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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种多功能晶圆片传片装置-CN201721291284.X有效
发明人：尚荣耀;洪常峰;涂培明;张建仁 -专利权人：厦门市三安集成电路有限公司
申请日： 2017-09-30 - 公布日： 2018-05-15 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多功能晶圆片传片装置，包括底座、两个固定组件以及至少一推片组件；所述两个固定组件于底座上前后相对设置并分别用于固定晶圆片盒，其中各固定组件分别包括用于控制晶圆片盒前后位置的第一固定机构和用于控制应晶圆片盒左右位置的第二固定机构，所述两个固定组件中的至少一个还包括用于控制晶圆片盒上下位置的第三固定机构；所述推片组件设于底座上以用于将一晶圆片盒内的晶圆片推入另一晶圆片盒之内。本实用新型通过固定组件调整晶圆片盒上下、左右、前后方向的位置以使两晶圆片盒的插槽对齐，可实现相同晶圆尺寸不同材质片盒之间的晶圆片的顺利传片，可进行多种晶圆尺寸的晶圆片的顺利传片，使用方便，效率高。
一种多功能晶圆片传片装置

[发明专利]晶圆收纳盒及晶圆组件-CN202010625188.4在审
发明人：王宏建;赵卫;朱建海;沈旋;何自坚;申漫漫 -专利权人：松山湖材料实验室
申请日： 2020-06-30 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请提供一种晶圆收纳盒及晶圆组件，涉及晶圆收纳领域。晶圆收纳盒包括可开合设置的盒体以及调节件，其中盒体内设有用于容置晶圆的第一容纳槽；调节件用于安装于第一容纳槽内并形成第二容纳槽以容置不同尺寸的晶圆，其结构简单且操作方便，能够满足在一个晶圆收纳盒内进行多尺寸晶圆的收纳需求，同时无需针对晶圆的尺寸差异而采用不同的晶圆收纳盒，通用性强。
收纳组件

[发明专利]一种晶圆清洗设备推拉式晶圆盒输送方法-CN202011636160.7有效
发明人：邓信甫;吴海华;毛明军;刘大威 -专利权人：至微半导体（上海）有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆清洗设备推拉式晶圆盒输送方法，包括以下步骤：步骤一、将晶圆盒放置于一晶圆承载推车上，晶圆承载推车上放置有晶圆放置槽，将晶圆承载推车推入一晶圆装载装置的推车放置槽内；步骤二、机械夹持装置沿着晶圆装载装置的长度方向移动，直至运动至晶圆放置槽的正上方；步骤三、机械夹持装置动作，对晶圆盒进行抓取；步骤四、机械夹持装置夹取晶圆盒并返回至原始工作点位。本发明能够实现机械手在晶圆装载区域顺畅的转移，提高晶圆的输送效率，减少晶圆清洗设备的整体体积。
一种清洗设备推拉式晶圆盒输送方法

[实用新型]一种晶圆称重排序机-CN202320149920.4有效
发明人：卢传播 -专利权人：厦门市弘瀚电子科技有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： B07C5/18 文献下载
摘要：本实用新型公开一种晶圆称重排序机，包括机架，以及设置在机架上的晶圆料盒、中转料盒、电子秤、存储控制器和晶圆搬运机械手；晶圆料盒侧壁纵向阵列开设有多个晶圆插槽，每个晶圆插槽供一片晶圆插入放置；中转料盒上开设有多个中转插槽，每个中转插槽供一片晶圆插入放置，且中转插槽的数量不少于一个晶圆料盒上的晶圆插槽数量减一；电子秤供晶圆放置，以进行晶圆称重；存储控制器通讯连接电子秤和晶圆搬运机械手；晶圆搬运机械手用于在电子秤、各晶圆插槽和中转插槽之间转运晶圆本实用新型能够自动使多片晶圆按照重量从大到小的顺序，从下到上依次排列于晶圆料盒中。
一种称重排序

[发明专利]一种晶圆盒组件、系统及监控晶圆制程的方法-CN201410264578.8有效
发明人：欧阳富 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2014-06-13 - 公布日： 2018-07-10 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶圆盒组件、系统及监控晶圆制程的方法。所述晶圆盒组件包括：晶圆盒及控制器，所述晶圆盒上具备电子标签；所述电子标签适于存储供所述控制器读取的晶圆下一制程的限制等待时间。本发明能够更好地控制晶圆工艺制程之间的等待时间。
制程晶圆盒晶圆电子标签控制器圆盒种晶读取晶圆工艺组件包括监控存储

