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[发明专利]一种用于道路施工用沥青平铺设摊平装置-CN202311200067.5在审
发明人： 刘大威;张佳霖;支磊 -专利权人：中铁吉林投资建设有限公司
申请日： 2023-09-18 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： E01C19/48 文献下载
摘要：发明公开了一种用于道路施工用沥青平铺设摊平装置，涉及道路施工技术领域，包括机架，所述机架上设置有摊铺装置，所述机架底端并列设置有多个摊铺辊，所述摊铺辊内设置有撞击单元，所述撞击单元包括撞击块以及第一弹性件，所述摊铺辊的两端沿其周向方向均匀开设有多个空心槽，空心槽内滑动设置有撞击块，撞击块和空心槽内壁之间通过第一弹性件相连接，在摊铺辊的转动行程上，撞击块撞击摊铺辊的底端以对路面进行压实，将摊铺装置设置在摊铺辊运动行程的后方，通过摊铺装置将沥青铺设完成后，摊铺辊对沥青进行抹平和压实作业，在摊铺辊转动的行程中，撞击块撞击摊铺辊的底端，实现摊铺辊对路面的压实作业，不需要后期工人手动压实和抹平的步骤。
一种用于道路施工沥青平铺设摊平装

[实用新型]一种基于满堂支架的装配式现浇翼缘板模板支架-CN202321508552.4有效
发明人：王锴;李勇勇;王小利;王春旭;亢剑;茹虹桥;刘大威;张永;王晋波;王兴璇;冯齐 -专利权人：中铁一局集团第二工程有限公司;中铁吉林投资建设有限公司
申请日： 2023-06-14 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： E01D21/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种基于满堂支架的装配式现浇翼缘板模板支架，所属现浇梁施工技术领域，包括：满堂支架、三角支架组件、伸缩部件和安装组件；满堂支架设置在翼缘板模板的一侧；三角支架组件包括三角支架顶部杆件、交叉杆件和三角支架斜杆，三角支架顶部杆件设置在翼缘板模板上，三角支架顶部杆件的一端与交叉杆件的一端铰接，且交叉杆件的另一端设置在满堂支架上并与三角支架斜杆的一端铰接；该装置通过伸缩部件和安装组件对三角支架组件进行调节，从而使其满足不同倾角和尺寸的翼缘板模板的需求，进而增强对不同翼缘板模板下支架结构的整体性和稳定性的作用。
一种基于满堂支架装配式现浇翼缘板模板

[实用新型]一种带有倾角的锥形套筒管定位装置-CN202321527033.2有效
发明人：李勇勇;王锴;王小利;王春旭;亢剑;茹虹桥;刘大威;张永;王晋波;王兴璇;冯齐 -专利权人：中铁一局集团第二工程有限公司;中铁吉林投资建设有限公司
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： E04C5/16 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种带有倾角的锥形套筒管定位装置，属于钢筋锚固技术领域，包括：底板、固定块、固定孔、移动件和套筒管；两个底板对称设置；多个固定块固定连接于其中一个底板；固定孔的数量与固定块的数量一致，多个固定孔均开设于另一个底板上；移动件与固定块配合设置；套筒管设置于两个底板之间，且套筒管的一端分别活动连接于固定块和移动件，套筒管的另一端活动连接于固定孔；将套筒管按照设计的角度放置，利用固定块和移动件的配合对套筒管的一端进行固定，然后将另一个底板上固定孔套在套筒管的另一端，可以对套筒管的另一端也进行固定，故该装置使得不同的角度放置的套筒管可以得到很好的支撑和固定的效果，使用范围广，操作简单。
一种带有倾角锥形筒管定位装置

[发明专利]一种环保型修路夯实装置-CN202311189711.3在审
发明人： 刘大威;张佳霖;支磊 -专利权人：中铁吉林投资建设有限公司
申请日： 2023-09-15 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： E01C19/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种环保型修路夯实装置，涉及道路修建相关技术领域，包括夯实机的本体以及设于本体上的架体，所述本体上固接第一连接部，所述架体上固接第二连接部，所述第一连接部与所述第二连接部之间转动连接；本发明通过将第一连接部与第二连接部之间转动连接，则在夯实机的本体振动过程中，架体由操作者手持，架体在本体上下振动力作用下以操作者手持部位为摆动轴形成摆动动作，如此本体振动力在传递给操作者的过程形成了架体的摆动所需的力，则振动力无法传递到操作者身体上，以便对操作者起到保护作用。
一种环保修路夯实装置

