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[发明专利]基板处理装置、半导体装置的制造方法、基板处理方法和存储介质-CN202211133158.7在审
发明人：齐藤择弥;高桥哲;广谷博史;冈崎太洋 -专利权人：株式会社国际电气
申请日： 2022-09-16 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本公开提供一种基板处理装置、半导体装置的制造方法、基板处理方法和存储介质，在使用多种不同的气体在输送室内形成气流时容易将输送室内控制为所需的气氛。基板处理装置具备：输送室，其包含对从基板收纳容器搬出的基板进行输送的输送空间；第一吹扫气体供给系统；第二吹扫气体供给系统；排气系统，其排出输送室内的环境气体；循环路径，其连接输送空间的一端与另一端；风扇，其设置在循环路径上或其端部，并使输送室内的环境气体循环；以及控制部，其能够控制风扇，使得风扇的旋转速度根据处于从第一吹扫气体供给系统供给第一吹扫气体的第一吹扫模式、和从第二吹扫气体供给系统供给第二吹扫气体的第二吹扫模式中的哪一个的状态而不同
处理装置半导体制造方法存储介质

[实用新型]一种芯片生产中的光刻胶恒温供给装置-CN202221292384.5有效
发明人：张雪奎;牛立久;刘增增;周一雷;徐金鑫 -专利权人：山东华楷微电子装备有限公司
申请日： 2022-05-26 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种芯片生产中的光刻胶恒温供给装置，包括光刻胶储存瓶和储液罐，光刻胶储存瓶和储液罐之间设置有补液装置，储液罐的出液口连接有出液管道，出液管道上设置有出液泵，供给装置还包括调温水槽和调温循环管道，调温水槽或/和调温循环管道上设置有调温装置，调温循环管道的两端分别连接调温水槽的入口和出口，调温循环管道上设置有循环水泵，调温循环管道上设置有穿入口和穿出口，穿入口和穿出口之间的调温循环管道形成了恒温热交换管段该恒温供给装置能够更精确的控制光刻胶的温度，从而涂胶工艺的稳定性更好。
一种芯片生产中的光刻恒温供给装置

[发明专利]浆液制造方法-CN201380024219.9有效
发明人：羽片丰;堀田雅也;石田悠 -专利权人：新东工业株式会社
申请日： 2013-03-25 - 公布日： 2018-02-16 - 主分类号： B01F5/10 文献下载
摘要：本发明提供在使用轻的粉状添加物的情况下防止滞留，从而缩短分散时间的浆液制造装置。使浆液状或液体状的处理原料(3)与粉状的添加物(4)的混合物(5)一边循环一边分散而制造浆液的浆液制造装置(1)具备罐(11)，其能够贮存处理原料或者混合物，并且能够供给与上述处理原料混合的添加物；分散装置(12)，其出口侧与罐连接，并对混合物进行分散处理；泵(13)，其使混合物循环；配管(14)，其将分散装置、罐以及泵以串联的方式连接；粉状体供给设备(15)，其将添加物向上述罐供给；以及处理原料供给设备(16)，其将处理原料向罐供给，处理原料供给设备在从粉状体供给设备供给添加物时以在罐内不产生混合物的液面的方式供给处理原料。
浆液制造装置以及方法

[发明专利]燃料电池系统及其控制方法-CN201510772330.7有效
发明人：山本和男;今西启之 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2015-11-12 - 公布日： 2018-04-27 - 主分类号： H01M8/04089 文献下载
摘要：本发明提供一种燃料电池系统及其控制方法，抑制产生作为循环设备的工作声的异响等的情况。燃料电池系统具备燃料电池；阳极气体供给流路，向燃料电池供给阳极气体；阳极气体排出流路，从燃料电池排出阳极废气；阳极气体循环流路，将阳极气体供给流路与阳极气体排出流路连接；循环设备，设于阳极气体循环流路，将阳极废气向阳极气体供给流路供给；及控制部，在液态水滞留于循环设备的情况下，控制循环设备的循环流量而使液态水排出。控制部在判断为滞留于循环设备的液态水量为规定值以上的情况下，限制循环设备的循环流量的上升率。
燃料电池系统及其控制方法

[实用新型]一种用于SF6-CN202220910722.0有效
发明人：黄海龙;许一力;苏晓东;陈以明;房超;武子豪;方红磊;孙伟 -专利权人：安徽新力电业科技咨询有限责任公司
申请日： 2022-04-19 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： F25B13/00 文献下载
摘要：一种用于SF6现场回收回充的冷热源供给装置，属于变电站SF6气体回收回充技术领域，解决由于环境温度变化的影响，在回收时存在的SF6气体液化不完全以及回充时存在的液态SF6气化不完全，而导致的现场作业效率低的问题；所述的冷源供给循环回路的输入端与板式换热器的第三端口密封连接，冷源供给循环回路的输出端与板式换热器的第四端口密封连接；所述的热源供给循环回路的输出端与板式换热器的第三端口密封连接，热源供给循环回路的输入端与板式换热器的第四端口密封连接；冷热源供给装置保证了在回收时
一种用于 sf base sub

