专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]超净高纯级氟化铵溶液制备装置-CN201020250960.0有效
  • 戈士勇 - 江阴市润玛电子材料有限公司
  • 2010-07-01 - 2011-03-23 - C01C1/16
  • 本实用新型涉及一种超净高纯级氟化铵溶液制备装置,其特征在于:它包括液氨储罐(1)、第一水洗桶(2)、第二水洗桶(3)、吸收桶(4)、混合罐(5)、过滤器(6)、成品桶(7)、氢氟酸桶(8)、纯化水桶(9本实用新型超净高纯级氟化铵溶液制备装置,将液氨汽化为氨气,再经二级水洗以除去金属与非金属杂质,然后,将经过处理的氨气通入吸收桶与氢氟酸溶液反应,并经过混合罐混合后,过滤分装制得超净高纯级氟化铵溶液,其能满足微电子领域使用要求
  • 净高氟化溶液制备装置
  • [发明专利]一种改善晶圆背面色差的方法-CN201310202647.8有效
  • 王福喜;任昱;吕煜坤;张旭升 - 上海华力微电子有限公司
  • 2013-05-28 - 2013-09-18 - H01L21/02
  • 本发明的改善晶圆背面色差的方法,包括:将晶圆置于刻蚀腔内的下电极上,对晶圆表面进行光刻工艺;多晶硅膜上且对应于所述下电极孔隙处被氧化而形成氧化层;采用氢氟酸溶液湿法腐蚀去除氧化层;采用清洗液对晶圆背面进行清洗本发明的方法,通过在对晶圆背面进行清洗之前,增加采用氢氟酸溶液去除晶圆背面氧化层的步骤,利用稀释的氢氟酸溶液对氧化层具有腐蚀性而对多晶硅膜不具腐蚀性的特点,能够将晶圆背面的氧化层去除,然后再利用清洗液对晶圆背面进行清洗
  • 一种改善背面色差方法
  • [发明专利]一种氟化法制备纳米二氧化钛的方法-CN202011163100.8有效
  • 潘锋;朱庆山;范川林;马素刚;葛宇 - 中国科学院过程工程研究所
  • 2020-10-27 - 2023-04-28 - C01G23/07
  • 所述方法主要包括冷却吸收‑溶解、吸附沉淀、洗涤净化、干燥、流态化分解、冷却收集、提纯和火焰合成工序,具体为:利用含氟烟气冷却吸收得到氢氟酸(可按需补充)与富钛料反应得到氟钛酸溶液;接着,加入流态化分解产生的粉体产物,使氟钛酸与碱金属氟盐形成氟硅酸盐沉淀,氢氟酸溶液循环返回用于吸收‑溶解工序;氟钛酸盐经过洗涤净化、过滤干燥后,进行流态化分解得到四氟化钛烟气和分解粉体产物;四氟化钛烟气经冷却收集、提纯得到精四氟化钛后采用氢焰法合成纳米二氧化钛产品,所产生烟气经冷却吸收处理形成氢氟酸和氟钛酸混合溶液循环用于与富钛料反应。
  • 一种氟化法制纳米氧化方法
  • [发明专利]硅片清洗方法-CN201811115546.6在审
  • 龙永灯 - 君泰创新(北京)科技有限公司
  • 2018-09-25 - 2020-03-31 - H01L21/02
  • 本发明公开了一种硅片清洗方法,包括:将硅片放入第一溶液中,并在所述第一溶液中通入臭氧;其中,所述第一溶液包括盐酸;将所述硅片从第一溶液中取出,放入第二溶液中,所述第二溶液包括硝酸和氢氟酸;将所述硅片从第二溶液中取出,放入第三溶液中,并在所述第三溶液中通入臭氧;其中,所述第三溶液包括氨水;将所述硅片从第三溶液中取出,放入第四溶液中,所述第四溶液包括盐酸和氢氟酸;将所述硅片从第四溶液中取出,并将所述硅片烘干。本发明不但弥补了双氧水的分解、氧原子的流失,还加快了微量金属离子的去除,提高了硅片表面清洁度,从而有利于提升硅片的少子寿命;同时还降低加热温度,减少化学试剂的流失,从而减少化学试剂的补液量,延长化学溶液的更换周期
  • 硅片清洗方法

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