈亚斯·勒普;哈拉尔德·沃斯特;迪特尔·哈斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-05-10 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： C23C14/12 文献下载
摘要：提供了一种操作沉积设备之方法。所述方法包括：通过从蒸发源(20)的一个或多个出口(22)导引蒸发的源材料朝向基板(10)而在基板(10)上沉积蒸发的源材料，其中部分的蒸发的源材料由屏蔽装置(30)阻挡并且附接于所述屏蔽装置，所述屏蔽装置布置在一个或多个出口根据另一方面，提供沉积设备，所述沉积设备可根据所述的方法操作。
操作沉积设备方法

[发明专利]物理气相沉积装置及物理气相沉积方法-CN200880130931.6无效
发明人：汤本敦史;丹羽直毅;广木富士男;山本刚久 -专利权人：多摩-技术转让机关株式会社
申请日： 2008-07-28 - 公布日： 2011-07-20 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明提供使即使通过等离子体或电弧放电等加热也难以形成微粒的物质成膜的物理气相沉积装置及物理气相沉积方法。所述物理气相沉积装置包括在内部具备蒸发源材料(15)和对蒸发源材料(15)进行加热的加热部(16)的蒸发室(10)、在内部具备粉体的粉体供给源(20)、成膜室(30)，通过加热部(16)对蒸发源材料(15)进行加热而生成微粒(纳米粒子)，使微粒和粉体从超音速喷管(35)喷出并承载于超音速气流，从而使微粒和粉体物理气相沉积于成膜对象基板(33)。
物理沉积装置及物理气方法

[发明专利]一种热蒸发制备二氧化锡晶体的方法-CN201910002046.X有效
发明人：宁洪龙;邓培淼;姚日晖;谢伟广;张旭;张观广;梁宏富;梁志豪;李志航;彭俊彪 -专利权人：华南理工大学
申请日： 2019-01-02 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： C01G19/02 文献下载
摘要：本发明属于半导体材料领域，公开了一种热蒸发制备二氧化锡晶体的方法。以SnO作为源材料，放置于管式炉中心加热区，将洗净的表面掺二氧化硅的硅片作为衬体，放置在距源材料12～20cm处；将管式炉内抽真空，然后通入Ar气；加热管式炉中心加热区温度为600～1200℃进行热蒸发沉积
一种蒸发制备氧化晶体方法

[发明专利]一种利用热蒸发铝种子层制备顶栅型场效应管的方法-CN202010376603.7有效
发明人：彭刚;杨航;罗威;秦石乔 -专利权人：中国人民解放军国防科技大学
申请日： 2020-05-07 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H01L29/423 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用热蒸发铝种子层制备顶栅型场效应管的方法，其先热蒸发超薄金属至二维材料表面，然后使二维材料表面干燥，并在干燥箱中自然氧化为种子层，再利用原子层沉积法在二维材料表面生长高介电常数栅介质。
一种利用蒸发种子制备顶栅型场效应方法

[发明专利]一种蒸发沉积薄膜的厚度量测方法-CN201611116719.7在审
发明人：韩志龙 -专利权人：成都海威华芯科技有限公司
申请日： 2016-12-07 - 公布日： 2017-03-29 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及检测技术领域，尤其是一种蒸发沉积薄膜的厚度量测方法，其目的在于快速量测蒸发沉积薄膜的厚度，所述量测方法主要是蒸发沉积时在衬底面上放置一个带通孔的挡片，从而在沉积面上形成薄膜图形，然后使用台阶仪量测薄膜图形与衬底面的高度差
一种蒸发沉积薄膜厚度方法