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[发明专利]用于回旋加速器超导磁体与再冷凝器的对接结构-CN201811315734.3有效
发明人：周洪吉;成渝;郭如勇;周杨;何刚;李晓挺 -专利权人：上海辰光医疗科技股份有限公司
申请日： 2018-11-03 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H05H13/00 文献下载
摘要：本发明提供一种本发明的用于回旋加速器超导磁体与再冷凝器的对接结构，其中对接套管的上端插接在上液氦传输管的下端中，下端套接在下液氦传输管的上端外，对接液氦输液管的上端连接上液氦输液管的下端，下端连接下液氦输液管的上端，对接信号线及超导线的上端连接上信号线及超导线的下端，下端连接下信号线及超导线的上端，对接软带的上端连接上冷屏传输管的下端，下端连接下冷屏传输管的上端，对接外筒体的上端可拆卸连接上外筒体的下端，下端可拆卸连接下外筒体的上端，上真空夹层通过对接真空夹层连通下真空夹层。本发明能够对接两根液氦传输管线，对接和拆卸操作简单方便，设计巧妙，结构简洁，制造简便，成本低。
用于回旋加速器超导磁体冷凝器对接结构

[发明专利]一种连续晶圆质子辐照装置及操作方法-CN202111624271.0在审
发明人：吕银龙;葛涛;王婉琳;张俊新;冯雨;石玉博;郭如勇;孙玺 -专利权人：国核铀业发展有限责任公司;北京核力同创科技有限公司;无锡市核力创芯科技有限公司
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明适用于电力电子器件生产制作领域，提供了一种连续晶圆质子辐照装置及操作方法，所述装置包括两个料仓、辐照机构、上料机构以及移动机构，所述料仓设置于辐照机构的两侧，所述上料机构将放置于料仓内的料盘从料仓中取出转移至移动机构，移动机构将料盘转运至辐照机构的照射范围，辐照机构对料盘进行照射；两个所述料仓中的料盘交替不断的被上料机构向移动机构输送。通过双料仓设计，重在实现批量连续性晶圆质子辐照，单批次最大可实现超过2000片晶圆质子连续辐照，集成了批量连续化生产、换片装载、辐照均匀性控制等质子辐照关键环节，有效地提高辐照生产效率，从而有更好的经济效益，提升核心竞争力。
一种连续质子辐照装置操作方法

[发明专利]一种单真空舱室晶圆质子辐照装置-CN202111620942.6在审
发明人：吕银龙;葛涛;王婉琳;张俊新;冯雨;石玉博;郭如勇;孙玺 -专利权人：国核铀业发展有限责任公司;北京核力同创科技有限公司;无锡市核力创芯科技有限公司
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明适用于电力电子器件生产制造领域，提供了一种单真空舱室晶圆质子辐照装置，实现了辐照过程的自动化。晶圆辐照过程始终是在真空状态下进行，减少了束流损失，确保了束流品质，有利于准确控制晶圆的辐照深度，进而实现芯片局域载流子寿命的准确控制；单真空舱晶圆质子辐照装置整体结构为钢制圆筒结构，晶圆辐照过程中，束流始终处于圆筒内，钢制圆筒可以有效屏蔽残余辐射剂量，有利于减少生产人员受到的辐射伤害，特别适合较低能量的晶圆质子辐照；辐照舱内的二维移动平台，具备X/Y双方向匀速移动功能，可以实现晶圆的均匀辐照，提高辐照质量；阵列式格栅架，容量大，提高生产效率。
一种真空舱室质子辐照装置

[实用新型]一种束流传输线辐照系统用运料装置-CN202223580432.3有效
发明人： 郭如勇;沈轩羽;马超然;张政;王泊锡;周晓慧;桂正亚;朱晓桦;李非易;王明康 -专利权人：国电投核力创芯（无锡）科技有限公司
申请日： 2022-12-31 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： B65G13/07 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种束流传输线辐照系统用运料装置包括：送料单元，用于升降放置有晶圆的托板；十字滑台，用于带动放置有晶圆的托板在预定空间内往复运动，使束流完成对晶圆的辐照；本实用新型通过设计一组驱动件进行带动两组传动件进行转动，进而带动滑动件进行沿着送料滑轨进行滑动，进而带动托板进行升降工作，与传统的两套驱动系统相比，无需设计两个电机，仅设计一个电机，技术电机损坏时，整个送料单元也只是停止工作，与传统两套驱动系统相比，不会出现某个电机出现损坏，另外一组电机继续工作时，会使得托板发生倾斜，严重时整个顶升部分均会出现损坏的情况。
一种流传辐照系统用运料装置