[发明专利]使用废轮胎载体的生物学方法下·废水处理装置-CN02122679.2有效
发明人：金海洙 -专利权人：金海洙
申请日： 2002-06-20 - 公布日： 2003-04-23 - 主分类号： C02F3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种使用废轮胎载体的生物学方法下·废水处理装置，其特征是由用于使反应槽内的下·废水及载体循环流动的混合器、用于向反应槽内供给必要的空气的空气供给装置、防止反应槽内的载体向外部流出地构成的内筒、用于将下·废水供给到反应槽内的适当的场所的原水流入管和原水导引管、将在反应槽内处理过的处理水流出到外部的处理水排出管构成，根据本发明，通过同时地使混合器和空气供给装置(曝气装置)工作而使载体和下·废水循环，曝气时的空气供给量通过只供给除去下·废水所含有的有机物氮所需要的量，与只使用曝气装置使载体流动的现有的反应槽相比可以促进载体的循环所需要的动力的节俭及提高装备的使用效率。在不供给空气只运转混合器的情况下，反应槽内成为没有氧供给的厌气或无氧状态，可以起到下·废水的高度处理(同时处理氮·磷)所需要的脱氮槽的作用。
使用轮胎载体生物学方法废水处理装置

[实用新型]氢溶解水制造装置-CN201120401680.X有效
发明人：藤原昭信 -专利权人：株式会社环境技研
申请日： 2011-10-20 - 公布日： 2012-08-15 - 主分类号： A47J31/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及水处理装置技术领域，特别是涉及一种使氢气溶解于饮料的家庭用的氢溶解水制造装置。它包括饮料容器、气液混合器和电解槽，气液混合器连通于饮料容器和电解槽，气液混合器包括供给流路和循环流路，循环流路设有离心泵，供给流路的一端连通所述电解槽，供给流路的另一端设有多孔部件，多孔部件位于循环流路的内部电解槽产生的氢混合气体，可通过供给流路的多孔部件供给循环流路微细气泡，使氢气短时间内在饮料里快速溶解。在循环流路里设置离心泵，使含有混合气体的微细气泡饮料在离心泵的作用下再次被搅拌并碾碎，瞬间变成更小的微细气泡，有效提高氢气在饮料里溶解效率，本实用新型不用很大动力或者高压设备，适合家庭用。
溶解制造装置

[发明专利]装饰机温度控制系统-CN200680054806.2有效
发明人： B·戴 -专利权人： B·戴
申请日： 2006-04-25 - 公布日： 2009-06-03 - 主分类号： B05C11/00 文献下载
摘要：一种装饰机温度控制系统，包括被配置成使溶液再循环的再循环回路和被配置成接收来自再循环回路的溶液并将溶液输送到装饰机上的至少一个墨辊的供给器线。供给阀位于再循环回路和供给器线之间，并接近装饰机，并被配置成控制溶液从再循环回路向供给器线的流动。阀从远离装饰机的位置被控制。
装饰温度控制系统

[发明专利]利用鼓风机使再生空气循环、压缩空气干燥的装置-CN200510115596.0有效
发明人：李愚宰 -专利权人：韩国银河流体（空气）技术有限公司
申请日： 2005-11-07 - 公布日： 2007-05-16 - 主分类号： B01D53/26 文献下载
摘要：本发明提供一种利用鼓风机使再生空气循环、压缩空气干燥的装置，其包括：两个除湿及再生气罐以及将含有水分的空气选择性地供给向除湿及再生气罐的气压阀门；其中取消了利用将通过鼓风机的外部空气经加热器加热并经冷却而向再生气罐供给的、循环再生式空气干燥装置中的、把经除湿气罐干燥后的压缩空气的一部分向再生气罐供给的供给管路；其中，用加热器给由鼓风机供给的外部低压空气加热，加热器阀门打开即可向再生气罐供给加热后的低压空气；冷却机阀门打开则由鼓风机供给的压缩空气经冷却机冷却后供给再生气罐；在加热下，内装在再生气罐中的加热除湿剂中的水分完全被剥离排放到大气中，第二冷却机将干燥空气冷却后，在鼓风机的作用下继续循环。
利用鼓风机再生空气循环压缩空气干燥装置

[发明专利]三维驱动下的球工具磁流变研抛装置-CN202011012692.3在审
发明人：彭云峰;孟晓辉;王竞航;申冰怡 -专利权人：厦门大学
申请日： 2020-09-23 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种三维驱动下的球工具磁流变研抛装置，包括机架、磁流变液循环供给机构和可旋转的球形工具，所述磁流变液循环供给机构可旋转地置于机架上，所述球形工具置于所述机架下方，所述球形工具包括刚性的球壳体和置于所述球壳体内的弧形磁极，所述弧形磁极保持于旋转中的球壳体的底部；所述磁流变液循环供给机构包括输出通路和回收通路，所述输出通路和所述回收通路延伸至靠近所述球壳体并且分布在所述弧形磁极的两端，利用磁流变液在磁场作用下的流变特性对磨料进行约束和控制,利用磁性抛光球(球形工具)和磁流变液循环供给装置实现了对工件的非接触式研抛，提高了装置的刚度和稳定性，能够获得更高的加工精度。
三维驱动工具流变装置