[发明专利]晶圆盒清洗装置和晶圆盒清洗装置的控制方法-CN202010571977.4有效
发明人：陈建铭;卢健平 -专利权人：徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2020-06-22 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： B08B9/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆盒清洗装置和晶圆盒清洗装置的控制方法，晶圆盒清洗装置包括腔体、旋转架、清洗组件和温度测量结构，腔体内限定出清洗腔，旋转架可转动地设于清洗腔内，且用于固定晶圆盒，清洗组件设于腔体上且包括蒸汽清洗结构和水清洗结构，蒸汽清洗结构通过第一喷嘴与清洗腔连通以向清洗腔喷出蒸汽，水清洗结构通过第二喷嘴与清洗腔连通以向清洗腔喷水，温度测量结构用于检测晶圆盒的壁面温度。根据本发明的晶圆盒清洗装置，可以提升晶圆盒的清洗效率和清洗效果，同时避免了晶圆盒高温变形，保证晶圆盒结构稳定。
晶圆盒清洗装置控制方法

[发明专利]一种晶舟盒及包括该晶舟盒的半导体设备-CN201811564336.5在审
发明人：刘超群 -专利权人：中芯集成电路（宁波）有限公司
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供一种晶舟盒及包括该晶舟盒的半导体设备，所述晶舟盒，用于装载晶圆，包括：盒体，所述盒体具有内部空腔、顶盖、与所述顶盖相对的底壁；晶圆载具，设置于所述盒体的所述内部空腔内，用以装载至少一个晶圆；所述晶圆载具与所述顶盖、所述底壁可拆卸固定连接，所述顶盖能够打开，以取出或装载所述晶圆载具。本发明的晶舟盒能够提高每小时产量和保证晶圆安全性。
一种晶舟盒包括半导体设备

[发明专利]空晶圆盒管理方法、装置、计算机设备和存储介质-CN202210114449.5有效
发明人：缪峰;申国莉 -专利权人：弥费实业（上海）有限公司
申请日： 2022-01-30 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： G06Q10/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种空晶圆盒管理方法、装置、计算机设备和存储介质，属于仓库管理领域，方法包括通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收空晶圆盒，并根据空晶圆盒的晶盒标识将空晶圆盒的存储状态设置为未清洁；控制本地管理设备接收远程管理系统发送来的清洁请求；根据清洁请求获取所有存储状态为未清洁的空晶圆盒的晶盒标识；基于晶盒标识，通过本地管理设备生成输送空晶圆盒到清洁系统的输送路径；通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收清洁后的空晶圆盒，并将空晶圆盒的存储状态设置为清洁。通过本申请的处理方案，可以对空晶圆盒进行区分，从而及时地响应生产中更换FOUP的需求。
空晶圆盒管理方法装置计算机设备存储介质

[发明专利]一种晶圆质子辐照用晶圆包装运输装置和方法-CN202210874366.6在审
发明人：冯斌;张政;郭如勇;李笑;朱晓桦;于天华;姜桂林;王泊锡;王孝宇 -专利权人：无锡市核力创芯科技有限公司
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： B65D25/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆质子辐照用晶圆包装运输装置和方法，所述装置包括减震部，用于存放收纳部，使收纳部稳定在减震部内；收纳部，至少设计一组，用于收纳晶圆，使晶圆稳定在收纳部内；所述收纳部包括：晶圆固定盒组，使晶圆收纳至晶圆固定盒组内；氮气囊组，使晶圆固定盒组稳定在收纳部内。通过在收纳部内设计氮气囊上和氮气囊下，进行夹住晶圆固定盒组，使得晶圆固定盒组稳定在氮气囊上和氮气囊下之间，避免晶圆固定盒出现晃动现象，同时搭配收纳部，形成双重稳定方式，使得晶圆在运输过程中更加稳定，最大限度的上的减少了晶圆的运输损耗
一种质子辐照用晶圆包装运输装置方法

[实用新型]一种晶圆质子辐照用晶圆包装运输装置-CN202221912473.5有效
发明人：冯斌;张政;郭如勇;李笑;朱晓桦;于天华;姜桂林;王泊锡;王孝宇 -专利权人：国电投核力创芯（无锡）科技有限公司
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： B65D25/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆质子辐照用晶圆包装运输装置，所述装置包括减震部，用于存放收纳部，使收纳部稳定在减震部内；收纳部，至少设计一组，用于收纳晶圆，使晶圆稳定在收纳部内；所述收纳部包括：晶圆固定盒组，使晶圆收纳至晶圆固定盒组内；氮气囊组，使晶圆固定盒组稳定在收纳部内。通过在收纳部内设计氮气囊上和氮气囊下，进行夹住晶圆固定盒组，使得晶圆固定盒组稳定在氮气囊上和氮气囊下之间，避免晶圆固定盒出现晃动现象，同时搭配收纳部，形成双重稳定方式，使得晶圆在运输过程中更加稳定，最大限度的上的减少了晶圆的运输损耗
一种质子辐照用晶圆包装运输装置