[实用新型]一种晶圆质子辐照用晶圆包装运输装置-CN202221912473.5有效
发明人：冯斌;张政;郭如勇;李笑;朱晓桦;于天华;姜桂林;王泊锡;王孝宇 -专利权人：国电投核力创芯（无锡）科技有限公司
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： B65D25/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆质子辐照用晶圆包装运输装置，所述装置包括减震部，用于存放收纳部，使收纳部稳定在减震部内；收纳部，至少设计一组，用于收纳晶圆，使晶圆稳定在收纳部内；所述收纳部包括：晶圆固定盒组，使晶圆收纳至晶圆固定盒组内；氮气囊组，使晶圆固定盒组稳定在收纳部内。通过在收纳部内设计氮气囊上和氮气囊下，进行夹住晶圆固定盒组，使得晶圆固定盒组稳定在氮气囊上和氮气囊下之间，避免晶圆固定盒出现晃动现象，同时搭配收纳部，形成双重稳定方式，使得晶圆在运输过程中更加稳定，最大限度的上的减少了晶圆的运输损耗。
一种质子辐照用晶圆包装运输装置

[实用新型]一种束流传输线用偏角辐照系统-CN202223579772.4有效
发明人： 郭如勇;王婉琳;李非易;桂正亚;张政;朱晓桦;周晓慧;沈轩羽;马超然;王孝宇 -专利权人：国电投核力创芯（无锡）科技有限公司
申请日： 2022-12-31 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种束流传输线用偏角辐照系统包括：所述辐照系统包括：束流传输线；送料部，位于所述束流传输线的底部；所述束流传输线包括：水平部；转向部，包括一90度偏转磁铁，使得水平部的束流经过90度偏转磁铁垂转向，并垂直于水平面；垂直部，包括与90度偏转磁铁连通的束流管道，置在所述束流管道周部的偏转机构，及设置在束流管道端部的束流出口；本实用新型通过设计90度偏转磁铁，使得水平部的束流经过90度偏转磁铁垂转向，并垂直于水平面，进而当束流传输线需要辐照晶圆时，晶圆与水平面平行即可，进而避免了晶圆在辐照时发生脱离现象，且由于托板与水平面平行放置，后续送料系统常规布置即可，无需改变整体方位，使得安装布置更加便捷。
一种流传输线用偏角辐照系统

[发明专利]一种束流传输线用直角辐照系统及其辐照方法-CN202211735374.9在审
发明人： 郭如勇;李非易;周晓慧;沈轩羽;朱晓桦;桂正亚;张政;马超然;王泊锡;于天华 -专利权人：国电投核力创芯（无锡）科技有限公司
申请日： 2022-12-31 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G21K1/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种束流传输线用直角辐照系统及其辐照方法包括：所述辐照系统包括束流传输线；送料部，位于所述束流传输线的底部；所述送料部包括：送料单元，用于升降放置有晶圆的托板；十字滑台，用于带动放置有晶圆的托板在预定空间内往复运动，使束流完成对晶圆的辐照；本发明通过在束流传输线的底部设计送料部，完成带动放置有晶圆的托板进行运动，且通过十字滑台的设计，使得放置有晶圆的托板在预定范围内的全方位运动，进而使得束流可以辐照晶圆，与传统的磁体偏转的辐照方式相比，本申请的辐照角度保持与晶圆垂直，不会发生偏角，进而使得晶圆的辐照更为均匀。
一种流传输线用直角辐照系统及其方法