[实用新型]一种组合式晶圆检测传感器-CN202223295211.1有效
发明人：吴凌峰;刘大威;徐铭 -专利权人：江苏启微半导体设备有限公司
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种组合式晶圆检测传感器，包括气动执行元件、固定在气动执行元件上并可在气动执行元件的带动下上下移动的连接件、固定在连接件上的可拆卸的固定块、以及多个垂直卡设在固定块上的用以检测晶圆片篮内晶圆的数量和位置的光电传感器；多个光电传感器错位排布，且后一光电传感器的发射器与前一光电传感器的接收器相对齐，气动执行元件和光电传感器均与控制器电连接。本实用新型实现了具有常规卡槽间距的晶圆片篮和具有特殊卡槽间距的晶圆片篮内的晶圆的兼容检测，能够精准检测出晶圆片篮内晶圆的数量和位置。
一种组合式检测传感器

[实用新型]一种兆声波清洗装置的水槽结构-CN202320430470.6有效
发明人：陈龙;吴凌峰;刘大威 -专利权人：江苏启微半导体设备有限公司
申请日： 2023-03-09 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种兆声波清洗装置的水槽结构，包括设置于兆声波盛水盘内的内槽、以及设置于内槽外侧并使其上边沿低于内槽上边沿的外槽，内槽的上部设置有管口贯穿外槽的水阻值计套管、下部设置有内槽进液管和内槽排液管，所述外槽的底部设计成前高后低的倾斜结构，且所述外槽后部的最低点处连接有外槽排液管，所述外槽排液管的排液流量大于所述内槽进液管的进液流量。本实用新型通过在内槽的外侧设置导流用的外槽，可使内槽内的液体溢流进外槽，避免溢流液体对兆声波装置造成影响，确保兆声波能够更好的去除晶圆片上的附着颗粒物，有效保证了晶圆清洗效率。
一种声波清洗装置水槽结构

[实用新型]一种带照明的FFU系统-CN202223138388.0有效
发明人：陈聪;徐铭;刘大威 -专利权人：江苏启微半导体设备有限公司
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： F24F13/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带照明的FFU系统，包括下壳体、设置在下壳体内的过滤器组件和照明系统、上壳体、以及设置在上壳体内的风机组件和控制装置，所述上壳体扣合固定在过滤器组件上以使风机组件位于过滤器组件的上方、照明系统位于上壳体的外侧，所述控制装置上设有灯源电源接口，照明系统的电源线连接至灯源电源接口。本实用新型可以安装在空间紧凑的小规格单片清洗设备的工艺腔体内，既可以实现工艺腔体内的气体净化，也可以实现照明功能，最大效率的利用了单片清洗设备的内部空间，避免因空间问题而舍弃照明系统。
一种照明 ffu 系统

[外观设计]全自动湿法清洗机台（Cassette type 单12寸）-CN202330062580.7有效
发明人：倪传涛;吴凌峰;刘大威 -专利权人：江苏启微半导体设备有限公司;至微半导体(上海)有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：全自动湿法清洗机台（Cassette type 单12寸）。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于12寸晶元的清洗制造工艺。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
全自动湿法清洗机台 cassette type 12

[外观设计]全自动湿法清洗机台（Cassette type 双8寸）-CN202330062549.3有效
发明人：陈军宇;徐铭;刘大威 -专利权人：江苏启微半导体设备有限公司;至微半导体(上海)有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：全自动湿法清洗机台（Cassette type 双8寸）。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于8寸晶元的清洗制造工艺。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
全自动湿法清洗机台 cassette type

[外观设计]湿法清洗机台（Single 12寸16腔）-CN202330062545.5有效
发明人：陆赛浩;徐铭;刘大威 -专利权人：江苏启微半导体设备有限公司;至微半导体(上海)有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：湿法清洗机台（Single 12寸16腔）。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于12寸晶元的清洗制造工艺。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
湿法清洗机台 single 12 16

