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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种PVD法生产硒化锌的改进装置-CN202121855787.1有效
发明人：杨锦春;王劲;吴玉堂;朱敏 -专利权人：南京波长光电科技股份有限公司
申请日： 2021-08-10 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： C30B28/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种PVD法生产硒化锌的改进装置，包括蒸发沉积系统和真空系统；蒸发沉积系统包括保温外壳和石英管罩；保温外壳内侧沿轴向分割为蒸发区和沉积区；石英管罩位于保温外壳内侧，位于蒸发区的石英管罩内侧设有盛料组件；位于沉积区的石英管罩内侧设有沉积模具；石英管罩外侧和蒸发区内侧之间设有蒸发加热器，石英管罩外侧和沉积区内侧之间设有沉积加热器；蒸发加热器和沉积加热器之间设有隔热层；位于沉积区的石英管罩端部伸出保温外壳与真空系统连通
一种 pvd 生产硒化锌改进装置

[发明专利]沉积材料、其制造方法和制造装置及电子束照射沉积方法-CN201310491570.0无效
发明人：须藤业;香取健二;本村勇人 -专利权人：索尼公司
申请日： 2013-10-18 - 公布日： 2014-06-04 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：本发明涉及沉积材料、其制造方法和制造装置及电子束照射沉积方法。所述沉积材料制造方法包括：将至少一种粉末浸入液体中，并且在所述浸入之后，蒸发所述液体以使所述粉末固化为用于电子束照射沉积的沉积材料。所述沉积材料制造装置包括：用于使至少一种粉末浸入液体中的容器；以及蒸发处理部，它用于蒸发所述容器中的所述液体以使所述粉末固化为用于电子束照射沉积的沉积材料。所述电子束照射沉积方法包括：将至少一种粉末浸入液体中；在所述浸入后，蒸发所述液体以使所述粉末固化；以及将固化后的所述粉末布置在电子束照射沉积装置中以执行电子束照射沉积。所述沉积材料包括通过从浸有粉末的液体中蒸发所述液体而获得的固化材料。
沉积材料制造方法装置电子束照射

[发明专利]独立控制五温区ZnSe合成沉积炉-CN201210443877.9无效
发明人：付国忠;侯秋林;陈秀珩;张广科;王东鹏 -专利权人：北京力量激光元件有限责任公司
申请日： 2012-11-09 - 公布日： 2013-02-27 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明涉及一种独立控制五温区ZnSe合成沉积炉，包括硒蒸发区、锌蒸发区、合成区、沉积区以及杂质富集区，合成区的一端连接硒蒸发区，合成区的另一端连接锌蒸发区，合成区的第三端与沉积区的一端连接，沉积区的另一端与杂质富集区连接，在硒蒸发区、锌蒸发区、合成区以及沉积区分别设有各自的加热器，通过控制系统控制上述四个区加热器的加热温度、反应温度以及反应流程以沉积出优质的硒化锌合成料。本发明由于在各个区中设置加热器并且进行独立的温控，使得硒蒸发区和锌蒸发区中膜料的各个加热阶段相对应，避免了硒和锌蒸发温度不同带来的影响，最终确保沉积出优质的硒化锌合成料。
独立控制五温区 znse 合成沉积

[实用新型]一种即热式蒸汽发生器-CN201922360704.0有效
发明人：汪大鹏;白二林 -专利权人：上海颖聪机电科技有限公司
申请日： 2019-12-25 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： F22B1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种即热式蒸汽发生器，包括装置底座，所述装置底座上固定连接有发生器，所述发生器上设有用于实现清理发生器内沉积水垢的水垢清理机构，所述发生器的上端面固定连接有蒸汽出口，所述蒸汽出口上螺纹连接有接口，所述发生器的侧壁上设有用于实现蒸汽流通的通流管机构，所述发生器内底部设有用于实现蒸发水加热蒸发的蒸发机构，所述装置底座与发生器之间设有用于提供蒸发水的循环机构。本实用新型结构合理，通过设置水垢清理机构实现在不拆卸发生器的前提下对发生器内沉积的水垢进行溶解处理，通过设置蒸发机构实现利用涡流风扇将发生器内的蒸发水产生涡流，加速水分子之间的热能交换实现对于加热时间的缩短
一种即热式蒸汽发生器