[实用新型]一种束流传输线用直角辐照系统-CN202223585367.3有效
发明人： 郭如勇;李非易;周晓慧;沈轩羽;朱晓桦;桂正亚;张政;马超然;王泊锡;于天华 -专利权人：国电投核力创芯（无锡）科技有限公司
申请日： 2022-12-31 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G21K1/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种束流传输线用直角辐照系统包括：所述辐照系统包括束流传输线；送料部，位于所述束流传输线的底部；所述送料部包括：送料单元，用于升降放置有晶圆的托板；十字滑台，用于带动放置有晶圆的托板在预定空间内往复运动，使束流完成对晶圆的辐照；本实用新型通过在束流传输线的底部设计送料部，完成带动放置有晶圆的托板进行运动，且通过十字滑台的设计，使得放置有晶圆的托板在预定范围内的全方位运动，进而使得束流可以辐照晶圆，与传统的磁体偏转的辐照方式相比，本申请的辐照角度保持与晶圆垂直，不会发生偏角，进而使得晶圆的辐照更为均匀。
一种流传输线用直角辐照系统

[发明专利]一种束流传输线用偏角辐照系统及其辐照方法-CN202211738290.0在审
发明人： 郭如勇;王婉琳;李非易;桂正亚;张政;朱晓桦;周晓慧;沈轩羽;马超然;王孝宇 -专利权人：国电投核力创芯（无锡）科技有限公司
申请日： 2022-12-31 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：本发明公开了一种束流传输线用偏角辐照系统及其辐照方法包括：所述辐照系统包括：束流传输线；送料部，位于所述束流传输线的底部；所述束流传输线包括：水平部；转向部，包括一90度偏转磁铁，使得水平部的束流经过90度偏转磁铁垂转向，并垂直于水平面；垂直部，包括与90度偏转磁铁连通的束流管道，置在所述束流管道周部的偏转机构，及设置在束流管道端部的束流出口；本发明通过设计90度偏转磁铁，使得水平部的束流经过90度偏转磁铁垂转向，并垂直于水平面，进而当束流传输线需要辐照晶圆时，晶圆与水平面平行即可，进而避免了晶圆在辐照时发生脱离现象，且由于托板与水平面平行放置，后续送料系统常规布置即可，无需改变整体方位，使得安装布置更加便捷。
一种流传输线用偏角辐照系统及其方法

[实用新型]一种具有冷却结构的束流收集桶-CN202221925014.0有效
发明人： 郭如勇;朱晓桦;李笑;张政;王泊锡;于天华;王孝宇;姜桂林;徐安南;徐苏 -专利权人：无锡市核力创芯科技有限公司
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： H05H7/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有冷却结构的束流收集桶包括基座；桶体，安装在基座上，包括端腔，及与端腔连接的尾腔；所述尾腔由内向外依次包括吸能层，材质为石墨，呈倒梯形；散热层，材质为铜，呈现收纳腔状，包裹于吸能层的周部及尾端；壳体，包裹于散热层；所述散热层内设有循环管组。本实用新型通过设计高熔点的石墨材料作为接受束流轰击的部分，能够可靠地吸收电子束轰击到其表面产生的能量，且能承受长时间工作所产生的热应力和疲劳应力，利用高导热性的铜基将热量传递给循环管组，通过接通冷却管组完成对散热层散热，进而对整个后腔完成散热工作。
一种具有冷却结构收集

[实用新型]一种用于束流检测的四扇装置-CN202221998575.3有效
发明人： 郭如勇;王泊锡;张政;朱晓桦;李笑;姜桂林;于天华;王孝宇;沈轩羽;王明康 -专利权人：无锡市核力创芯科技有限公司
申请日： 2022-08-01 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： G01T1/29 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于束流检测的四扇装置包括：法兰件，安装于束流管道内；检测件，安装于法兰件内，用于承受束流冲击并改变束流通过姿态；检测件由若干检测铜块组成；若干检测铜块设有相互适配的契角，使若干检测铜块围成唯一出口，且互不接触，当束流穿过检测件时，束流受若干检测铜块阻挡，仅从唯一出口通过。本实用新型通过由若干检测铜块组成的检测件连通检测器完成对束流的检测工作，通过在若干检测铜块上设有相互适配的契角，使若干检测铜块围成唯一出口，且互不接触，当束流穿过检测件时，束流受若干检测铜块阻挡，仅从唯一出口通过，不仅满足了检测需要，且在检测过程中使束流仅从唯一出口通过，使得晶圆辐照时，更为均匀。
一种用于检测装置

