“微机械传感器”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果9590841个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]MEMS致动系统和方法-CN201780068595.6有效
发明人： M·伍;刘晓蕾;王桂芹 -专利权人：麦斯卓微电子（南京）有限公司
申请日： 2017-09-08 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H05K3/28 文献下载
摘要：一种制造微机电系统(MEMS)组件的方法包括将微机电系统(MEMS)致动器安装到一金属板。将图像传感器组件安装到微机电系统(MEMS)致动器。图像传感器组件电连接到微机电系统(MEMS)致动器，从而形成微机电系统(MEMS)子组件。
mems 系统方法

[发明专利]一种振动式微机械陀螺-CN200810239192.6有效
发明人：高宏;王庆;齐晓红 -专利权人：紫光股份有限公司
申请日： 2008-12-12 - 公布日： 2009-05-27 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种振动式微机械陀螺，属于微机电系统中惯性传感器技术领域。微机械陀螺中，驱动质量块固定在微机械陀螺玻璃衬底的锚点上。检测质量块和隔离质量块位于驱动质量块内，检测质量块固定在微机械陀螺玻璃衬底的锚点上，隔离质量块与驱动质量块和检测质量块相对固定。检测电容固定电极和检测电容可动电极位于检测质量块内，检测电容的固定电极固定在微机械陀螺玻璃衬底上，检测电容的可动电极与检测质量块相对固定。驱动电容可动电极与驱动质量块相对固定，驱动电容的固定电极固定在微机械陀螺玻璃衬底上。本发明微机械陀螺的优点是：不存在机械耦合问题；完全消除了机械耦合带来的检测干扰，提高了机械陀螺灵敏度，易于批量生产。
一种振动式微机械陀螺

[实用新型]一种振动式微机械陀螺-CN200820124384.8无效
发明人：高宏;王庆;齐晓红 -专利权人：紫光股份有限公司
申请日： 2008-12-12 - 公布日： 2009-11-25 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种振动式微机械陀螺，属于微机电系统中惯性传感器技术领域。微机械陀螺中，驱动质量块固定在微机械陀螺玻璃衬底的锚点上。检测质量块和隔离质量块位于驱动质量块内，检测质量块固定在微机械陀螺玻璃衬底的锚点上，隔离质量块与驱动质量块和检测质量块相对固定。检测电容固定电极和检测电容可动电极位于检测质量块内，检测电容的固定电极固定在微机械陀螺玻璃衬底上，检测电容的可动电极与检测质量块相对固定。驱动电容可动电极与驱动质量块相对固定，驱动电容的固定电极固定在微机械陀螺玻璃衬底上。本实用新型微机械陀螺的优点是：不存在机械耦合问题；完全消除了机械耦合带来的检测干扰，提高了机械陀螺灵敏度，易于批量生产。
一种振动式微机械陀螺

[发明专利]微摩擦测试仪-CN201510460798.2在审
发明人：王军;李小牛;端黎明 -专利权人：芜湖科创生产力促进中心有限责任公司
申请日： 2015-07-28 - 公布日： 2015-12-16 - 主分类号： G01N19/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种微摩擦测试仪,包括法向载荷加载装置，水平工作台、传感器和传感系统信号处理器，传感器组成阵列均匀布置在水平工作台上，法向载荷加载装置向水平工作台上的被测样品施加法向作用力，水平工作台作直线运动，传感器采集法向作用力和水平摩擦力信号并传送给传感系统信号处理器，传感器包括圆环电容单元组和条状电容单元组，圆环电容单元组用于测切向力和法向力的大小，条状电容单元组用于测量切向力的方向，本发明的微机械系统构件的微小摩擦力测试装置，可以准确获取两种不同介质之间的摩擦力，满足微机械设计过程中，对零构件零摩擦或者具有稳定数值的摩擦力的要求。
摩擦测试仪

[发明专利]用于制造微机械结构元件的方法-CN201680071589.1有效
发明人： J·克拉森;J·赖因穆特;J-P·施塔德勒;A·布赖特林 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2016-10-12 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于制造微机械结构元件(100)的方法，具有以下步骤：提供MEMS晶片(20)和罩晶片(10)；在所述MEMS晶片(20)中构造微机械结构(23、24)用于至少两个传感器(S1、S2)；以所述罩晶片(10)气密地封闭所述MEMS晶片(20)；构造到第一传感器(S1)的第一空穴中的第一进入孔(12)；将限定的第一压力通过所述第一进入孔(12)引入到所述第一传感器(S1)的空穴中；封闭所述第一进入孔(12)；构造到第二传感器(S2)的第二空穴中的第二进入孔(13)；将限定的第二压力通过所述第二进入孔(13)引入到所述第二传感器(S2)的空穴中；并且封闭所述第二进入孔(13)。
用于制造微机结构元件方法