[发明专利]沉积蒸发源-CN201010149799.2无效
发明人：雷智;邹志杰 -专利权人：无锡尚德太阳能电力有限公司;四川尚德太阳能电力有限公司
申请日： 2010-04-12 - 公布日： 2011-10-12 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种沉积蒸发源，其包括加热装置，加热板和蒸发材料，其中该加热板上设置有多个凹槽，且配置该加热板上的多个凹槽使得位于该加热板中心部分的凹槽的体积之和小于位于该加热板边缘部分的凹槽的体积之和，其中该蒸发材料被放置于该凹槽内根据本发明的沉积蒸发源能够有效地解决由衬底表面的温度不一致而导致沉积薄膜的沉积厚度不一致的问题。根据本发明的沉积蒸发源能够实现了衬底表面上沉积薄膜的均匀一致，从而获得高品质的沉积薄膜。
沉积蒸发

[发明专利]一种金锡合金焊料制备方法-CN201310068523.5有效
发明人：王昭 -专利权人：中国工程物理研究院应用电子学研究所
申请日： 2013-03-05 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： B23K35/40 文献下载
摘要：本发明为一种金锡合金焊料制备方法，该方法通过采用Au靶和Sn靶分层磁控溅射技术，在CuW次热沉上沉积各种金属膜，并通过高温合金烧结形成金锡合金焊料；与传统技术相比该方法其优势就在于较快的沉积速率，在沉积过程中还可以通过旋转基板来保证沉积层厚度的一致性，避免了传统电子束蒸发或分层电镀带来的利用率太低而电镀反应不好控制，厚度和成分都很难精确控制的缺点。
一种合金焊料制备方法

[发明专利]一种镀膜设备及镀膜方法-CN201811303761.9在审
发明人：辛科;杨立红 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明提供一种镀膜设备及镀膜方法，镀膜设备包括相连接的第一沉积腔室和第二沉积腔室，所述第一沉积腔室和第二沉积腔室均包括至少一排非金属蒸发源，每一排非金属蒸发源对应至少两排金属蒸发源，在每一排非金属蒸发源对应的金属蒸发源中，至少两排金属蒸发源相对于该排非金属蒸发源对称设置；其中，第二沉积腔室中的每排金属蒸发源的总数量为7个。
一种镀膜设备方法

[发明专利]一种镀膜设备及镀膜方法-CN201811303248.X在审
发明人：辛科;杨立红 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种镀膜设备及镀膜方法，镀膜设备包括相连接的第一沉积腔室和第二沉积腔室，所述第一沉积腔室和第二沉积腔室均包括至少一排非金属蒸发源，每一排非金属蒸发源对应至少两排金属蒸发源，在每一排非金属蒸发源对应的金属蒸发源中，至少两排金属蒸发源相对于该排非金属蒸发源对称设置；其中，第二沉积腔室中的每排金属蒸发源的总数量为9个。
一种镀膜设备方法

[发明专利]一种镀膜设备及镀膜方法-CN201811303296.9在审
发明人：辛科;杨立红 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明提供一种镀膜设备及镀膜方法，镀膜设备包括相连接的第一沉积腔室和第二沉积腔室，所述第一沉积腔室和第二沉积腔室均包括至少一排非金属蒸发源，每一排非金属蒸发源对应至少两排金属蒸发源，在每一排非金属蒸发源对应的金属蒸发源中，至少两排金属蒸发源相对于该排非金属蒸发源对称设置；其中，第二沉积腔室中的每排金属蒸发源的总数量为10个。
一种镀膜设备方法