[发明专利]一种具有自动巡航监测功能的温室-CN202111352571.8有效
发明人：许亚良;杨其长;李清明;郑胤建;郑毅;车元朋 -专利权人：中国农业科学院都市农业研究所;沈阳新松机器人自动化股份有限公司
申请日： 2021-11-15 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： A01G31/02 文献下载
摘要：该温室至少包括立体栽培架、营养液循环供给单元和控制单元。所述立体栽培架设置有至少一个种植层。营养液循环供给单元至少能够与所述种植层相连通。控制单元至少能够获取所述营养液循环供给单元所循环供给所述营养液的营养液数据。所述温室还包括输送加工单元，以用于运输所述立体栽培架内的栽培板并对所述栽培板上的植物进行后续加工操作。所述温室还包括植物巡航监测装置，所述植物巡航监测装置设置有用于对所述立体栽培架内的植物进行拍摄的摄像头。所述栽培架周围设置有专用轨道，以使得植物巡航监测装置能够对所述立体栽培架内所种植的植物进行病虫害/生长状态的识别。
一种具有自动巡航监测功能温室

[实用新型]再循环回路及氢气供给系统-CN202121198437.2有效
发明人：邵洪 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： H01M8/04089 文献下载
摘要：本申请提供了一种用于氢燃料电池系统的再循环回路，用于在氢燃料电池系统运行期间从其燃料电池堆叠的阳极的输出端接收再循环流并使再循环流循环到氢燃料电池系统的氢气供给装置。再循环回路包括氢气分离器，其被配置成在再循环流经过其时从再循环流中物理地分离至少一部分氢气，允许被分离的氢气流向氢气供给装置，并且将再循环流除被分离的氢气之外的其余组分排出氢燃料电池系统。本申请还提供了包括前述再循环回路的氢气供给系统。根据本申请，能够消除设置排气阀的需要。这避免在再循环回路中发生较大的压力波动，便于对被供应到阳极输入端的气体的氢气浓度进行精确控制。再循环回路的结构和控制简单，提高了氢燃料电池系统的可靠性。
再循环回路氢气供给系统

[发明专利]衣物处理装置-CN202080090425.X在审
发明人：铃木肇;永井孝之 -专利权人：青岛海尔洗衣机有限公司;AQUA株式会社;海尔智家股份有限公司
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： D06F58/10 文献下载
摘要：一种衣物处理装置(1)，具备：收容室(200)，将衣物以悬挂的状态收容；第一供给单元(300)，向收容室(200)内供给暖风；第二供给单元(400)，向收容室(200)内供给蒸汽；空气循环单元(700)空气循环单元(700)包括：循环风扇(710)，使从吸入口(715)吸入的空气从吐出口(716)吹出；通风板(721)，与从吐出口(716)吹出的空气接触，使该空气转向；以及通风板马达(722)，使通风板该衣物处理装置(1)能够提高烘干和褶皱抚平的性能。
衣物处理装置

[发明专利]紫外线照射装置-CN201210216149.4无效
发明人：片桐毅;广井和则 -专利权人：株式会社杰士汤浅国际
申请日： 2012-06-27 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种紫外线照射装置，其通过提高收容紫外线灯的壳体内的气体的置换效率，从而缩短气体的置换时间且降低该置换的气体使用量。所述紫外线照射装置具备：对工件(W)照射紫外线的紫外线灯(2)；收容紫外线灯(2)且具有与工件(W)对置开口的开口部(31)的壳体(3)；向壳体(3)内供给气体的气体供给机构(4)，在壳体(3)的内表面或内部空间设有循环引导面(3x)，该循环引导面(3x)用于使由气体供给机构(4)供给的气体在紫外线灯(2)的周围单向循环。
紫外线照射装置

[发明专利]地下水源直供和回收装置-CN201711186861.3在审
发明人：王磊 -专利权人：山东省滨州市火努鸟新能源科技有限公司
申请日： 2017-11-24 - 公布日： 2018-04-20 - 主分类号： F25B13/00 文献下载
摘要：地下水源直供和回收装置属于地下水源直供和回收利用工程的范畴。由热源供给管、冷源供给管、四通切换阀、循环泵组成；其特征是热源供给管和四通切换阀的A进口连接，冷源供给管和四通切换阀的B进口连接；四通切换阀的a出口连接循环泵的进水口，循环泵的出水口通过循环管路供水管与水源热泵机组的进水口连接，四通切换阀的b出口通过循环管路回水管与水源热泵机组的出水口连接。
地下水源回收装置