[实用新型]一种BIN料匣机构-CN202220885328.6有效
发明人：邓朝旭 -专利权人：深圳市朝阳光科技有限公司
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种BIN料匣机构，具体涉及晶圆芯片运输领域，包括料盒底板，所述料盒底板的两侧固定连接有料盒立板一和料盒立板二，所述料盒立板一和料盒立板二之间通过料盒支撑板和料盒侧板固定连接，所述料盒侧板和料盒支撑板关于料盒立板一对称设置，所述料盒立板一和料盒立板二上对应开设有个料槽，在方形的盒子内开设了个料槽，将含有晶圆芯片的晶圆铁片插入其中，以防止晶圆铁片在料匣放置过程中倾斜，提高对于晶圆芯片的保护程度，晶圆铁片因为构成了晶圆芯片的一个载体，故而在后续的输送环节中，晶圆铁片的存在能够让晶圆芯片在运输时提供一个受力点，以保证不损坏晶圆芯片的同时正常完成晶圆芯片的运输工作。
一种 bin 机构

[实用新型]一种带有边缘防护作用的塑料晶圆盒-CN202223191463.X有效
发明人：童祖春 -专利权人：上海芯尚电子科技有限公司
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B65D25/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆盒技术领域，具体为一种带有边缘防护作用的塑料晶圆盒，包括盒体，盒体内设有若干个均匀分布的晶圆槽，晶圆槽内设有与其贴合的气囊，气囊的外侧设有与气囊配合的充气组件，且盒体的前端设有挡板，且盒体上设有与挡板相适配的孔，挡板的两侧设有凹槽，凹槽内设有第一弹簧，且第一弹簧的一端与凹槽的内壁固定连接，另一端设有凹槽相适配的挡块，本实用新型可以对晶圆盒内晶圆槽中的晶圆片进行固定防护，避免在对晶圆盒搬运过程中，晶圆盒内的晶圆片与盒体之间碰撞而导致晶圆片破碎的情况
一种带有边缘防护作用塑料晶圆盒

[实用新型]晶圆盒调平装置-CN202022303531.1有效
发明人：杜振东;舒贻胜;宋金梁;郭剑飞;姚建强;黄长兴;陈夏薇;谢世敏 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2020-10-15 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请涉及调平装置技术领域，特别是涉及一种晶圆盒调平装置。该晶圆盒调平装置包括平台组件以及第一调节组件，第一调节组件的一端用于承载晶圆盒，另一端转动地安装于平台组件，第一调节组件能够相对平台组件升降，并带动晶圆盒相对平台组件运动，以调节晶圆盒相对平台组件的位置本申请的优点在于：在晶圆盒需要进行水平调节时，能够通过转动第一调节组件，使晶圆盒水平，同时，可实现单独调平晶圆盒，调节更加简易，结构简单加工成本低且便于检修，避免因晶圆盒调平装置在使用时因振动磨损导致不水平，需要通过调节整个装置水平的方式来调平晶圆盒。
晶圆盒调平装

[实用新型]翘曲晶圆承载器-CN201520934572.7有效
发明人：年四军;简子杰;李小金 -专利权人：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2015-11-20 - 公布日： 2016-03-16 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种翘曲晶圆承载器，所述翘曲晶圆承载器包括晶圆盒，晶圆盒两侧的内壁上均设有适于放置晶圆的凸起结构，所述翘曲晶圆承载器还包括固定于晶圆盒后壁上的支撑装置，所述支撑装置包括挡板和支撑片。通过在晶圆盒内设置支撑结构，可以将研磨后的晶圆直接放入晶圆盒内即可实现防止晶圆翘曲的发生，无需额外的存放装置；通过调整支撑结构中支撑片的数量，可以存放相应不同数量的晶圆，实现多片晶圆的同时存放；由于本实用新型的翘曲晶圆承载器以晶圆盒为基础，晶圆的取放比较方便快捷。
翘曲晶圆承载

[发明专利]一种晶圆运送方法、装置、电子设备及存储介质-CN202210100823.6有效
发明人：高军 -专利权人：赛美特科技有限公司
申请日： 2022-01-27 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： B65G15/22 文献下载
摘要：本申请提供了一种晶圆运送方法、装置、电子设备及存储介质，方法包括：对于每一晶圆物料盒，该晶圆物料盒被主干传送带运载到载物平台时，对该晶圆物料盒上的识别标识进行扫描，得到识别结果；根据识别结果，确定通往目标物料贮存区域的目标分支传送带，并通过机械臂将该晶圆物料盒放置于目标分支传送带上；在该晶圆物料盒被运载到目标物料贮存区域后，对该晶圆物料盒以及目标晶圆进行拍摄，得到目标图像；根据目标图像，判断目标晶圆是否存在损伤，若是则向预设终端发送电子邮件本申请能够实现对晶圆物料盒的自动运送，并在晶圆物料盒中的晶圆由于运送过程产生损伤时对工作人员进行邮件通知，从而避免后续使用出现损伤的晶圆进行加工作业等。
一种运送方法装置电子设备存储介质

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