[发明专利]一种镀膜设备及镀膜方法-CN201811303299.2在审
发明人：辛科;杨立红 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种镀膜设备及镀膜方法，镀膜设备包括相连接的第一沉积腔室和第二沉积腔室，所述第一沉积腔室和第二沉积腔室均包括至少一排非金属蒸发源，每一排非金属蒸发源对应至少两排金属蒸发源，在每一排非金属蒸发源对应的金属蒸发源中，至少两排金属蒸发源相对于该排非金属蒸发源对称设置；其中，第二沉积腔室中的每排金属蒸发源的总数量为12个。
一种镀膜设备方法

[发明专利]一种镀膜设备及镀膜方法-CN201811303759.1在审
发明人：辛科;杨立红 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种镀膜设备及镀膜方法，镀膜设备包括相连接的第一沉积腔室和第二沉积腔室，所述第一沉积腔室和第二沉积腔室均包括至少一排非金属蒸发源，每一排非金属蒸发源对应至少两排金属蒸发源，在每一排非金属蒸发源对应的金属蒸发源中，至少两排金属蒸发源相对于该排非金属蒸发源对称设置；其中，第二沉积腔室中的每排金属蒸发源的总数量为13个。
一种镀膜设备方法

[发明专利]一种镀膜设备及镀膜方法-CN201811303695.5在审
发明人：辛科;杨立红 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明提供一种镀膜设备及镀膜方法，镀膜设备包括相连接的第一沉积腔室和第二沉积腔室，所述第一沉积腔室和第二沉积腔室均包括至少一排非金属蒸发源，每一排非金属蒸发源对应至少两排金属蒸发源，在每一排非金属蒸发源对应的金属蒸发源中，至少两排金属蒸发源相对于该排非金属蒸发源对称设置；其中，第二沉积腔室中的每排金属蒸发源的总数量为6个。
一种镀膜设备方法

[发明专利]一种镀膜设备及镀膜方法-CN201811303767.6在审
发明人：辛科;杨立红 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明提供一种镀膜设备及镀膜方法，镀膜设备包括相连接的第一沉积腔室和第二沉积腔室，所述第一沉积腔室和第二沉积腔室均包括至少一排非金属蒸发源，每一排非金属蒸发源对应至少两排金属蒸发源，在每一排非金属蒸发源对应的金属蒸发源中，至少两排金属蒸发源相对于该排非金属蒸发源对称设置；其中，第二沉积腔室中的每排金属蒸发源的总数量为11个。
一种镀膜设备方法

[发明专利]一种可控的热焊接法制备高性能场效应晶体管的方法-CN201810158154.1在审
发明人：单福凯;崔友朝;孟优;刘国侠 -专利权人：青岛大学
申请日： 2018-02-25 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： H01L29/786 文献下载
摘要：本发明公开了一种可控的热焊接法制备高性能场效应晶体管的方法，采用溶液法制备ZrO2高k介质薄膜；采用静电纺丝技术制备纳米纤维网络，通过高温煅烧，利用热蒸发沉积源漏电极。
场效应晶体管可控的热焊接静电纺丝技术纳米纤维网络高k介质薄膜热蒸发沉积溶液法制备高温煅烧纳米纤维源漏电极衬底制备

[发明专利]制造系统以及发光元件的制作方法-CN03822329.5有效
发明人：山崎舜平;桑原秀明;村上雅一 -专利权人：株式会社半导体能源研究所
申请日： 2003-09-19 - 公布日： 2005-10-12 - 主分类号： H05B33/10 文献下载
摘要：本发明提供一种气相沉积方法和薄膜形成系统的气相沉积系统，通过该气相沉积方法和气相沉积系统可以更有效地利用EL材料，并且以高的生产率形成具有良好均匀性的EL材料。根据本发明，在薄膜形成室内，其中密封含有蒸发材料的多个容器的矩形蒸发源支架相对于衬底以一定间距移动，并且蒸发材料被气相沉积在衬底上。另外，在蒸发源支架移动同时，矩形蒸发源支架的纵向可以与衬底的一侧倾斜。另外，优选的是在气相沉积期间，在形成TFT时蒸发源支架的移动方向与激光束的扫描方向不同。
制造系统以及发光元件制作方法

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