[外观设计]湿法清洗机台（Single 12寸12腔）-CN202330062544.0有效
发明人：陆赛浩;徐铭;刘大威 -专利权人：江苏启微半导体设备有限公司;至微半导体(上海)有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：湿法清洗机台（Single 12寸12腔）。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于12寸晶元的清洗制造工艺。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
湿法清洗机台 single 12

[实用新型]一种晶圆转移装置-CN202320517487.5有效
发明人：陆赛浩;徐铭;刘大威 -专利权人：江苏启微半导体设备有限公司;上海至纯洁净系统科技股份有限公司
申请日： 2023-03-16 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体加工领域，具体公开了一种晶圆转移装置，包括转移平台；和转移平台固定连接的支撑臂；设置在支撑臂上，用于托起支撑被转移晶圆的多个支撑升降机构；其中，各个支撑升降机构在支撑臂上可相互独立的升降调节，以便各个支撑升降机构托起被转移晶圆时各个支撑升降机构的支撑顶点同步和被转移晶圆上对应的不同支撑位置点相接触。本申请的晶圆转移装置中每个支撑升降机构在支撑臂上可进行相互独立的升降调节，使得各个支撑升降机构可以调节至支撑顶点同步接触晶圆上的各个支撑位置点，避免晶圆和支撑升降机构之间出现磕碰，保证了各个支撑升降机对晶圆施加作用力的均匀性，避免晶圆因受力不均出现破损的问题。
一种转移装置

[实用新型]一种应用于半导体湿法清洗的摆动装置-CN202320599834.3有效
发明人：黄浩琰;徐铭;刘大威;黄彧霈 -专利权人：江苏启微半导体设备有限公司;合肥至微半导体有限公司
申请日： 2023-03-24 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种应用于半导体湿法清洗的摆动装置，应用于半导体清洗领域，包括：运动电机组件、线性滑台、至少两个顶杆和摆动托盘；摆动托盘的一端至少连接一个顶杆，摆动托盘与顶杆连接的对端，至少连接一个顶杆；顶杆和运动电机组件分别与线性滑台连接。本实用新型通过至少在摆动托盘沿对位设置的两端，各连接至少一个顶杆，能够增大对摆动托盘的支持力，在顶杆运动到顶端时，能够避免因顶杆运动至顶端时重心偏离支撑点，导致顶杆发生形变，进而损坏顶杆的问题，提高了通过摆动承载晶圆的托架进行清洗的效率，降低了应用于半导体湿法清洗的摆动装置的维护成本。
一种应用于半导体湿法清洗摆动装置

[实用新型]一种防外溢承漏杯结构及晶圆清洗设备-CN202320981681.9有效
发明人：陈聪;徐铭;刘大威 -专利权人：江苏启微半导体设备有限公司;上海至纯洁净系统科技股份有限公司
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防外溢承漏杯结构及晶圆清洗设备，包括杯体，为中空结构，杯体与用于排液的排液管路连通承漏装置，可拆卸的设于杯体的内部并用于存放可伸出承漏装置的喷淋装置，承漏装置的下端部与排液管路连通，以使喷淋装置预喷的化学药液由承漏装置流入排液管路。本申请提供的一种防外溢承漏杯结构及晶圆清洗设备，通过将喷淋装置设置于承漏装置中，使得喷淋装置预喷的化学药液通过排液管路排出，能够避免化学药液溢流到清洗腔的内壁，保证了清洗腔内的洁净。
一种外溢承漏杯结构清洗设备

[实用新型]一种具备清洗功能的承漏杯及晶圆清洗设备-CN202321021381.2有效
发明人：陈聪;徐铭;刘大威 -专利权人：江苏启微半导体设备有限公司;上海至纯洁净系统科技股份有限公司
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具备清洗功能的承漏杯及晶圆清洗设备，包括杯体，为中空结构，杯体的底端与排液管路连通；清洗组件，设于杯体内部，清洗组件为管状结构，用于对伸入杯体的喷淋装置的外周清洗，清洗组件的底端与排液管路连通。本申请提供的一种具备清洗功能的承漏杯及晶圆清洗设备，通过在杯体内部设置清洗组件，通过清洗组件完成对喷淋装置的清洗维护，无需人工手动清洗维护，保证了安全性。
一种具备清洗功能承漏杯设备

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