[发明专利]用于制造具有悬空的压力传感器装置的微机械构件的方法和微机械构件-CN201780054553.7有效
发明人： T·林德曼;H·施塔尔;M·米奇克;D·豪格;D·克歇尔;A·丹嫩贝格;M·施瓦茨 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2017-08-24 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于制造具有悬空的压力传感器装置(12)的微机械构件(100)的方法以及一种相应的微机械构件(100)。所述方法具有以下步骤：在第一衬底(10)的第一外面中或处构造导电的牺牲元件(14)；将第二衬底(20)在所述第一衬底(10)的外面处或上安置在所述牺牲元件(14)上方；构造压力传感器装置(12)，包括所述第二衬底(20)的阳极蚀刻；构造在所述第二衬底(20)中的至少一个沟(22)，该沟达到所述牺牲元件(14)；并且至少部分地移除(S50)所述牺牲元件(14)以使所述压力传感器装置(12)悬空。
用于制造具有悬空压力传感器装置微机构件方法

[实用新型]一种用于过载缓冲的微机械芯片-CN202121978523.5有效
发明人：易华祥;闫鑫;杜宜璋 -专利权人：中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所
申请日： 2021-08-20 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本实用新型属于微机械惯性传感器芯片技术领域，涉及一种用于过载缓冲的微机械芯片。衬底电极区内设置有电极，衬底区上表面除衬底电极区之外的位置都覆盖有绝缘层，绝缘层上安装有多个键合区，每个键合区的上表面内边通过弹性梁与负载粘接区的一条边相连，预定的键合区上表面覆盖有电极区；负载粘接区的安装面安装待测试的传感器芯片底面，衬底区底面安装到传感器芯片安装区域。
一种用于过载缓冲微机芯片

[发明专利]一种检测调温器综合性能的试验机-CN201310185182.X无效
发明人：步国;庄建友;徐玉丽 -专利权人：曲阜天博汽车零部件制造有限公司
申请日： 2013-05-20 - 公布日： 2013-09-04 - 主分类号： G01M13/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种检测调温器综合性能的试验机，组成部件主要有气缸、传感器固定板、位移传感器、水槽板、支撑、模具、温度传感器、模具固定板、出水管、进水管、水泵、水槽、工作台架、微机，气缸固定在工作台架顶部，气缸头向下，通过传感器固定板固定连接位移传感器，位移传感器电路连接到微机；水槽板下方为水槽，水槽中有固定调温器的模具及模具固定板，固定在模具中的调温器升程面与位移传感器下端相对；水槽中的水为可控温度的循环水，水槽中设有温度传感器，温度传感器电路连接到微机，通过微机程序处理，微机显示屏自动显示或打印温度—升程曲线。有益效果是：解决了人工检测产生随即误差的问题，实现自动记录温度和调温器升程，自动绘制温度—升程曲线，保证了检测调温器综合性能的准确性。
一种检测调温综合性能试验

[实用新型]一种检测调温器综合性能的试验机-CN201320273006.7有效
发明人：步国;庄建友;徐玉丽 -专利权人：曲阜天博汽车零部件制造有限公司
申请日： 2013-05-20 - 公布日： 2013-11-06 - 主分类号： G01M13/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种检测调温器综合性能的试验机，组成部件主要有气缸、传感器固定板、位移传感器、水槽板、支撑、模具、温度传感器、模具固定板、出水管、进水管、水泵、水槽、工作台架、微机，气缸固定在工作台架顶部，气缸头向下，通过传感器固定板固定连接位移传感器，位移传感器电路连接到微机；水槽板下方为水槽，水槽中有固定调温器的模具及模具固定板，固定在模具中的调温器升程面与位移传感器下端相对；水槽中的水为可控温度的循环水，水槽中设有温度传感器，温度传感器电路连接到微机，通过微机程序处理，微机显示屏自动显示或打印温度—升程曲线。有益效果是：解决了人工检测产生随即误差的问题，实现自动记录温度和调温器升程，自动绘制温度—升程曲线，保证了检测调温器综合性能的准确性。
一种检测调温综合性能试验

[发明专利]一种高灵敏度电容式微机械温度传感器-CN201310392664.2有效
发明人：王立峰;任青颖;黄庆安 -专利权人：东南大学
申请日： 2013-09-02 - 公布日： 2013-12-04 - 主分类号： G01K7/34 文献下载
摘要：本发明公开一种高灵敏度电容式微机械温度传感器，包括半导体衬底、梳齿状多层膜悬臂梁结构和绝缘介质层。本发明的温度传感器结构中的金属膜与半导体薄膜形成平行平板电容，金属膜与衬底形成了梳齿电容。平行平板电容加上金属膜与梳齿电容组成本发明温度传感器的温度敏感电容，因此较传统电容式微机械温度传感器的温度敏感电容大，故传感器的灵敏度高。同时由于电容不存在直流功耗，且电容测量时只需要使用交流小信号，因此传感器功耗极低、且没有自加热效应。
一种灵敏度电容式微机械温度传感器