[发明专利]一种具有冷却结构的束流收集桶及其冷却方法-CN202210879104.9在审
发明人： 郭如勇;朱晓桦;李笑;张政;王泊锡;于天华;王孝宇;姜桂林;徐安南;徐苏 -专利权人：无锡市核力创芯科技有限公司
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： H05H7/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有冷却结构的束流收集桶及其冷却方法，所述收集桶包括基座；桶体，安装在基座上，包括端腔，及与端腔连接的尾腔；所述尾腔由内向外依次包括吸能层，材质为石墨，呈倒梯形；散热层，材质为铜，呈现收纳腔状，包裹于吸能层的周部及尾端；壳体，包裹于散热层；所述散热层内设有循环管组。本发明通过设计高熔点的石墨材料作为接受束流轰击的部分，能够可靠地吸收电子束轰击到其表面产生的能量，且能承受长时间工作所产生的热应力和疲劳应力，利用高导热性的铜基将热量传递给循环管组，通过接通冷却管组完成对散热层散热，进而对整个后腔完成散热工作。
一种具有冷却结构收集及其方法

[实用新型]一种垂直安装束流传输线布置系统-CN202221363109.8有效
发明人： 郭如勇;吕银龙;葛涛;崔伟;王婉琳;于淼;李达;冯斌;芦文宇;胡云凯 -专利权人：无锡市核力创芯科技有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： H05H7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种垂直安装束流传输线布置系统包括：束流传输线，包括真空传输管道，以及依次连接于所述真空传输管道的四极透镜、波纹管、诊断元件、插板阀、束流测量单元、扫描磁铁、连接法兰；调整部，包括与束流传输线连接且用于调整束流传输线与楼板预留通孔的相对位置。本实用新型通过设计调整部进行完成束流传输线的调节工作，避免了束流传输线无法接入楼板预留孔洞中，通过两组调整组件协同运动时，使得四极透镜、诊断元件、扫描磁铁在预定空间内发生摆动，当两组调整组件同步运动时，使得四极透镜、诊断元件、扫描磁铁在一个平面内发生移动，进而使得真空管道接入楼板的预留空间内。
一种垂直装束流传布置系统

[发明专利]一种用于束流检测的四扇装置及方法-CN202210914193.6在审
发明人： 郭如勇;王泊锡;张政;朱晓桦;李笑;姜桂林;于天华;王孝宇;沈轩羽;王明康 -专利权人：无锡市核力创芯科技有限公司
申请日： 2022-08-01 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G01T1/29 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于束流检测的四扇装置及方法，装置包括：法兰件，安装于束流管道内；检测件，安装于法兰件内，用于承受束流冲击并改变束流通过姿态；检测件由若干检测铜块组成；若干检测铜块设有相互适配的契角，使若干检测铜块围成唯一出口，且互不接触，当束流穿过检测件时，束流受若干检测铜块阻挡，仅从唯一出口通过。本发明通过由若干检测铜块组成的检测件连通检测器完成对束流的检测工作，通过在若干检测铜块上设有相互适配的契角，使若干检测铜块围成唯一出口，且互不接触，当束流穿过检测件时，束流受若干检测铜块阻挡，仅从唯一出口通过，不仅满足了检测需要，且在检测过程中使束流仅从唯一出口通过，使得晶圆辐照时，更为均匀。
一种用于检测装置方法

[实用新型]一种用于束流传输管道的三维调整装置-CN202221362557.6有效
发明人： 郭如勇;吕银龙;葛涛;崔伟;王婉琳;于淼;李达;冯斌;芦文宇;胡云凯 -专利权人：无锡市核力创芯科技有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： H05H7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于束流传输管道的三维调整装置包括：真空管道，以及套接于真空管道的若干管道支撑组件；管道支撑组件包括安装部，以及设置在安装部上分的调整部；调整部包括套接于真空管道的卡环，以及设置在卡环上的至少三组调节件；在卡环上相邻的调整件角度相同，每组调节件包括设置在卡环上的锁紧螺母，以及与锁紧螺母适配且穿透卡环的调节螺钉；卡环分为上下两个部分，卡环上还设有固定螺钉，用以固定卡环的上下两个部分。本实用新型通过在真空管道上布置管道支撑组件，通过圆周均布分布的至少三个调节螺钉对传输管道进行上下左右方向的精确调节并锁紧，该结构安装调试时安装方便、操作简单，并能实现精确调节。
一种用于流传管道三维调整装置

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