“胡振业”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果3个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]电磁感应式与洛伦兹力式复合的微型磁传感器及制备方法-CN202310202938.0在审
发明人：梁亨茂;张俊明;胡振业;于俊伟 -专利权人：华南农业大学
申请日： 2023-03-03 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01R33/06 文献下载
摘要：本发明公开一种电磁感应式与洛伦兹力式复合的微型磁传感器及制备方法，该传感器包括高频谐振组件、低频谐振组件和两组件间的耦合梁；高频谐振组件包括驱动电极、高频谐振结构、高频谐振结构侧第一绝缘层、洛伦兹力驱动线圈、高频谐振结构侧第二绝缘层、金属屏蔽层、高频谐振结构侧第三绝缘层、电磁感应线圈；所述低频谐振组件包括感应电极、低频谐振结构、低频谐振结构侧绝缘层和金属线圈。本发明通过在內共振耦合结构上建立静电驱动‑电磁感应及洛伦兹力驱动‑静电敏感的复合磁敏架构，以两类磁敏输出信号的叠加提升磁感性能；同时利用內共振的低频谐振振幅放大效应实现低频谐振结构平板电容作为磁感信号输出，降低洛伦兹力式磁敏元件功耗。
电磁感应洛伦兹力式复合微型传感器制备方法

[发明专利]一种内共振耦合的电磁感应式微机械磁传感器及制备方法-CN202310202922.X在审
发明人：梁亨茂;于俊伟;张俊明;胡振业 -专利权人：华南农业大学
申请日： 2023-03-03 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： G01R33/06 文献下载
摘要：本发明公开一种内共振耦合的电磁感应式微机械磁传感器及制备方法，该电磁感应式微机械磁传感器包括第一谐振结构、第二谐振结构以及两谐振结构间的耦合梁；本发明通过耦合梁将谐振频率为整数比的两个谐振结构连接形成一个内共振耦合谐振系统，该系统能够在某一谐振结构达到谐振非线性后将过载的非线性能量通过内共振原理传递给另一谐振结构并使之谐振，从而通过两个谐振结构的电磁感应式磁感信号输出的叠合提高磁传感器性能，突破传统单一谐振结构型电磁感应式磁传感器难以通过静电驱动力的过载增加提高器件性能的局限性。
一种共振耦合电磁感应式微机械传感器制备方法

[发明专利]高频感应-低频检测的洛伦兹力式微型磁力计及制备方法-CN202310202929.1在审
发明人：梁亨茂;胡振业;于俊伟;张俊明 -专利权人：华南农业大学
申请日： 2023-03-03 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G01R33/06 文献下载
摘要：本发明公开一种高频感应‑低频检测的洛伦兹力式微型磁力计及制备方法，该磁力计包括高频谐振组件、低频谐振组件以及两组件间的耦合梁；所述高频谐振组件包括驱动电极、高频谐振结构、绝缘层以及金属线圈；所述驱动电极设置在高频谐振结构与衬底片之间；所述低频谐振组件包括感应电极和低频谐振结构；所述高频谐振结构的谐振频率与低频谐振结构的谐振频率成整数比且大于等于2:1。本发明具有谐振频率比大于等于2:1的高频谐振结构与低频谐振结构形成的内共振耦合谐振系统，其中洛伦兹力式磁场感应结构置于高频谐振结构上，而检测输出结构置于低频谐振结构上，同时高频谐振结构采用静电驱动和洛伦兹力驱动相结合，有效降低磁力计功耗。
高频感应低频检测洛伦兹力式微磁力计制备方法