[发明专利]一种内共振耦合的电磁感应式微机械磁传感器及制备方法-CN202310202922.X在审
发明人：梁亨茂;于俊伟;张俊明;胡振业 -专利权人：华南农业大学
申请日： 2023-03-03 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： G01R33/06 文献下载
摘要：本发明公开一种内共振耦合的电磁感应式微机械磁传感器及制备方法，该电磁感应式微机械磁传感器包括第一谐振结构、第二谐振结构以及两谐振结构间的耦合梁；本发明通过耦合梁将谐振频率为整数比的两个谐振结构连接形成一个内共振耦合谐振系统，该系统能够在某一谐振结构达到谐振非线性后将过载的非线性能量通过内共振原理传递给另一谐振结构并使之谐振，从而通过两个谐振结构的电磁感应式磁感信号输出的叠合提高磁传感器性能，突破传统单一谐振结构型电磁感应式磁传感器难以通过静电驱动力的过载增加提高器件性能的局限性
一种共振耦合电磁感应式微机械传感器制备方法

[发明专利]微机械传感器及相应的测量方法-CN201110125993.1有效
发明人： D·C·迈泽尔;M·恩格泽 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2011-05-10 - 公布日： 2011-12-21 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机械传感器及相应的测量方法。本发明提供一种微机械传感器，该传感器包括至少一个基底和一个通过至少一个扭转梁(12)悬挂在基底上的振动质量块(11)，用于测量作用在所述振动质量块(11)上的物理量，其中，为了形成压阻材料，至少是所述至少一个扭转梁本发明还提供一种借助于这种传感器测量惯性量或力的方法，在所述方法中，通过检测所述至少一个扭转梁(12)的电阻变化，确定作用在所述振动质量块(11)上的惯性量或力的大小，其中，为了检测电阻变化考虑所述扭转梁
微机传感器相应测量方法

[发明专利]一种微机电系统传感器及电子设备-CN202211035638.X在审
发明人：王栋杰;陈磊;朱恩成;张强;丁凯文;周汪洋 -专利权人：青岛歌尔智能传感器有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： G01L1/10 文献下载
摘要：本公开实施例公开了一种微机电系统传感器及电子设备，所述微机电系统传感器包括基底、电路板、放大组件和谐振组件。本公开实施例的一个技术效果在于，通过集成敏感元件、检测电路和基底，能够实现感知力、测定力和输出力三位一体，提高了微机电系统传感器的集成度，降低了微机电系统传感器的体积，也便于微机电系统传感器的直接使用。
一种微机系统传感器电子设备

[实用新型]一种微机电传感器的封装结构及电子设备-CN202221488694.4有效
发明人：汪应波;袁钊铭 -专利权人：广州市意芯微电子有限公司
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本实用新型公开一种微机电传感器的封装结构及电子设备，其中，该微机电传感器包括PCB板、壳体、MEMS传感器和ASIC放大器。PCB板包括连接部和安装部；壳体罩盖在安装部上，壳体的周缘与连接部连接，以与PCB板围合形成封装腔；MEMS传感器设于封装腔内，且安装于安装部上；ASIC放大器设于封装腔内，且安装于安装部上，并与PCB板、MEMS传感器电性连通；其中，壳体的顶部设有进声凹槽，进声凹槽的侧壁上设有进声口。本实用新型微机电传感器的封装结构可以有效的降低组装成本，同时，提升了微机电传感器耐受气流吹、吸的能力，防止外界尖锐异物或者大颗粒灰尘进入内部造成内部器件损伤，提高了微机电传感器的可靠性。
一种微机传感器封装结构电子设备

[实用新型]一种带多个传感器的精密计量泵装置-CN202122887010.X有效
发明人：柳和生;张龙;刘杨远;张号;匡唐清 -专利权人：华东交通大学
申请日： 2021-11-23 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： F04B13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带多个传感器的精密计量泵装置，属于流体计量技术领域，其技术方案要点是，包括计量泵泵体和活塞杆，活塞杆活动伸入至计量泵泵体内，二者构成活塞结构，计量泵泵体上开设有流体出口，还包括机械系统，包括换向阀、滚珠丝杆装置和步进电机；传感器硬件系统，包括压力传感器、角度编码器和位移传感器；微机软件控制系统，包括配套使用的采集卡和上位机；传感器硬件系统与微机软件控制系统相互电性连接。该种带多个传感器的精密计量泵装置设计布局合理，有利于快速而准确的输液作业，提高生产效率和原液利用率。
一种带多个传感器精密计量装置